แหล่งพลาสมา
|
RF
|
||
พลังงาน
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(ตัวเลือก)
|
||
ขอบเขตการใช้งาน
|
4~8 นิ้ว
|
||
จำนวนแผ่นที่ประมวลผลเดี่ยว
|
1
|
||
ขนาดการปรากฏตัว
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
การควบคุมระบบ
|
PLC
|
||
ระดับอัตโนมัติ
|
คู่มือ
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved