แหล่งกำเนิดพลาสม่า
|
RF
|
||
พลัง
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W (ตัวเลือก)
|
||
ขอบเขตที่สามารถใช้งานได้
|
4 ~ 8 นิ้ว
|
||
จำนวนชิ้นการประมวลผลเดี่ยว
|
1
|
||
ขนาดลักษณะที่ปรากฏ
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
ระบบควบคุม
|
บมจ.
|
||
ระดับการทำงานอัตโนมัติ
|
ด้วยมือ
|
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์