อุปกรณ์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ MDLB-MC200 ตัวทำความสะอาดโฟโตแมสก์ , China อุปกรณ์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ MDLB-MC200 ตัวทำความสะอาดโฟโตแมสก์ Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

เครื่องล้างโฟโตแมสก์

หน่วยทำความสะอาด:

ห้องทำความสะอาดได้รับการประมวลผลด้วยวัสดุที่ต้านการกัดกร่อน ซึ่งมีพื้นผิวเรียบและทำความสะอาดง่าย มีช่องระบายของเสียที่ด้านล่างของโพรงภายใน ซึ่งใช้แรงโน้มถ่วงในการปล่อยของเหลวเสียลงสู่ท่อระบายน้ำของโรงงาน มีช่องดูดอากาศภายในโพรง ซึ่งสามารถดึงอากาศออกจากโพรงได้อย่างทันเวลา ติดตั้งมาพร้อมกับแขนสวิงอัตโนมัติ 3 อัน ซึ่งสามารถทำความสะอาดอัตโนมัติได้

ตารางพารามิเตอร์การกำหนดค่า:

เลขที่	โครงการ	สเปก	หมายเหตุ
1	สรุปเครื่องมือ	ชื่ออุปกรณ์: เครื่องทำความสะอาด Photomask
		รุ่นอุปกรณ์: MDLB-MC200
		ขนาดโดยรวม (ประมาณ): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H)
		น้ำหนักเครื่องทั้งหมด (ประมาณ): 300KG
		ความสูงของโต๊ะทำงาน: 900 ± 50mm
		ข้อกำหนดของขนาดวัสดุ: เหมาะสำหรับแผ่นแมสก์ทรงสี่เหลี่ยมขนาด 2/4/5/6/8 นิ้ว
		กระบวนการทำงาน: การวางเวเฟอร์ด้วยมือ → การทำความสะอาด (แปรง, สารทำความสะอาด → น้ำแรงดันสูง → น้ำเมกโซนิก → น้ำกลั่น → การอบแห้งด้วยก๊าซไนโตรเจน) → การนำเวเฟอร์ออกด้วยมือ
		ประเภทของอุปกรณ์: เซมิออโตเมติก การโหลดและ缷สินค้าด้วยมือ
2	โครงสร้างของอุปกรณ์	เปลือกภายนอก: สแตนเลส ผิวเรียบ ต้านการกัดกร่อน ทำความสะอาดง่าย
		ห้องทำความสะอาด: PP ผิวเรียบ ต้านการกัดกร่อน ทำความสะอาดง่าย
		ท่อ: ใช้ท่อ PU/PFA
		แสงสว่างในการทำงาน: แสงสีเหลืองต้านการกัดกร่อน
		รูปแบบการเปิดประตู: ประตูคู่พร้อมฟังก์ชันเตือนการเปิดประตู
		หน้าจอสัมผัส: หน้าจอสัมผัสสีเต็มขนาด 10 นิ้ว * 1
		FFU: ระดับ 100
		ฐานรองกันรั่ว: มีให้
3	มอเตอร์เซอร์โวชั่นความแม่นยําสูง	จำนวน: 1
		ความเร็ว: -3000~3000 รอบต่อนาที	ไม่มีภาระ
		อัตราเร่งสูงสุดของการหมุนของแกน: 3000 รอบต่อวินาที	ไม่มีภาระ
		ความถูกต้องของความเร็ว: ± 1 รอบต่อนาที (50 รอบต่อนาที~3000 รอบต่อนาที)
		ความละเอียดของความเร็ว: 1 รอบต่อนาที
4	แขนสวิงอัตโนมัติ	จำนวน: 3
4	แขนสวิงอัตโนมัติ	ความเร็วของแขนสวิง: 1~30 °/S
5	หน่วยทำความสะอาด	แขนสวิงทำความสะอาด: ช่องทางเดียวของน้ำไอออนและช่องทางเดียวของก๊าซไนโตรเจน แขนเมกาโซนิก: 1 เมกาโซนิก, 1 น้ำแรงดันสูง แขนแปรง: 1 แปรง, 1 น้ำ, 1 สารทำความสะอาด
		วิธีการล้าง: การล้างอัตโนมัติ
		ฟังก์ชันดูดน้ำกลั่น: มีให้
		การล้างย้อนกลับ (น้ำกลั่น): 1 เส้นทาง
		วิธีจ่าย: สารทำความสะอาด: ปั๊มแผงaphragm น้ำกลั่น: จ่ายโดยตรงจากโรงงาน
		ถังแรงดันพร้อมระบบตรวจจับระดับของเหลว
6	แปรงขัด	จำนวน: 1 (พร้อมฟังก์ชันทำความสะอาดตัวเอง)
		ความเร็ว: สูงสุด 1000 รอบต่อนาที ปรับความเร็วได้
		ความสูงปรับได้ด้วยมือ
7	ถาดสำหรับบรรทุก	จำนวน: 5 ชิ้น
		วัสดุ: PPS+สแตนเลส
		ขนาด: เหมาะสำหรับแผ่นหน้ากากแบบสี่เหลี่ยม ขนาด 2/4/5/6/8 นิ้ว
		วิธีการตรึงซับสเตรต: วิธีตรึงด้วยกรรไกร
8	ระบบควบคุม	ระบบควบคุม: ใช้ระบบควบคุม PLC
		โปรแกรม: 100 กลุ่ม แต่ละกลุ่มประกอบด้วย 100 ขั้นตอน โดยมีเวลาสูงสุดของแต่ละขั้นตอน 3000.0 วินาที ความละเอียด: 0.1S
		โปรแกรมสามารถบันทึก เรียกใช้ แก้ไข และลบได้
		ตั้งค่าสิทธิ์การเข้ารหัส: สำหรับผู้ปฏิบัติงานบนอุปกรณ์ ช่างเทคนิค ผู้ดูแลระบบ และผู้ผลิตตามลำดับ
		ประเภทหอสัญญาณ: สีแดง, สีเหลือง, สีเขียว 3 สี