อุปกรณ์อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ MDLB-MC200 ตัวทำความสะอาดโฟโตมาสก์ ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน และอุปกรณ์อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของจีน MDLB-MC200 ตัวทำความสะอาดโฟโตมาสก์

MDLB-MC200

น้ำยาทำความสะอาดโฟโต้มาส์ก

หน่วยทำความสะอาด:

ห้องทำความสะอาดได้รับการประมวลผลด้วยวัสดุที่ทนต่อการกัดกร่อนซึ่งมีพื้นผิวเรียบและทำความสะอาดง่าย มีพอร์ตระบายของเสียที่ด้านล่างของโพรงด้านในซึ่งใช้แรงโน้มถ่วงเพื่อให้ของเหลวเสียถูกระบายลงในท่อระบายน้ำเสียของโรงงาน มีพอร์ตดูดภายในโพรงซึ่งสามารถดึงบรรยากาศออกจากโพรงได้ทันเวลา ติดตั้งแขนแกว่งอัตโนมัติ 3 แขน ทำให้สามารถทำความสะอาดอัตโนมัติได้

ตารางพารามิเตอร์การกำหนดค่า:

ลำดับ	โครงการ	ข้อบ่งชี้จำเพาะ	หมายเหตุ
1	ภาพรวมอุปกรณ์	ชื่ออุปกรณ์: Photomask Cleaner
		รุ่นอุปกรณ์ : MDLB-MC200
		ขนาดโดยรวม (โดยประมาณ): 1300มม. (กว้าง) * 1000มม. (ลึก) * 1950มม. (สูง)
		น้ำหนักเครื่องทั้งหมด (ประมาณ): 300กก.
		ความสูงของโต๊ะผ่าตัด: 900 ± 50มม.
		ข้อมูลจำเพาะขนาดพื้นผิว: เหมาะสำหรับแผ่นมาส์กสี่เหลี่ยมขนาด 2/4/5/6/8 นิ้ว
		กระบวนการไหล: การวางเวเฟอร์ด้วยมือ → การทำความสะอาด (แปรง สารละลายทำความสะอาด → น้ำแรงดันสูง → น้ำเมกะโซนิค → น้ำดีไอออนไนซ์ → การทำให้แห้งด้วยก๊าซไนโตรเจน) → การนำเวเฟอร์ออกด้วยมือ
		ประเภทอุปกรณ์: กึ่งอัตโนมัติ, การโหลดและขนถ่ายด้วยมือ
2	การก่อสร้างอุปกรณ์	เปลือก: สแตนเลส เรียบ ทนทานต่อการกัดกร่อน ทำความสะอาดง่าย
		ห้องทำความสะอาด: PP เรียบ ทนต่อการกัดกร่อน ทำความสะอาดง่าย
		ท่อส่ง: ใช้ท่อที่ตรงกับ PU/PFA
		ไฟส่องสว่างในการทำงาน: ไฟสีเหลืองป้องกันการกัดกร่อน
		รูปแบบการเปิดประตู: ประตูคู่พร้อมฟังก์ชั่นแจ้งเตือนการเปิดประตู
		หน้าจอสัมผัส: หน้าจอสัมผัสสีเต็มขนาด 10 นิ้ว * 1
		FFU: รุ่นที่ 100
		มีฐานรองรับกันรั่วซึมให้เลือก
3	มอเตอร์เซอร์โวความแม่นยำสูง	จำนวน: 1
		ความเร็ว: -3000~3000รอบต่อนาที	โหลดเปล่า
		อัตราเร่งสูงสุดของการหมุนของแกนหมุน: 3000rpm/S	โหลดเปล่า
		ความแม่นยำของความเร็ว: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		ความละเอียดความเร็ว : 1rpm
4	สวิงอาร์มอัตโนมัติ	จำนวน: 3
4	สวิงอาร์มอัตโนมัติ	ความเร็วสวิงอาร์ม: 1~30 °/วินาที
5	หน่วยการทำความสะอาด	แขนสวิงทำความสะอาด: น้ำดีไอออนไนซ์ 1 ช่อง, ก๊าซไนโตรเจน 1 ช่อง แขนเมกาโซนิค: 1 เมกาโซนิค, 1 น้ำแรงดันสูง แขนแปรง: แปรง 1 อัน, น้ำ 1 อัน, น้ำยาทำความสะอาด 1 อัน
		วิธีการทำความสะอาด: ทำความสะอาดอัตโนมัติ
		ฟังก์ชั่นดูดน้ำดีไอออนไนซ์: มีให้เลือก
		ล้างย้อน (น้ำดีไอออนไนซ์) : 1 เส้นทาง
		วิธีการจ่าย: สารละลายทำความสะอาด: ปั๊มไดอะแฟรม น้ำดีไอออนไนซ์: จัดหาโดยตรงจากโรงงาน
		ถังแรงดันพร้อมระบบตรวจจับระดับของเหลว
6	แปรง แปรง	จำนวน : 1 (พร้อมฟังก์ชั่นทำความสะอาดตัวเอง)
		ความเร็ว: สูงสุด 1000 รอบต่อนาที ปรับความเร็วได้
		ปรับความสูงได้ด้วยมือ
7	ใส่ถาด	จำนวน: 5
		วัสดุ: PPS+สแตนเลส
		ขนาด: เหมาะสำหรับแผ่นหน้ากากสี่เหลี่ยมขนาด 2/4/5/6/8 นิ้ว
		วิธีการยึดพื้นผิว: วิธีการยึดแบบกรงเล็บ
8	ระบบควบคุม	ระบบควบคุม : ใช้การควบคุมด้วย PLC
		โปรแกรม: 100 กลุ่ม โดยแต่ละกลุ่มประกอบด้วย 100 ขั้นตอน โดยมีเวลาขั้นตอนเดียวสูงสุด 3000.0 วินาที ความละเอียด: 0.1วินาที
		โปรแกรมสามารถบันทึก เรียกใช้ แก้ไข และลบได้
		ตั้งค่าสิทธิ์การเข้ารหัส: สำหรับผู้ควบคุมอุปกรณ์ ช่างเทคนิค ผู้ดูแลระบบ และผู้ผลิต ตามลำดับ
		ชนิดเสาสัญญาณ: แดง เหลือง เขียว 3 สี