พลาสม่า |
RF |
RF |
||
พลัง |
ICP |
1000w |
1000w |
|
BIAS |
600w (ตัวเลือก) |
600w (ตัวเลือก) |
||
ขอบเขตที่สามารถใช้งานได้ |
4 ~ 8 นิ้ว |
4 ~ 8 นิ้ว |
||
จำนวนชิ้นการประมวลผลเดี่ยว |
1 |
2 |
||
ขนาดลักษณะที่ปรากฏ |
1080x1840x1800mm |
1340x2050x1800mm |
||
ระบบควบคุม |
ระบบควบคุมอุตสาหกรรม |
ระบบควบคุมอุตสาหกรรม |
||
ระดับการทำงานอัตโนมัติ |
อัตโนมัติ |
อัตโนมัติ |
ความสามารถของฮาร์ดแวร์ |
||
เวลาทำงาน/เวลาที่มีอยู่ |
≧ 95% |
|
เวลาเฉลี่ยในการทำความสะอาด (MTTC) |
≦6 ชม |
|
เวลาเฉลี่ยในการซ่อม (MTTR) |
≦4 ชม |
|
เวลาเฉลี่ยระหว่างความล้มเหลว (MTBF) |
≧350 ชม |
|
เวลาเฉลี่ยระหว่างผู้ช่วย (MTBA) |
≧24 ชม |
|
เวเฟอร์เฉลี่ยระหว่างหัก (MWBB) |
≦1 ใน 10,000 เวเฟอร์ |
|
การควบคุมแผ่นทำความร้อน |
50 250-° |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์