เครื่องกำจัดสารตกค้างโฟโตเรซิสต์ RIE PLASMA PR ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

รายละเอียดสินค้า

ริ พลาสมา เครื่องกำจัดแสง

การแกะสลักด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์
การทำความสะอาดพื้นผิวหลังจากการแกะสลัก
เดสคัม
ชั้นมาส์กแข็ง ลอกแบบแห้ง
การกัดด้วยซิลิคอนออกไซด์หรือการกัดด้วยซิลิคอนไนไตรด์
การกำจัดความต้านทานแสงระหว่างสื่อ
การกำจัดสิ่งตกค้างบนพื้นผิว

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องกำจัด RIE PLASMA PR รายละเอียดการกำจัดสารตกค้างด้วยแสง

กระบวนการ

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องกำจัด RIE PLASMA PR โรงงานกำจัดสารตกค้างด้วยแสง

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องกำจัด RIE PLASMA PR การผลิต Photoresist Residual Removal

ความได้เปรียบ:

ข้อได้เปรียบหลัก

อัตราการลอกกาวสูง: พลาสมาความหนาแน่นสูง อัตราการลอกกาวอย่างรวดเร็ว
ความคงตัว: หลังการรักษาด้วยพลาสมา มีความสามารถในการทำซ้ำสูง
พลาสมาระยะไกล: พลาสมาระยะไกล ความเสียหายของไอออนต่ำต่อเวเฟอร์
ซอฟต์แวร์เด่น: การวิจัยและพัฒนาซอฟต์แวร์อิสระ แอนิเมชั่นกระบวนการที่ใช้งานง่าย ข้อมูลและบันทึกโดยละเอียด
ความสม่ำเสมอ: พลาสม่าสามารถควบคุมความดันและอุณหภูมิผ่านวาล์วผีเสื้อ
ปัจจัยด้านความปลอดภัย: พลาสมาต่ำช่วยลดความเสียหายต่อการจำหน่ายผลิตภัณฑ์
บริการหลังการขาย: ตอบสนองรวดเร็วและมีสินค้าคงคลังเพียงพอ
การควบคุมฝุ่น: ตอบสนองความต้องการของลูกค้า
เทคโนโลยีหลัก: ด้วยสมาชิกในทีม R&D เกือบ 40%

แท่นคาสเซ็ตต์ (MD-ST 6100/620)

1. ผู้ให้บริการเวเฟอร์ 4 ราย
2. ความเข้ากันได้สูง: ความยืดหยุ่นในการเลือกขนาดเวเฟอร์ทำให้ต้นทุนและประสิทธิภาพของโซลูชันสูง
3. ห้องถ่ายเทสูญญากาศที่มีความเสถียรสูง:
การออกแบบระบบส่งผ่านสุญญากาศที่สมบูรณ์และมีเสถียรภาพได้ถูกนำไปใช้อย่างครบถ้วนในตลาดมานานหลายปี และได้รับการยอมรับจากลูกค้าเป็นอย่างดี
การออกแบบเครื่องเล่นแผ่นเสียง พื้นที่กะทัดรัด ช่วยลดความเสี่ยงของการเกิด PARTICAL ได้อย่างมาก
4. อินเทอร์เฟซการทำงานของซอฟต์แวร์ Humanized:
อินเทอร์เฟซการทำงานของซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่าย การตรวจสอบสถานะการทำงานของเครื่องจักรแบบเรียลไทม์
ฟังก์ชั่นการแจ้งเตือนที่ครอบคลุมและป้องกันความผิดพลาดเพื่อหลีกเลี่ยงการทำงานผิดพลาด
ฟังก์ชันการส่งออกข้อมูลที่มีประสิทธิภาพ บันทึกพารามิเตอร์กระบวนการต่างๆ และส่งออกบันทึกการผลิตผลิตภัณฑ์

หุ่นยนต์

1. การออกแบบการเลือกและวางเวเฟอร์คู่แบบครั้งเดียวทำให้ได้ผลผลิตสูง
2. ปรับปรุงประสิทธิภาพของพื้นที่

แผ่นความร้อน

1. แผ่นเวเฟอร์ควบคุมอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง
แผ่นทำความร้อนเวเฟอร์ตั้งแต่อุณหภูมิห้องถึง 250°C ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ ±1°C
แผ่นทำความร้อนเวเฟอร์ได้รับการสอบเทียบโดยเครื่องมือระดับมืออาชีพและความสม่ำเสมอ ภายใน ±3°C ตรวจสอบให้แน่ใจว่าการลอกกาวมีความสม่ำเสมอ
2. การประมวลผลเวเฟอร์คู่แบบห้องเดียว
การออกแบบเวเฟอร์คู่แบบห้องเดียว
การออกแบบการปล่อยพลังงานอิสระสำหรับเวเฟอร์แต่ละอันทำให้มั่นใจได้ว่าแต่ละเวเฟอร์ ผลการกำจัด PR แบบกลม
ภายใต้สมมติฐานของการรับรองประสิทธิภาพ UPH ลดต้นทุนผลิตภัณฑ์ ความเข้ากันได้ที่แข็งแกร่ง
3. กำลังการผลิต: ห้องปฏิกิริยาการออกแบบสองชิ้นประสิทธิภาพการผลิตสูง

Specification

แหล่งกำเนิดพลาสม่า			RF
พลัง	ICP	_
พลัง		BIAS	1000W (ตัวเลือก)
ขอบเขตที่สามารถใช้งานได้			4 ~ 8 นิ้ว
จำนวนชิ้นการประมวลผลเดี่ยว			1
ขนาดลักษณะที่ปรากฏ			850mmx900mmx1850mm
ระบบควบคุม			บมจ.
ระดับการทำงานอัตโนมัติ			ด้วยมือ

ความสามารถของฮาร์ดแวร์
เวลาทำงาน/เวลาที่มีอยู่	≧ 95%
เวลาเฉลี่ยในการทำความสะอาด (MTTC)	≦6 ชม
เวลาเฉลี่ยในการซ่อม (MTTR)	≦4 ชม
เวลาเฉลี่ยระหว่างความล้มเหลว (MTBF)	≧350 ชม
เวลาเฉลี่ยระหว่างผู้ช่วย (MTBA)	≧24 ชม
เวเฟอร์เฉลี่ยระหว่างหัก (MWBB)	≦1 ใน 10,000 เวเฟอร์
การควบคุมแผ่นทำความร้อน	50 250-°