เครื่องลบ PR RIE พลาสมาสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การลบ Photoresist และสารตกค้าง , China เครื่องลบ PR RIE พลาสมาสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การลบ Photoresist และสารตกค้าง Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

RIE พลาสมา เครื่องกำจัดโฟโตรีซิสต์

การกร่อนซิลิกอนคาร์ไบด์
การทำความสะอาดผิวหลังการแกะสลัก
DESCUM
เฉพาะชั้นหน้ากากแบบแห้ง
การกร่อนซิลิกอนออกไซด์หรือซิลิกอนไนไตรด์
การลบความต้านทานแสงระหว่างสื่อ
การกำจัดสารตกค้างบนผิว

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal details

กระบวนการ

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

ข้อดี:

ข้อดีหลัก

อัตราการลอกกาวสูง: พลาสมาความหนาแน่นสูง ลอกกาวได้เร็ว
เสถียรภาพ: หลังจากการบำบัดด้วยพลาสมา มีความสามารถสืบคืนได้สูง
พลาสมาจากระยะไกล: พลาสมาจากระยะไกล ความเสียหายของไอออนต่อลูกปืนน้อย
ซอฟต์แวร์เด่น: การวิจัยและพัฒนาซอฟต์แวร์อย่างอิสระ การแสดงแอนิเมชั่นกระบวนการที่เข้าใจง่าย ข้อมูลและบันทึกอย่างละเอียด
ความสม่ำเสมอ: พลาสมาสามารถควบคุมแรงดันและความร้อนผ่านวาล์วทรงผีเสื้อ
ปัจจัยความปลอดภัย: พลาสมาต่ำลดความเสียหายของการปล่อยผลิตภัณฑ์
บริการหลังการขาย: การตอบสนองรวดเร็วและมีสินค้าคงคลังเพียงพอ
การควบคุมฝุ่น: ตรงตามข้อกำหนดของลูกค้า
เทคโนโลยีหลัก: มีสมาชิกในทีมวิจัยและพัฒนามากถึงเกือบ 40%

แพลตฟอร์มแคสเซ็ท (MD-ST 6100/620)

1. เครื่องบรรทุกลูกปืน 4 ตัว
2. ความเข้ากันได้สูง: ความยืดหยุ่นในการเลือกขนาดเวเฟอร์ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพต้นทุนและวิธีการแก้ปัญหา
3. เครื่องบรรจุภัณฑ์สุญญากาศเสถียร:
การออกแบบการส่งผ่านสุญญากาศที่สุกกับเสถียรได้รับการนำไปใช้อย่างแพร่หลายในตลาดมาเป็นเวลาหลายปี และได้รับการยอมรับจากลูกค้าอย่างดี
การออกแบบจานหมุน พื้นที่กะทัดรัด ลดความเสี่ยงของอนุภาค PARTICAL อย่างเห็นได้ชัด
4. อินเทอร์เฟซการทำงานของซอฟต์แวร์ที่เน้นความสะดวกสำหรับมนุษย์:
อินเทอร์เฟซการทำงานของซอฟต์แวร์ที่เน้นความสะดวกสำหรับมนุษย์อย่างชัดเจน สามารถตรวจสอบสถานะการทำงานของเครื่องแบบเรียลไทม์;
ฟังก์ชันเตือนและการป้องกันข้อผิดพลาดอย่างครอบคลุม เพื่อหลีกเลี่ยงการดำเนินการผิดพลาด
ฟังก์ชันการส่งออกข้อมูลที่ทรงพลัง บันทึกข้อมูลพารามิเตอร์กระบวนการต่าง ๆ และการส่งออกบันทึกการผลิตของผลิตภัณฑ์

หุ่นยนต์

1. การออกแบบการเก็บและวางเวเฟอร์คู่ครั้งเดียวเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต
2. เพิ่มประสิทธิภาพการใช้พื้นที่

แผ่นทําความร้อน

1. การควบคุมอุณหภูมิแบบแม่นยำสูงสำหรับแผ่นเวเฟอร์
แผ่นทำความร้อนสำหรับเวเฟอร์จากอุณหภูมิห้องถึง 250°C ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ ±1°C
แผ่นทำความร้อนสำหรับเวเฟอร์ได้รับการสอบเทียบด้วยเครื่องมือมืออาชีพ และมีความสม่ำเสมอภายใน ±3°C รับประกันความสม่ำเสมอของการลบกาว
2. การประมวลผลเวเฟอร์คู่ในห้องเดียว
การออกแบบเวเฟอร์คู่ในห้องเดียว;
การออกแบบการปล่อยพลังงานอิสระสำหรับแต่ละเวเฟอร์ รับประกันผลลัพธ์การลบ PR รอบๆ เวเฟอร์;
ภายใต้เงื่อนไขที่รับประกันประสิทธิภาพ UPH ลดต้นทุนของผลิตภัณฑ์ มีความเข้ากันได้สูง
3. กำลังการผลิต: ห้องปฏิกิริยาออกแบบสำหรับสองชิ้นพร้อมกัน มีประสิทธิภาพการผลิตสูง

ข้อมูลจำเพาะ

แหล่งพลาสมา			RF
พลังงาน	ICP	_
พลังงาน		BIAS	1000W(ตัวเลือก)
ขอบเขตการใช้งาน			4~8 นิ้ว
จำนวนแผ่นที่ประมวลผลเดี่ยว			1
ขนาดการปรากฏตัว			850mmx900mmx1850mm
การควบคุมระบบ			PLC
ระดับอัตโนมัติ			คู่มือ

ความสามารถทางฮาร์ดแวร์
เวลาทำงานจริง/เวลาที่พร้อมใช้งาน	≧95%
เวลาเฉลี่ยในการทำความสะอาด (MTTC)	≦6 ชั่วโมง
เวลาเฉลี่ยในการซ่อมแซม (MTTR)	≦4 ชั่วโมง
เวลาเฉลี่ยระหว่างการเสียหาย (MTBF)	≧350 ชั่วโมง
เวลาเฉลี่ยระหว่างการช่วยเหลือ (MTBA)	≧24 ชั่วโมง
จำนวนเวเฟอร์เฉลี่ยก่อนเกิดความเสียหาย (MWBB)	≦1 ใน 10,000 เวเฟอร์
การควบคุมแผ่นความร้อน	50-250°

รายงานผลการทดสอบ

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

มุมมองโรงงาน

การแพ็คและจัดส่ง

ข้อมูลบริษัท

เรามีประสบการณ์ด้านการขายอุปกรณ์ 16 ปี เราสามารถให้บริการคุณด้วยวิธีแก้ปัญหาแบบครบวงจรสำหรับอุปกรณ์ไลน์แพ็คเกจหน้าและหลังสุดของเซมิคอนดักเตอร์จากประเทศจีน!