เครื่องกำจัดสารตกค้างโฟโตเรซิสต์ชนิดถาดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

รายละเอียดสินค้า

ประเภทถาด เครื่องกำจัดแสง เครื่องพีอาร์ถอด

เดสคัม
การทำความสะอาดเวเฟอร์
ขจัดกาวที่ตกค้างหลังจากกระบวนการเปียก
การกำจัดสิ่งตกค้างบนพื้นผิว
ขจัดกาวที่ตกค้างหลังจากสัมผัสและการพัฒนา

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องกำจัด PR แบบถาด รายละเอียดการกำจัดสารตกค้างด้วยแสง

กระบวนการ

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องกำจัด PR ชนิดถาด เครื่องกำจัดสารตกค้างด้วยแสง

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องกำจัด PR แบบถาด โรงงานกำจัดสารตกค้างด้วยแสง

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องกำจัด PR ชนิดถาด การผลิตการกำจัดสารตกค้างด้วยแสง

ความได้เปรียบ:

ข้อได้เปรียบหลัก

อัตราการลอกกาวสูง: พลาสมาความหนาแน่นสูง อัตราการลอกกาวอย่างรวดเร็ว
ความคงตัว: หลังการรักษาด้วยพลาสมา มีความสามารถในการทำซ้ำสูง
พลาสมาระยะไกล: พลาสมาระยะไกล ความเสียหายของไอออนต่ำต่อเวเฟอร์
ซอฟต์แวร์เด่น: การวิจัยและพัฒนาซอฟต์แวร์อิสระ แอนิเมชั่นกระบวนการที่ใช้งานง่าย ข้อมูลและบันทึกโดยละเอียด
ความสม่ำเสมอ: พลาสม่าสามารถควบคุมความดันและอุณหภูมิผ่านวาล์วผีเสื้อ
ปัจจัยด้านความปลอดภัย: พลาสมาต่ำช่วยลดความเสียหายต่อการจำหน่ายผลิตภัณฑ์
บริการหลังการขาย: ตอบสนองรวดเร็วและมีสินค้าคงคลังเพียงพอ
การควบคุมฝุ่น: ตอบสนองความต้องการของลูกค้า
เทคโนโลยีหลัก: ด้วยสมาชิกในทีม R&D เกือบ 40%

แท่นคาสเซ็ตต์ (MD-ST 6100/620)

1. ผู้ให้บริการเวเฟอร์ 4 ราย
2. ความเข้ากันได้สูง: ความยืดหยุ่นในการเลือกขนาดเวเฟอร์ทำให้ต้นทุนและประสิทธิภาพของโซลูชันสูง
3. ห้องถ่ายเทสูญญากาศที่มีความเสถียรสูง:
การออกแบบระบบส่งผ่านสุญญากาศที่สมบูรณ์และมีเสถียรภาพได้ถูกนำไปใช้อย่างครบถ้วนในตลาดมานานหลายปี และได้รับการยอมรับจากลูกค้าเป็นอย่างดี
การออกแบบเครื่องเล่นแผ่นเสียง พื้นที่กะทัดรัด ช่วยลดความเสี่ยงของการเกิด PARTICAL ได้อย่างมาก
4. อินเทอร์เฟซการทำงานของซอฟต์แวร์ Humanized:
อินเทอร์เฟซการทำงานของซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่าย การตรวจสอบสถานะการทำงานของเครื่องจักรแบบเรียลไทม์
ฟังก์ชั่นการแจ้งเตือนที่ครอบคลุมและป้องกันความผิดพลาดเพื่อหลีกเลี่ยงการทำงานผิดพลาด
ฟังก์ชันการส่งออกข้อมูลที่มีประสิทธิภาพ บันทึกพารามิเตอร์กระบวนการต่างๆ และส่งออกบันทึกการผลิตผลิตภัณฑ์

หุ่นยนต์

1. การออกแบบการเลือกและวางเวเฟอร์คู่แบบครั้งเดียวทำให้ได้ผลผลิตสูง
2. ปรับปรุงประสิทธิภาพของพื้นที่

แผ่นความร้อน

1. แผ่นเวเฟอร์ควบคุมอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง
แผ่นทำความร้อนเวเฟอร์ตั้งแต่อุณหภูมิห้องถึง 250°C ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ ±1°C
แผ่นทำความร้อนเวเฟอร์ได้รับการสอบเทียบโดยเครื่องมือระดับมืออาชีพและความสม่ำเสมอ ภายใน ±3°C ตรวจสอบให้แน่ใจว่าการลอกกาวมีความสม่ำเสมอ
2. การประมวลผลเวเฟอร์คู่แบบห้องเดียว
การออกแบบเวเฟอร์คู่แบบห้องเดียว
การออกแบบการปล่อยพลังงานอิสระสำหรับเวเฟอร์แต่ละอันทำให้มั่นใจได้ว่าแต่ละเวเฟอร์ ผลการกำจัด PR แบบกลม
ภายใต้สมมติฐานของการรับรองประสิทธิภาพ UPH ลดต้นทุนผลิตภัณฑ์ ความเข้ากันได้ที่แข็งแกร่ง
3. กำลังการผลิต: ห้องปฏิกิริยาการออกแบบสองชิ้นประสิทธิภาพการผลิตสูง

Specification

พลาสม่า			RF	RF
พลัง	ICP	1000w	1000w
พลัง		BIAS	600w (ตัวเลือก)	600w (ตัวเลือก)
ขอบเขตที่สามารถใช้งานได้			4 ~ 8 นิ้ว	4 ~ 8 นิ้ว
จำนวนชิ้นการประมวลผลเดี่ยว			1	2
ขนาดลักษณะที่ปรากฏ			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
ระบบควบคุม			ระบบควบคุมอุตสาหกรรม	ระบบควบคุมอุตสาหกรรม
ระดับการทำงานอัตโนมัติ			อัตโนมัติ	อัตโนมัติ

ความสามารถของฮาร์ดแวร์
เวลาทำงาน/เวลาที่มีอยู่	≧ 95%
เวลาเฉลี่ยในการทำความสะอาด (MTTC)	≦6 ชม
เวลาเฉลี่ยในการซ่อม (MTTR)	≦4 ชม
เวลาเฉลี่ยระหว่างความล้มเหลว (MTBF)	≧350 ชม
เวลาเฉลี่ยระหว่างผู้ช่วย (MTBA)	≧24 ชม
เวเฟอร์เฉลี่ยระหว่างหัก (MWBB)	≦1 ใน 10,000 เวเฟอร์
การควบคุมแผ่นทำความร้อน	50 250-°