โครงการ |
คอนเทนต์ |
ประเภทสินค้า |
เวเฟอร์ขนาด 6",8",12" บรรจุภัณฑ์ 2.5D/3D |
การตรวจสอบแบบ 2 มิติ รายการ |
วัตถุแปลกปลอม กาวที่เหลือ อนุภาค รอยขีดข่วน รอยแตก การปนเปื้อน ความเบี่ยงเบนของ CP รอยเข็มที่มากเกินไป ฯลฯ |
มาตรวิทยา 2 มิติ |
เส้นผ่านศูนย์กลางการนูน, พิกัดเครื่องหมายเข็ม, การวัด RDL และ TSV ฯลฯ |
โครงการตรวจสอบแบบ 3 มิติ |
ความสูงของการกระแทก, ความสูงในการกระแทกเท่ากัน |
เทปคาสเซ็ทและวิธีการส่ง |
8"SMIF , 12" FOUP หรือแบบผสม |
เลนส์และความละเอียด |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
ความแม่นยำ |
0.55um/พิกเซล |
ตัวเลือกและกำหนดเอง |
OCR สองด้าน, โมดูล 3D รองรับโดย E84 |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์