โครงการ
|
คอนเทนต์
|
ประเภทสินค้า
|
เวเฟอร์ขนาด 6",8",12" บรรจุภัณฑ์ 2.5D/3D
|
การตรวจสอบแบบ 2 มิติ
รายการ |
วัตถุแปลกปลอม กาวที่เหลือ อนุภาค รอยขีดข่วน รอยแตก การปนเปื้อน ความเบี่ยงเบนของ CP รอยเข็มที่มากเกินไป ฯลฯ
|
มาตรวิทยา 2 มิติ
|
เส้นผ่านศูนย์กลางการนูน, พิกัดเครื่องหมายเข็ม, การวัด RDL และ TSV ฯลฯ
|
โครงการตรวจสอบแบบ 3 มิติ
|
ความสูงของการกระแทก, ความสูงในการกระแทกเท่ากัน
|
เทปคาสเซ็ทและวิธีการส่ง
|
8"SMIF , 12" FOUP หรือแบบผสม
|
เลนส์และความละเอียด
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
ความแม่นยำ
|
0.55um/พิกเซล
|
ตัวเลือกและกำหนดเอง
|
OCR สองด้าน, โมดูล 3D รองรับโดย E84
|
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์