แหล่งพลาสมา
|
RF
|
ไมโครเวฟ
|
พลังงาน
|
1000W
|
1250w
|
ขอบเขตการใช้งาน
|
4~8 นิ้ว
|
4~8 ชุ่น
|
จำนวนแผ่นที่ประมวลผลเดี่ยว
|
4~6 นิ้ว=50 ชิ้น /8 นิ้ว=25 ชิ้น
|
4~6 นิ้ว=50 ชิ้น/8 นิ้ว=25 ชิ้น
|
ขนาดการปรากฏตัว
|
1250x1630x1900มม.
|
1250x1630x1900มม.
|
การควบคุมระบบ
|
พีซี
|
พีซี
|
ระดับอัตโนมัติ
|
อัตโนมัติ
|
อัตโนมัติ
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved