เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าไมโครเวฟสูญญากาศ แพ็คเกจการรักษาพื้นผิวพลาสม่าสารกึ่งตัวนำ โซลูชันบรรจุภัณฑ์ IC TO แพ็คเกจ ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน

คำอธิบายผลิตภัณฑ์

โซลูชั่นบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ เครื่องทำความสะอาดพลาสมาไมโครเวฟ

SPV-100MWR คือระบบทำความสะอาดพลาสมาไมโครเวฟแรงดันต่ำสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการใช้ไมโครเวฟความถี่ 2.45GHz กับหน้าต่างบนผนังของช่องสุญญากาศ จะทำให้เกิดพลาสมาต่อเนื่องจำนวนมาก และชิปจะถูกทำความสะอาดโดยการเข้าไปในช่อง

เครื่องทำความสะอาดพลาสมาไมโครเวฟไมโครเวฟสูญญากาศ การรักษาพื้นผิวพลาสม่าเซมิคอนดักเตอร์ โซลูชันบรรจุภัณฑ์ IC TO ผู้จัดจำหน่ายแพ็คเกจ

ค่าพารามิเตอร์ทางเทคนิค

โฮสต์พลาสม่าสุญญากาศ
ขนาดอุปกรณ์	1230X1800X1100 มม. (กว้าง x สูง x ลึก)
น้ำหนัก	450กิโลกรัม
ความต้องการใช้ไฟฟ้า	AC380V, 50/60Hz, 5 สาย, 30A
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดพลาสม่า
แหล่งจ่ายไฟไมโครเวฟ	พลัง	0 ~ 1250W
		เวลา	2.45GHz
ระบบสูญญากาศ
วัสดุ	อลูมิเนียมอัลลอยด์ (ห้องสแตนเลสปรับแต่งได้)
ความหนา	25mm
ขนาดภายในของช่อง	480mmX470mmX480mm
พื้นที่ทำงาน	นิตยสาร 6 ส่วน
ECR	Slotted Magazine ให้เอฟเฟกต์การประมวลผลที่ได้รับการปรับปรุง ECR
ความสามารถของพลาสมา
ความสามารถในการประมวลผล	สนาม 35um กันกระแทก40μm ขนาดแม่พิมพ์สูงสุด 15X15 มม