เครื่องทำความสะอาดพลาสมาด้วยไมโครเวฟแบบสุญญากาศ การบำบัดผิวด้วยพลาสมา โซลูชันการบรรจุเซมิคอนดักเตอร์ IC TO package , China เครื่องทำความสะอาดพลาสมาด้วยไมโครเวฟแบบสุญญากาศ การบำบัดผิวด้วยพลาสมา โซลูชันการบรรจุเซมิคอนดักเตอร์ IC TO package Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

โซลูชันการบรรจุเซมิคอนดักเตอร์เครื่องทำความสะอาดพลาสมาไมโครเวฟ

SPV-100MWR เป็นระบบทำความสะอาดพลาสมาไมโครเวฟแรงดันต่ำสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ โดยการใช้ไมโครเวฟที่ความถี่ 2.45GHz ไปยังหน้าต่างบนผนังของช่องสุญญากาศ จะสร้างพลาสมาจำนวนมากอย่างต่อเนื่อง และชิปจะถูกทำความสะอาดเมื่อเข้าสู่ช่อง

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

โฮสต์พลาสมาแบบดูดอากาศ
ขนาดของเครื่อง	1230X1800X1100mm (กว้าง x สูง x ลึก)
น้ำหนัก	450กิโลกรัม
ความต้องการพลังงาน	AC380V, 50/60Hz, 5-สาย, 30A
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดพลาสมา
แหล่งจ่ายพลังงานไมโครเวฟ	พลังงาน	0~1250W
		ความถี่	2.45GHz
ระบบสูบ
วัสดุ	อลูมิเนียมอัลลอย (สามารถปรับแต่งเป็นห้องสเตนเลสได้)
ความหนา	25มม
มิติภายในของโพรง	480mmX470mmX480mm
พื้นที่ทำงาน	6 ช่องแม็กกาซีน
ECR	นิตยสารแบบมีช่องให้ผลการประมวลผล ECR ที่ได้รับการปรับปรุง
ความสามารถในการใช้พลาสมา
ความสามารถในการประมวลผล	ระยะห่าง 35 ไมครอน ปุ่มขนาด 40μm ขนาดดายสูงสุด 15X15 มม.