พารามิเตอร์ทางเทคนิค |
รูปแบบการวัด |
PSI/VSI/ความลึกของสนามซูเปอร์/สนามสว่าง |
มุมมองการวัดเดี่ยว (เลนส์วัตถุ 20×) |
500*350μm (การต่อกันอัตโนมัติ) |
|
การปรับมุม |
±12° มือ |
|
การปรับแกน Z |
20mm เครื่อง + 50mm มือ (กลไกการปรับหยาบและละเอียด) |
|
ช่วงการสแกนตามแนวยาว |
0-10 มิลลิเมตร |
|
ความละเอียดตามแนวยาว |
<0.2nm |
|
ความสามารถในการวัดซ้ำของความขรุขระตามยาว |
0.01nm (โหมด PSI) |
|
ข้อผิดพลาดของการแสดงผลความสูงของขั้นบันได การวัด |
<0.75% (โหมด VSI) |
|
ความละเอียดในแนวราบ: @550nm |
0.69μm (เลนส์วัตถุ 20×) |
|
ความสามารถในการวัดการสะท้อนของตัวอย่าง |
0.1%-100% |
|
เวลาในการวัด |
<5s (โหมด PSI) |
|
ฟังก์ชั่นการวิเคราะห์ |
ฟังก์ชั่นการวิเคราะห์ |
การวัดความสูง 3D, การวิเคราะห์ความขรุขระ 3D, การวัดมิติ 2D |
ผลลัพธ์ข้อมูล 3D |
ข้อมูลจุดเมฆ 3D, ข้อมูลภาพ grayscale, รายงานที่ปรับแต่งได้ |
การขยายของเลนส์วัตถุ |
2.5X |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
อุปกรณ์ประกอบด้วยเครื่อง |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
ความละเอียดแสง @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
ระยะโฟกัสลึก (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
ระยะการทำงาน (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved