พารามิเตอร์ทางเทคนิค | โหมดการวัด | PSI/VSI/ระยะชัดพิเศษ/ระยะชัดที่สว่าง |
ระยะการมองเห็นการวัดเดี่ยว (เลนส์วัตถุ 20×) | 500*350μm (เย็บอัตโนมัติ) | |
การปรับมุม | ±12° แมนนวล | |
การปรับแกน Z | กลไกปรับหยาบและละเอียด 20 มม. แบบไฟฟ้า + 50 มม. แบบแมนนวล | |
ระยะการสแกนตามยาว | 0-10mm | |
ความละเอียดตามยาว | <0.2 นาโนเมตร | |
ความสามารถในการทำซ้ำของการวัดความหยาบตามยาว | 0.01nm (โหมด PSI) | |
ข้อผิดพลาดในการระบุความสูงของขั้นบันได การวัด | <0.75% (โหมด VSI) | |
ความละเอียดด้านข้าง: @550nm | 0.69μm (เลนส์วัตถุ 20×) | |
ตัวอย่างการสะท้อนแสงที่สามารถวัดได้ | 0.1% -100% | |
เวลาในการวัด | <5วินาที (โหมด PSI) | |
ฟังก์ชันการวิเคราะห์ | ฟังก์ชันการวิเคราะห์ | การวัดความสูง 3 มิติ การวิเคราะห์ความหยาบ 3 มิติ การวัดมิติ 2 มิติ |
เอาท์พุตข้อมูล 3 มิติ | ข้อมูลคลาวด์จุด 3 มิติ ข้อมูลภาพระดับสีเทา รายงานที่กำหนดเอง |
การขยายภาพวัตถุ | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
รูรับแสงตัวเลข | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
ความละเอียดออปติคอล @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
ระยะโฟกัส (ไมโครเมตร) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
ระยะการทำงาน (มม.) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์