УкраїнаРеактивне іонне травлення звучить як страшний термін, але насправді це метод, який люди використовують, щоб перетворити невеликі технічні шматочки на пізній сніданок. Ці маленькі шматочки є ключовими інгредієнтами в різноманітних пристроях, які використовуються щодня, наприклад, смартфонах, комп’ютерах тощо. Основна функція цього процесу – видалити частини матеріалу, щоб ви могли створювати крихітні та точні частини. У цій статті ми розглянемо, що таке реактивне іонне травлення — позитивні та негативні сторони роботи з РІЕ порівняно з іншими методами плазмохімічної обробки; роль плазмохімії в цьому процесі; як ви можете досягти високоякісних результатів, використовуючи обладнання RIE правильно, і, нарешті, яке місце воно займає як технологічний інструмент readcrh xvv.
Реактивне іонне травлення – це складний метод, який передбачає використання дрібних іонів і газу для відколювання шматків матеріалу. Думайте про це як про потужний спрей, який вибірково видаляє матеріал для формування точної форми. Це включає вибухову дію цих іонів на поверхню матеріалу. Коли іони стикаються з матеріалом, вони реагують з ним і розпадаються на дрібні шматочки, які можна видалити. Ви поміщаєте матеріал у своєрідну коробку, яка повністю герметична та вільна від повітря, називається вакуумною камерою. Ці маленькі частинки генеруються за допомогою радіочастотної енергії, де вони створюють іони.
Реактивне іонне травлення є одним із найкращих, коли справа стосується деталей. Це означає, що він може створювати високоточні кутові та вигнуті елементи, але це робиться за допомогою газу, а не рідини. Це означає, що деталі, створені за допомогою цього методу, буквально придатні для використання в технології [1]. Крім того, це один із найшвидших процесів; більшу кількість деталей можна виготовити за короткий період. Оскільки цей процес дуже швидкий, він може бути досить ефективним для компаній з великим попитом на певну деталь.
Але реактивне іонне травлення також має проблеми. Він не підходить для всіх типів матеріалів, оскільки деякі різні види не зможуть мати такі лазерні вирізи. І це вимагає відповідних температур і тиску на місці. Також мають бути присутні правильні умови, інакше новий процес може не працювати. Єдиним недоліком є те, що його встановлення може бути надзвичайно дорогим порівняно з іншими методами травлення, що може стримувати деякі підприємства від використання переваг порошкового покриття.
Значне місце займає плазмохімія в процесі реактивного іонного травлення. Ці іони, що утворюються плазмою, викликають розрив хімічних зв’язків матеріалу, що призводить до різання. Коли зв’язки розриваються, матеріал розпадається на дрібні шматочки, які потім відлітають разом із потоком газу. На те, що утворюється під час хімічної реакції, може вплинути тип використовуваного газу. Наприклад, газоподібний азот може забезпечити акуратне травлення, що дає змогу видаляти матеріали, не залишаючи небажаних залишків, тоді як газоподібний кисень забезпечує інший тип травлення, який може підійти залежно від вимоги.
Суворий контроль процесу має вирішальне значення для досягнення хороших результатів із реактивним іонним травленням. Це вимагає вимірювання багатьох параметрів, включаючи температуру, тиск, потік газу та енергію іонів. Стабільне середовище сприяє послідовним, передбачуваним результатам травлення лінії. Якщо одна з цих змінних не контролюється ефективно, це може вплинути на кінцевий продукт. Крім того, перед тим, як почати травлення, необхідно очистити матеріал і належно підготуватися. Якщо весь час було витрачено на підготовку матеріалу для травлення, це має призвести до кращих результатів.
Прикладом є реактивне іонне травлення, яке зазвичай використовується в промисловості мікрофабрик для виготовлення дуже маленьких деталей для різних технічних гаджетів. Графен корисний у виробництві крихітних електронних схем, датчиків і мікрофлюїдних пристроїв, які необхідні для сучасних технологій. Він також використовується для створення мікроелектромеханічних систем (MEMS), які є невеликими пристроями, які можуть буквально бачити, чути, відчувати та рухати речі по одній молекулі за раз. Ці MEMS використовуються в багатьох додатках: від невеликих пристроїв, таких як смартфони, до більших інструментів і навіть медичного обладнання. Серед цих процесів реактивне іонне травлення відіграє вирішальну роль, оскільки воно може створювати крихітні та точні характеристики, необхідні для таких передових технологій.
Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd.
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
НЕМАЄ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
