Проект |
Вміст |
Тип продукту |
6",8",12" кремнієва пластина, 2.5D/3D упаковка |
2D Перевірка Елементи |
Чужородні предмети, залишки клею, частинки, шрами, тріщини, забруднення, відхилення CP, надмірні позначки від игли тощо. |
2D Метрологія |
Діаметр Bump, координати позначок від игли, метрологія RDL та TSV тощо. |
3D Проект перевірки |
Висота бампів, Копланарність бампів |
Касета та метод передачі |
8"SMIF , 12" FOUP або комбінація |
Лінза та роздільність |
2x(2.75мкм)13.5x(1.57мкм)5x(1.1мкм)17.5x(0.73мкм)110x(0.55мкм) |
Точність |
0.55мкм/піксель |
Опціонально та на замовлення |
Подвійне OCR, 3D модуль, підтримується E84 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved