Minder-Hightech — це виробник напівпровідників. Напівпровідники є ключовими компонентами багатьох пристроїв, які роблять сучасне життя можливим, таких як мобільні телефони та комп'ютери. Зараз для створення напівпровідників існує декілька етапів, але перший етап полягає у створенні патерну на плоскій поверхні, яка називається пластинкою (wafer).

Щоб відобразити цей патерн, ми наносимо спеціальний матеріал на пластинку. Ця речовина відома як фоточутлива емульсія (photoresist). Після того, як ми нанесли фоточутливу емульсію, ми піддаємо її дії світла. Під впливом світла деяка частина фоточутливої емульсії затверджується і стає міцною. У частинках, які залишаються у тіні, матеріал залишається м'яким і його можна змийти.

Після отримання бажаного патерну на пластинці, фоточутливу емульсію потрібно зняти з тих областей, де ми будемо проводити подальшу обробку. Саме тут Plasma Cleaner заступається буквально.

Плазменні методи для видалення фоточутливої емульсії

Плазма - це стан газу з високим рівнем енергії, що виникає завдяки застосуванню високого електричного напруження до нього. І цей активаційний газ дуже корисний для видалення фоторезисту з поверхні пластинки. За допомогою плазми фоторезист може стати хрупким, і його очищення стає значно легшим.

Ми маємо дві різні технології використання плазми для видалення фоторезисту: суха етчинга та ашуювання.

Суха етчинга: У цій техніці реальна плазма взаємодіє з фоторезистом. Плазма реагує з фоторезистом у місцях контакту. Ця реакція розкладає фоторезист і перетворює його у газ. Це газоподібне речовину потім можна видалити з поверхні пластинки, що призводить до відкриття областей, які ми потребуємо чистими та доступними для подальшого процесування.

Ашинг — це інший спосіб виконання процесу, при якому використовується нереактивний плазма для фотоrezystu. Плазма розбиває фотоrezyst на дуже маленькі частинки. Потім ці маленькі частинки можна змийти з пластиночки. Цей підхід є відповідним та захищає пластинку під час видалення непотрібного фотоrezystu.

Використання реактивної плазми для зняття фотоrezystu

Плазменна обробка поверхні є дуже потужним інструментом, який допомагає нам видаляти найскладніший фотоrezyst з пластиночки. Плазма сама по собі дивовижна, але найкраща частина полягає в тому, що ми можемо перетворити її на надзвичайно селективний агент. Це означає, що його можна настроювати так, щоб він реагував лише з фотоrezystом, не діючи на інші матеріали нижче.

Наприклад: Якщо у нас є візерунок на пластику, де метал розміщений під фотоrezystansom, ми можемо використовувати тип плазми, яка реагує тільки з фотоrezystansom. Таким чином, ми можемо етчуювати фотоrezystans, не шкодячи металу під ним. Тепер це дуже важливо, оскільки нам потрібно, щоб всі частини пластини зберігали свою цілісність під час процесу.

Техніка Плазми для Зняття Фотоrezystansu

Minder-Hightech використовує сучасну плазменну технологію для зняття фотоrezystansу з наших пластин. Це дозволяє нам виготовляти безпомилкові напівпровідники, які мають високу якість.

Швидко, настроємо під ваші потреби. Наші системи спроектовані так, щоб інтегруватися гладко в ваш процес. Це означає, що ми можемо зняти фотоrezystans за короткий час. І через нашу швидкість, ми задовольняємо повний попит наших клієнтів, доставляючи відмінні продукти саме тоді, коли вони їх потребують.

Але наші плазменні системи також дуже точні, крім своєї ефективності. Ця точність дає нам можливість видаляти тільки сам фоторезист. Наша технологія запобігає пошкодженню всіх інших частин пластини під час процесу, і ми не можемо цього допустити. Цей методичний підхід ще більше важливий для якості напівпровідників, які ми виробляємо.

Видалення фоторезисту плазмою на напівпровідниках

Отже, коротко кажучи, плазма - це суперздатність, яка дозволяє нам знимати деякі фотополімери з поверхні пластиночки дуже ефективним чином. Ми, у Minder-Hightech, застосовуємо найновіші та найкращі плазменні технології для виробництва напівпровідників абсолютно без дефектів. Коли йде мова про плазменні системи, наші рішення виготовляються так, щоб збалансувати швидкість з точністю, при цьому залишаючись дуже ефективними. Це означає вміння задовольняти вимоги наших клієнтів, а також забезпечувати якісні продукти без помилок. Це покращує процес виробництва напівпровідників, які ми використовуємо. плазменне видалення технологія, яка робить наші напівпровідники найкращими для всіх видів електронних пристроїв, щоб вони були надійними пристроями.