Система реактивного іонного травлення
Професійно надавайте індивідуальні рішення для клієнтів
Двокамерне налаштування RIE (Cl₂).
У лютому 2024 року ми отримали запит від клієнта на 100-міліметрову пластину з хлором.
Для нас це цікаве застосування, оскільки необхідний технологічний газ містить токсичні гази Cl2 і BCl3. Ми повинні вдосконалити всі конфігурації машини, щоб уникнути проблем з безпекою, і спеціально розробили двокамерну структуру технологічної камери та камери передачі, щоб ідеально захистити оператора, відповідаючи вимогам процесу.
Приблизно через 5 місяців проектування та виробництва ми провели численні випробування зразків і симуляції виробництва у внутрішній лабораторії компанії та швидко доставили обладнання після проходження приймання замовником.
Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd.
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
НЕМАЄ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
