1.MDAM-CMPA200 — ідеальна система для гратування та полірування при великих об'ємах роботи з різними матеріалами кристалів (SiC, Сапфір, GaN, AlN...) компонентів, таких як фільтруючі матеріали, клинові матеріали, панелі LCD тощо.
2.Чотири мотори та чотири надмірно великі полірувальні головки дозволяють одночасно полірувати до 48 кристалів розміром 2". Таким чином, машина серії MP ідеально підходить для використання у повносиловому виробничому середовищі.
3.Автоматична панель керування машини використовує переносний екран з тач-контролем, а параметри процесу можуть бути введені та змінені вільно.
4.Автоматичне керування та інтелектуальні системи завантаження/роззавантаження швидко полірують кристали до поверхні, придатної для епітаксіального підготовлення. Ця система особливо корисна для операцій з твердими підложками, а також може обробляти кристали діаметром до 8".
5. Машину точного шлифування і полірування MDAM-CMPA200 включає у себе основний агрегат, систему дистанційного керування, фіксаційний пристрій, вакуумну систему, систему заповнення, шлифувальні та полірувальні диски тощо.
6. У машині точного шлифування і полірування MDAM-CMPA200 головний агрегат та всі запасні частини виготовлені з матеріалів, що високо стійкі до корозії, вся машина є корозійностійкою і придатною для хіміко-механічного шлифування і полірування різних напівпровідників.
7. За допомогою незалежної системи дистанційного керування також можна досягти спільного керування декількома машинами. Через контрольний термінал можна керувати декількома шлифувальними та полірувальними машинами, що спрощує зміну технологічних параметрів під час процесу. Вона також дозволяє досягти точного числового керування декількома процесами одночасно, значно підвищуючи ефективність роботи та точність процесу.
8. Система автоматичного заповнення може регулювати швидкість краплення в залежності від різних процесуальних вимог, а також автоматично вимикається, коли гранювальний матеріал закінчується, щоб уникнути пошкодження вибрушки при його відсутності.
9. Система керування обладнання має функцію таймера. Після досягнення заданого часу система автоматично вимикається.