Розмір пластини
|
4”~ 8” пластина
|
Товщина пластини
|
100~750 мікрон
|
Тип пластини
|
Si, SiC, GaN або інші матеріали
|
Тип фільму
|
Синя фільма, УФ-фільма
Ширина: 230 ~ 300 мм Довжина: 100 м Товщина: 0.05 ~ 0.2 мм |
Кільце для транспортування пластин
|
6”, 8” DISCO
|
Метод завантаження та роззавантаження
|
Ручне місцезнаходження та видалення пластина/кільця
|
Точність позиціонування фільми
|
±0,5 мм
Стандартні пластини для кристалів діаметром 6" та 8" для кристалів розміром 6" та 8" |
Вакуумний насос
|
Minder-Hightech
|
Антистатичний контроль
|
Вентилятор деіонізації
|
Контрольний блок
|
На основі керування ПЛК, з 10-дюймовим сенсорним екраном
|
Захист безпеки
|
Опалювано захисною световою завесою та кнопкою аварійної зупинки
|
Напруження живлення
|
Одnofазне AC 220B, 16A
|
Сціслене повітря
|
0.45~0.6MPa, об'єм потоку 70Л/хв
|
Корпус машини
|
Білий металевий корпус, посмакований пластиковим покриттям
|
Об'єм
|
850мм (ширина)*1750мм (глибина)*1970мм (висота)
|
Чиста вага
|
480кг
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved