Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd.
Отримати цитату

Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd.

Головна
Про нас
Обладнання MH
рішення
Закордонні користувачі
Відео
Зв'яжіться з нами
Головна> Вирівнювач масок
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання
  • Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання

Фотолітографія вирівнювача/машини вирівнювання Україна

Отримайте безкоштовне котирування
опис продуктів
Літографічна машина для вирівнювання масок
Mask Aligner в основному використовується в розробці та виробництві малих і середніх інтегральних схем, напівпровідникових компонентів, оптоелектронних пристроїв, пристроїв поверхневої акустичної хвилі, тонкоплівкових схем і силових електронних пристроїв
Вирівнювач масок, також відомий як експонуючий апарат для вирівнювання масок, система експонування, система літографії тощо, є основним обладнанням для виробництва мікросхем. Він використовує технологію, подібну до фотодруку, для друку тонких візерунків на масці на кремнієвій пластині під впливом світла
В основному складається з: високоточного верстака для вирівнювання, бінокулярного вертикального мікроскопа з розділеним полем зору, бінокулярного розділеного поля зору горизонтального мікроскопа, цифрової камери, комп’ютерної системи пам’яті зображень, багатоточкового джерела світла («fly eye») експонуючої головки, системи керування PLC, пневматична система, вакуумна система, вакуумний насос з прямим підключенням, вторинний антивібраційний верстак і коробка для аксесуарів
Виробництво фотолітографії Aligner / Alignment Machine
Фотолітографічна фабрика Aligner / Alignment Machine
Характеристика
1. Висока рівномірність експозиційної головки / механізм вирівнювання повітряної флотації / надійне вакуумне затискне експонування. висока роздільна здатність.
2. Метод вирівнювання за допомогою маски підтримує стабільність і подає субстрат, що забезпечує узгодженість напрямної гравітації та сили.
3. Використання прямої направляючої без зазорів, висока точність, швидка швидкість.
4. Всі моделі підходять для роботи з усіма стандартними фоторезистами. наприклад AZ, Shipley, SU 8.
5. Уся модель. Якість візерунка, переданого системою на основу під час нанесення маски, має бути такою ж, як якість малюнка після нанесення першої маски.
6. Час експозиції регулюється від 1 секунди до 1 години. Точність вирівнювання 1 мкм
Постачальник фотолітографії Aligner/Alignment Machine
Деталі фотолітографії Aligner/Alignment Machine
Деталі фотолітографії Aligner/Alignment Machine
Фотолітографічна фабрика Aligner / Alignment Machine
Виробництво фотолітографії Aligner / Alignment Machine
Деталі фотолітографії Aligner/Alignment Machine
Фотолітографічна фабрика Aligner / Alignment Machine
Фотолітографічна фабрика Aligner / Alignment Machine
Виробництво фотолітографії Aligner / Alignment Machine
Деталі фотолітографії Aligner/Alignment Machine
Специфікація
Model
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31

MD-G33



Тип експозиції
Одна сторона

Двостороннє вирівнювання та подвійна експозиція



Режим експозиції
Контактна жорстка, м'яка і безконтактна близькість




Кількість експозиційної головки
1 Головка експозиції

2 Головка експозиції



Тип джерела світла
Сферична ртутна лампа GCQ350



Світлодіодна ультрафіолетова головка

Метод охолодження
Повітряне охолодження




Площа експозиції
Φ100мм
110 × 110mm
Φ100мм

150mm × 150mm



Режим експозиції
Сумісний з контактними жорсткими, м'якими




Нерівномірність експозиції
Φ100 мм <±3%<>
≤ ± 3%




Роздільна здатність експозиції
2μm
1 мкм




Інтенсивність променя (365 нм)
≥6 мВт/см²
≤40 мВт/см2
≥5 мВт/см2

0～30 мВт/см2



Неоднорідність променя
≤ ± 4%
≤ ± 3%




Максимальний кут відхилення ультрафіолетового світла
4 °
3 °




Діапазон освітлення
≤Φ117 мм
Φ117мм
≤Φ117 мм

Спереду і ззаду ≥ Φ115 мм



Режим компенсації похибки клина
Напівсферична автоматична компенсація

Автоматична елімінація

3-точкова автоматична компенсація


Хід осей X і Y
± 4мм
± 5мм
± 4мм

± 5 мм



Подорож θ
± 3 °
≤5 °
≤±5º

≤0.5 °



Роздільна здатність зміщення підкладки XYZ
0.5μm
0.3μm
0.3μm

0.01μm



Система мікроскопа
Два одноствольні мікроскопи/дві камери CCD




Розмір дисплея
15 дюймів




Роздільна здатність системи візуалізації
2μm
1.5μm
1.5μm

1.5μm



Відстань вимірювання маски та підкладки
0.5 μm
0.3 μm




Діагональний розмір поверхні мішені CCD
1/3,（6 мм）



40 мм ~ 110 мм

Налаштування розміру столу
≤ Квадрат 5*5 дюймів (специфікації, що настроюються)




Розмір підкладок
Φ 100 мм або квадрат 100 * 100 мм
Квадрат 60*49.5 мм
2 ”-4”

1"x1"-5"x5"



Товщина підкладки
1-3mm
≤5 мм
1-3mm

≤5 мм



Вакуумний насос
Вимкнення звуку без масла（-0.07～－0.08MPα）




Чисте стиснене повітря
≥0.4MPα




джерело живлення
AC 220V±10% 50HZ 1.5KW




Клас чисте приміщення
Клас 100




Чиста кімнатна температура
25 ° C ± 2 ° C




Відносна вологість чистого приміщення
≤60%




Амплітуда вібрації чистого приміщення
≤4мкм




Розмір обладнання
1300 × 720 × 1600 мм


1500 × 800 × 1600 мм


Вага обладнання
200kg


280kg


Виробництво високоточної системи вирівнювання потребує майже ідеальної точності механічного процесу. Ще однією технічною проблемою системи юстування є мікроскоп юстування. Щоб збільшити поле зору мікроскопа, багато висококласних літографічних машин використовують світлодіодне освітлення. Існує два комплекти системи вирівнювання з функцією фокусування. В основному він складається з двох очей і двох полів зору, спрямованих на основний корпус мікроскопа, однієї пари окулярів і однієї пари об’єктивів (літографічна машина зазвичай забезпечує окуляр і об’єктив із різним збільшенням для користувачів). Функція системи вирівнювання ПЗС полягає в тому, щоб збільшити позначки вирівнювання маски та зразка та відобразити їх на моніторі.
Фотолітографічна фабрика Aligner / Alignment Machine
Фотолітографічна фабрика Aligner / Alignment Machine
Ступінь заготовки є ключовою частиною літографічної машини, яка складається з етапу загального руху зразка маски (XY), етапу відносного руху зразка маски (XY), етапу обертання, механізму вирівнювання зразка, механізму фокусування зразка , пластинчастий етап, затискач маски та висувний етап маски. Механізм вирівнювання зразка містить кульове сидіння та півсферу. У процесі вирівнювання спочатку повітря під тиском подається до сидіння кульки та півсфери, а потім сидіння кульки, півсфера та зразок рухаються вгору через маховик фокусування, щоб зразок можна було вирівняти по масці, а потім двопозиційний триходовий електромагнітний клапан перемикає кульове сідло та півсферу в вакуум для блокування для підтримки вирівняного стану.
Деталі фотолітографії Aligner/Alignment Machine
Постачальник фотолітографії Aligner/Alignment Machine
Фотолітографічна фабрика Aligner / Alignment Machine
Деталі фотолітографії Aligner/Alignment Machine
Фотолітографічна фабрика Aligner / Alignment Machine



Minder-Hightech пропонує вам передову технологію для фотолітографії за допомогою машини для вирівнювання/вирівнювання.

 

У вас проблеми з недостатньою точністю під час друку схем на ваших електронних виробах? З машиною для вирівнювання/вирівнювання Minder-Hightech ви можете бути спокійні, знаючи, що ви досягнете високого рівня точності у виробництві друкованих схем.

 

За допомогою цього революційного елемента ви можете легко перенести зображення високої роздільної здатності на продукт за допомогою фотолітографії. Ця машина гарантує точність завдяки оперативній системі вирівнювання матеріалу по зображенню.

 

Після того, як фотографії були надруковані та завантажені, машина обчислює необхідну кількість експозиції та те, як матеріал узгоджується зі згадкою про зображення. Цей розрахунок виконується за допомогою найновішого комп’ютерного програмного забезпечення, яке можна оновлювати відповідно до технологічного розвитку промисловості.

 

Це дозволить вам виготовляти широкий спектр, включаючи мікросхеми, радіочастотні (ВЧ) схеми та вбудовані схеми. Пристрій може забезпечити найкращу глибину травлення, ширину доріжки та вирівнювання шару до шару завдяки додаванню різноманітних додаткових процедур, таких як хімічне травлення та гальванічне покриття.

 

Перевага нашого продукту полягає в його здатності виробляти високу вирівняність, яка гарантує, що візерунки розташовані з високою точністю на матеріалі. Ви можете зручно друкувати багато складних дизайнів без будь-яких деформацій.

 

Він зручний, компактний і ефективний, що робить його придатним для різних виробничих потужностей або компаній різного розміру. Крім того, наш пристрій поставляється з ручним обслуговуванням і навчанням на місці з нашою командою технічної підтримки.

 

Машина для вирівнювання/вирівнювання Minder-Hightech використовує технологію фотолітографії, щоб допомогти вам досягти найкращих результатів під час друку схем. Відчуйте новий рівень технологій, який пропонує вам високу точність і точність, з якими не можуть зрівнятися традиційні методи друку. Машина для вирівнювання/вирівнювання від Minder-Hightech — це те, що потрібно вашій виробничій компанії, щоб бути на крок попереду конкурентів. Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб насолодитися перевагами найкращої технології вирівнювача/машини для вирівнювання на ринку.


Інші товари цього виробника

Запит

Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені

Політика Конфіденційності

Запит Email WhatsApp WeChat
Toп
×

Зв'яжіться з нами!