Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Отримати ціну

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

домашня сторінка
Про нас
MH Equipment
Рішення
Заграничні користувачі
Відео
зв'яжіться з нами
Головна> Маска вирівнювач
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат
  • Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат

Апарат вирівнювання / фотолітографічний апарат

Отримайте безкоштовну пропозицію
Опис продукту
Машина літографії з маскою
Вирівнювач маски головним чином використовується для розробки та виробництва малих та середніх інтегральних схем, півпровідникових компонентів, оптоелектронних пристроїв, поверхневих акустичних хвиль, тонкісльових схем та силових електронних пристроїв
Масковий вирівнювач, також відомий як: пристрій маскового вирівнювання, експозиційна система, літографічна система тощо, є ключовим обладнанням для виготовлення чипів. Він використовує технологію, схожу на фото друкарську, щоб надрукувати тонкі шаблони з маски на кремніеву пластину за допомогою світлової експозиції.
Головним чином складається з: високоточного вирівнювального столу, бінарного розділеного поля видимості вертикального мікроскопа, бінарного розділеного поля видимості горизонтального мікроскопа, цифрової камери, комп'ютерної системи зображення і пам'яті, багатоточкового джерела світла (fly eye) експозиційної головки, системи керування PLC, пневматичної системи, вакуумної системи, безпосередньо підключеної вакуумної помпи, вторинної протичувальної столу і аксесуарної коробки.
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Характеристика
1. Висока однорідність fly-eye експозиційної головки / повітряний плавучий рівнівник / надійне вакуумне стискання при експозиції. висока роздільність.
2. Метод вирівнювання маскою забезпечує стабільність і подачу субстрату, що гарантує узгодженість напрямку сили і навантаження.
3. Використання безшовного лінійного рушія, висока точність, швидка швидкість.
4. Усі моделі придатні для роботи з усіма стандартними фотолаками, такими як AZ, Shipley, SU 8.
5. Усі моделі: якість зображення, передана системою на субстрат після застосування 5 масок, повинна бути такою самою, як і якість зображення після застосування першої маски.
6. Час експозиції регулюється в діапазоні від 1 секунди до 1 години. Точність вирівнювання 1 µm
Aligner /Alignment Machine photolithography supplier
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Специфікація
Модель
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31

MD-G33



Тип експозиції
Одна сторона

Вирівнювання та експозиція з двох сторін



Режим експозиції
Контактний, м'який і безконтактний блискавичний метод




Кількість головок експозиції
1 Головка експозиції

2 Головки експозиції



Тип джерела світла
Кульова ртутна лампа GCQ350



LED УФ головка для експозиції

Метод охолодження
Повітряне охолодження




Область експозиції
Φ100мм
110×110мм
Φ100мм

150мм×150мм



Режим експозиції
Сумісний з контактними твердими, м'якими




Неоднорідність експозиції
Φ100мм<±3%<>
≤±3%




Роздільна здатність експозиції
2μm
1 μm




Інтенсивність променя (365 нм)
≥6mw/ cm²
≤40mw/cm2
≥5mw/cm2

0～30mw/cm2



Неоднорідність променя
≤±4%
≤±3%




Максимальний відхилення кута уві трьох світлі
4°
3°




Діапазон освітлення
≤Φ117мм
Φ117мм
≤Φ117мм

Спереду та ззаду ≥ Φ115мм



Режим компенсації помилки клина
Кульова автоматична компенсація

Автоматичне видалення

Компенсація в 3 точках автоматично


Хід осей X та Y
±4мм
±5мм
±4мм

±5 мм



Хід кута θ
±3°
≤5°
≤±5º

≤0.5°



Роздільна здатність зсуву підложки XYZ
0.5µm
0.3µm
0.3µm

0.01µm



Система мікроскопа
Два одноциліндрових мікроскопи / Дві CCD камери




Розмір екрана
15 дюймів




Роздільна здатність системи зображення
2µm
1.5µm
1.5µm

1.5µm



Вимірювання відстані між маскою та субстратом
0.5 µm
0.3 µm




Діагональна розмірність поверхні цілі CCD
1/3, (6мм)



40мм～110мм

Розмір установочного столу
≤ Квадрат 5*5 дюймів (спеціальні специфікації на замовлення)




Розмір субстратів
Φ 100мм або квадрат 100*100мм
Квадрат 60*49.5мм
2”-4”

1"x1"-5"x5"



Товщина субстрату
1-3 мм
≤5 мм
1-3 мм

≤5 мм



Вакуумний насос
Безмасляний тихий (-0.07～-0.08МPа)




Чисте стиснуте повітря
≥0.4МPа




Джерело живлення
AC 220В±10% 50Гц 1.5КВт




Розряд чистого помешкання
Розряд 100




Температура чистого помешкання
25℃±2℃




Вологість повітря чистого приміщення
≤60%




Амплітуда вibrацій чистого приміщення
≤4μm




Розмір обладнання
1300 ×720×1600мм


1500 ×800×1600мм


Вага пристрою
200КГ


280кг


Виробництво систем високоточного вирівнювання має мати майже досконалий точний механічний процес. Інша технічна проблема системи вирівнювання - це микроскоп для вирівнювання. Щоб підвищити поле зору микроскопа, багато сучасних літографічних машин використовують освітлення на LED. Є дві системи вирівнювання з функцією фокусування. Вони головним чином складаються з двох очей і двох полів зору, спрямованих на тіло микроскопа, одна пара окулярів і одна пара об'єктивів (літографічна машина зазвичай надає користувачам окуляри і об'єктиви з різним збільшенням). Функція CCD-системи вирівнювання полягає у тому, щоб збільшити маркери вирівнювання маски та вибірки і відобразити їх на моніторі.
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Етап робочого елемента є ключовою частиною літографійної машини, яка складається зі стадії загального руху маски та вибірки (XY), стадії відносного руху маски та вибірки (XY), обертальної стадії, механізму вирівнювання вибірки, механізму фокусування вибірки, стадії кристалів, зажиму маски та витягувальної стадії маски. Механізм вирівнювання вибірки містить кулькове сідло та півкулю. У процесі вирівнювання спочатку до кулькового сідла та півкулі подається повітряний тиск, а потім кулькове сідло, півкуля та вибірка піднімаються через фокусувальне колесо, щоб вибірка була вирівнена щодо маски, а потім трипозиційний електромагнітний клапан переключає кулькове сідло та півкулю на вакуум для блокування, щоб підтримувати стан вирівнювання.
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography supplier
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory



Minder-Hightech пропонує вам передову технологію для фотолітографії за допомогою Aligner/Alignment Machine.

 

Чи сталкиваєтеся ви з недостатньою точністю при друкуванні схем на свої електронні продукти? За допомогою вирівнювача/машини для вирівнювання Minder-Hightech ви можете бути впевнені, що досягнете високої точності у виробництві друкованих схем.

 

З цим революційним пристроєм ви безперешкодно можете переносити високорозрізнільні зображення на продукт за допомогою фотолітографії. Ця машина гарантує точність завдяки системі операційного вирівнювання матеріалу зі зображенням.

 

Після того як зображення були надруковані та завантажені, машина обчислює необхідну кількість експозиції та спосіб вирівнювання матеріалу з врахуванням зображень. Ці обчислення виконуються за допомогою найновшого комп'ютерного програмного забезпечення, яке можна оновлювати для відповідності технологічному розвитку у виробничій галузі.

 

Це дозволить вам виготовляти широкий асортимент, включаючи мікрочипи, радіочастотні (RF) кола та вбудовані кола. Пристрій може досягнути найкращої глибини етчуючу, ширини шляху та вирівнювання шарів через додавання різних доповнюючих процедур, таких як хімічне етчуюч і електрооболонення.

 

Перевага нашого продукту полягає у його здатності досягати високого вирівнювання, що гарантує точне розташування патернів на матеріалі. Ви можете зручно друкувати багато складних дизайнерських рішень без будь-яких викривлень.

 

Він є користувачем дружнього, компактного та ефективного, що робить його придатним для різноманітних виробничих закладів чи розміру компанії. Крім того, наш пристрій має ручний догляд та навчання на місці разом із нашою командою технічної підтримки.

 

Виробник Minder-Hightech використовує технологію фотолітографії у своєму Аппараті для вирівнювання/Приладі для вирівнювання, щоб допомогти вам досягнути найкращих результатів при друку вашої схеми. Почуте новий рівень технологій, який пропонує вам високу точність та точність, з якою не можуть порівнятися традиційні методи друку. Прилад для вирівнювання/Апаратурна система вирівнювання від Minder-Hightech - це те, що потрібно вашій виробничій компанії, щоб залишатися на крок попереду своїх конкурентів. Зв'яжіться з нами сьогодні, щоб користуватися перевагами найкращої технології Аппарату для вирівнювання/Приладу для вирівнювання на ринку.


Більше продуктів

запит

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Політика конфіденційності

запит Email whatsapp WeChat
Top
×

ЗВ'ЯЖІТЬСЯ