Автоматична CMP Post Clean , Китай Автоматична CMP Post Clean Виробники, постачальники, фабрика

Опис товару:

Обладнання для чищення пластин після хімічного механічного полірування

CMP Post Chean

Функції машини

Сильна здатність до процесу
Двокамерна щітка з широким діапазоном застосування
Обладнання займає невелику площу, з розмірами 2200 * 800 * 2200 (мм)

Поля застосування

6-8 дюймів CMP після чищення
Очищення після шліфування SIC або інших субстратів

Технічні параметри

Очищення після 4-дюймового та 6-дюймового CMP
Двокамерна конструкція, незалежна робота камери. Змочування та висихання або сушіння та висихання
Високошвидкісне віджимання SRD

Блок LoadPort, блок завантаження

LoadPort є одиницею завантаження цього пристрою

Годування вологою касетою
Має функцію зволоження спреєм

Блок щіток, блок очищення вафель

Двокамерний пристрій, здатний підтримувати два різних розчини для очищення
Положення чищення можна регулювати відповідно до рецепту стрічкового конвеєра

Установка SRD, установка сушіння вафель

Сушіння віджимом вафельного затискача з максимальною швидкістю 4000 об/хв
Може виконувати AS очищення поверхні вафель і розпилювати DIW

Агрегат РОЗВАНТАЖУВАННЯ, агрегат різання

Блок UnLoad має незалежний FFU для забезпечення чистоти вихідних пластин

Конвеєр

Мокра зона - стрічковий конвеєр

Суха зона для телепортації робота

Опис щіткового вузла

Як показано на малюнку ліворуч, щітковий блок цього пристрою складається з двох щіткових блоків, а саме BU1 BU2.

Тиск щітки кожного блоку можна регулювати окремо (як зазначено в рецепті), а кожен блок леза щітки можна мити різними хімічними очисними розчинами окремо.

Щітка машини використовує щітку PVA, яка є широко використовуваним типом на ринку.
Передача між порожнинами - стрічковий конвеєр. Усередині порожнини є DIW RINSE

Блок SRD

Блок SRD оснащений затискним патроном і AS ARM, які можуть додатково фізично очищати та сушити поверхню пластини.

Специфікація

Розмір обладнання:	2200 * 800 * 2200 (мм)
Способи навантаження та розвантаження	висихати/змочити/висихати
Кількість щіткових блоків	2
Кількість одиниць SRD	1
Спосіб транспортування	Стрічкове транспортування у вологій зоні, транспортування роботів у сухій зоні
Розмір обладнання з очисною камерою 1 1850 * 800 * 2200

Упаковка та доставка

профіль компанії

FAQ

1. Про ціну:
Усі наші ціни конкурентоспроможні та договірні. Ціна залежить від конфігурації та складності налаштування вашого пристрою.

2. Про зразок:
Ми можемо надати вам послуги з виготовлення зразків, але ви можете надати певну плату.

3. Про оплату:
Після підтвердження плану вам потрібно спочатку сплатити нам депозит, і фабрика почне готувати товар. Після
обладнання готове, ви оплачуєте залишок, ми його відправляємо.

4. Про доставку:
Після завершення виготовлення обладнання ми надішлемо вам відео приймання, а також ви зможете приїхати на місце для огляду обладнання.

5. Встановлення та налагодження:
Після того, як обладнання прибуде на ваш завод, ми можемо відправити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окрему пропозицію щодо цієї послуги.

6. Про гарантію:

Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які частини пошкоджені та потребують заміни, ми стягуватимемо лише собівартість.