Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Отримати ціну

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Головна сторінка
Про нас
MH Equipment
Рішення
Заграничні користувачі
Відео
Зв'яжіться з нами
Головна> MH Equipment> Шлифувальна та полірувальна машина
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP
  • Автоматичне очищення після CMP

Автоматичне очищення після CMP

Отримайте безкоштовну пропозицію
Опис продукту

Обладнання для чистки після хімічно-механічного полірування підложок

Чистка після CMP

Особливості машини

Сильна процесна здатність
Подвійне миття у двох камерах, що забезпечує широкий діапазон процесних можливостей
Обладнання займає невелику площу, з розмірами 2200 * 800 * 2200 (мм)

Сфери застосування

миття підложок розміром 6-8 дюймів після CMP
Очищення після грати SIC або інших субстратів

Технічні параметри

Очищення після 4-дюймового та 6-дюймового CMP
Двокамерний дизайн, незалежна робота камери Wet in and dry out або dry in and dry out
Висока швидкість відсування SRD

LoadPort одиниця, завантажувальна одиниця

LoadPort є завантажувальною одиницею цього пристрою
Забезпечення мокрими касетами
Має функцію опрыскивання для увлажнення

Щіткова одиниця, одиниця очищення Wafer

Двокамерна одиниця, здатна підтримувати дві різні чистильні розчини
Позиція чистки може бути відрегульована відповідно до рецепту конвеєрного транспортера

Блок SRD, блок сушіння кремнієвих пластин

Тип зажиму кремнієвої пластини для центруваного сушіння, з максимальною швидкістю 4000 об./хв.
Можна провести очищення AS на поверхні кремнієвої пластини і підати DIW

Блок розгрузки, розрізний блок

У блоку розгрузки є незалежний FFU для забезпечення чистоти виведення кремнієвої пластини

Конвеєр

Волога зона - конвеєрний транспортер
Суха зона для телепортації робота

Опис чисткої одиниці

Як показано на лівому малюнку, чистка одиниці цього пристрою складається з двох чисткових одиниць, а саме BU1 BU2.
Тиск щітки кожного модуля можна регулювати окремо (як вказано у рецептурі), і кожний блок з щітками можна промивати різними хімічними розчинами окремо.
Щітка апарату використовує PVA щітку, яка є поширеним типом на ринку.
Передача між камерами - це ременевий конвейер. Усередині камери є DIW ПРОМИВАННЯ.

Модуль SRD

Модуль SRD оснащено зажимним ЧАСК і АС РУЧКОЮ, які можуть додатково фізично очистити і обернути сухими поверхню пластинки.
Специфікація
Розмір апарату:
2200 * 800 * 2200 (мм)
Способи завантаження та роззавантаження
сухий входження/мокрий входження/сухий виходження
Кількість модулів з щіткою
2
Кількість одиниць SRD
1
Спосіб транспортування
Транспортування в мокрій зоні на конвеєрі, транспортування в сухій зоні роботом
Розмір апарату з камерою чистки 1 складає 1850 * 800 * 2200
Упаковка та доставка
Профіль компанії
FAQ
1. Про ціну:
Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

2. Про вибірку:
Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

3. Про оплату:
Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити аванс, і завод почне готувати товар. Після того, як
обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

4. Про доставку:
Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

5. Монтаж та налагодження:
Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

6. Про гарантію:

Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

Більше продуктів

Запит

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Політика конфіденційності

Запит Email Whatsapp WeChat
Top
×

ЗВ'ЯЖІТЬСЯ