Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Отримати ціну

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Головна сторінка
Про нас
MH Equipment
Рішення
Заграничні користувачі
Відео
Зв'яжіться з нами
Головна> Гірник для пластин
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина
  • Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина

Автоматичний одноплативний хіміко-механічний полір planarization CMP для пластина

Отримайте безкоштовну пропозицію
Опис продукту
ATOM Single Platen CMP

Особливості машини

Пристрій є гнучким і може підтримувати кілька головок.
Процесові здібності обладнання наближені до рівня основних моделей продукції того ж розміру.
Добрий рівень узгодженості між пристроями у процесі.

Сфери застосування

4-8 дюймова полірування STI, ILD/IMD, TSV, TGV та поверхневе полірування складних сполук, таких як SiC, LT, LN, GaAs тощо

Технічні параметри

4-дюймові, 6-дюймові, 8-дюймові головки, багатозонний контроль
Тип плейт Φ20 дюйм 508MM
Точність керування тиском головки <0.05PSI
Точність керування швидкістю обертання головки та плейту <2RPM

1. Блок LoadPort

Порт можна перевернути для погруження Касети в Qtank, щоб уникнути утворення кристалів Слуррі на
полірованій поверхні Плати. Укомплектований функцією Карта Касети.

2. Блок збору матеріалу роботом

Укомплектований 4-осевим роботом, він може автоматично переносити плати з Касети до блоку полірування.

3. Одиниця поліру

Цей блок оснащений пластинкою * 1, головою * 1, комп'ютером *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, і кінцева точка EPD
виявлення. Він може досягти автоматичної завантаження та розвантаження вафель, багатозона управління головою, Слюри
пункт посадки змінюється з налаштуванням рецепту, виявленням кінцевої точки та іншими функціями.
Голова поліра CMP
Головки для полірування, встановлені на цьому пристрої, розроблені, розроблені та виготовлені нашою компанією.
Серед них, 4-дюймовий 3-поглиблений голова є унікальним продуктом, створеним нашою компанією, заповнюючи прорив без багатопоглиблений 4-дюймовий голова в Китаї. Наша компанія може швидко модифікувати або налаштувати голову відповідно до характеристик продукту клієнта. При розробці TGV тонкоплівки (200 мм) внутрішня структура головки була модифікована для задоволення вимог тонкоплівки. Під час процесу розробки технології полірування поверхні LN OX наша компанія глибоко модернізувала 6-дюймову головку і успішно задовольняла вимоги клієнта до продукту.
Заявки
Традиційний процес плоскування і полірування ПЛІС;
Процес TGV/TSV;
Smart Cut та CMP передполюваного з'єднання;
Полірування субстрату SIC/галій-арсеніду.
Специфікація
Порт
Кількість * 1, з Q-баком
Робот
Кількість * 1, для перенесення пластилінів
HCLU
Кількість * 1, для автоматичної завантажування та роззавантажування пластилінів
Голова для полірування
Кількість * 13 кавітного контролю, точність контролю 0.1PSI, може підтримувати операції з пластилінами в діапазоні 400-1200 ММ.
Швидкість голови поліру
5-150 обертів на мить
Диск для полірування
Кількість * 1 поліруючий диск Розмір 508 мм, швидкість поліруючих підкладки 10-150 об/мин.
Рука для обрізування
Кількість * 1 поліровальна підкладка. Поліруючу підкладку можна полірувати онлайн (одночасно) або офлайн (після полірування). Окраска
рука оснащена осім, який може обертатися і рухатися вгору і вниз, а швидкість і придальня сила можуть бути керувані. У
обрізка інструмент встановлений на обрізці вал і може бути швидко
видалено. За різними типами поліруючих підкладки, різні типи інструментів для заправки, включаючи заправки, конфігуруються.
шчотки, діамантні кільця і діамантні диски.
Установка регулювання повітряного тиску для поліруючої голови UPA
Кількість * 13Зона регулюється для кращого ефекту плоскості поверхні
Насос для подачі поліруючої рідини
Кількість * 2. Перистальтичні насоси використовуються для постачання рідини, з 2 перистальтичними насосами, сконфігурованими для доставки різних поліруючих
рідини до поліруючого диска. Кожен насос може бути використаний на будь-якому етапі процесу.
Рука з слизою
Кількість * 1 може контролювати точку посадки лужі і очищати поліруючу підкладку.
Система управління експлуатацією може досягти контролю на рівні користувача, наприклад режиму оператора, режиму технічного обслуговування та технічного режиму, а також
моди управління контролюються паролями. Система програмного забезпечення може редагувати параметри процесу кожного етапу процесу і плоскими і
поліруйте тонку плівку на поверхні чіпа відповідно до програми. Він може контролювати стан роботи обладнання, контролювати
обробляти параметри процесу в режимі реального часу, а програмне забезпечення може автоматично зберігати різні дані процесу. Комплектується кнопкою аварійної зупинки
використовується для негайної зупинки роботи обладнання та відключення керуючого живлення.
Упаковка та доставка
Профіль компанії
FAQ
1. Про ціну:
Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

2. Про вибірку:
Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

3. Про оплату:
Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити аванс, і завод почне готувати товар. Після того, як
обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

4. Про доставку:
Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

5. Монтаж та налагодження:
Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

6. Про гарантію:
Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

Більше продуктів

Запит

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Політика конфіденційності

Запит Email Whatsapp WeChat
Top
×

ЗВ'ЯЖІТЬСЯ