Модель |
MDTS-WT2200 |
Кількість видалених осей |
2 |
Кількість верстаків |
3, Індексний метод |
Валку шлифувального колеса |
Кількість повітряних шпинделів: 2 Шпиндельний двигун: змінночастотний двигун 7.5кW Швидкість: 0~6000 об/хв, безступенево регулювана Специфікація шлифувального колеса: Φ203мм Тип шлифувального колеса: алмазне шлифувальне колесо |
Система підачі шлифувального колеса |
Кількість: 2 комплекти Метод керування системою подачі: рельс LM та шарувана вісь комбінація Приводний двигун: серводвигун Мінімальна швидкість подачі: 0.1 мкм/сек Максимальна швидкість подачі: 50 мм/сек |
РОБОЧИЙ СТОЛ |
Кількість: 3, індексний режим Двигун валу: Серводвигун Швидкість: 0~300 об./хв., безступенево регулювана Метод фіксації: Вакуумна фіксація |
Поворотна платформа робочого столу |
Режим приводу: серводвигун Діапазон обертання: 0~240° Форма позиціонування: позиціонування за допомогою сенсора |
Автоматична товщина Система вимірювань |
Метод вимірювання: IPG контактне онлайн реальний час вимірювання Кількість вимірювальних головок: 2 Вимірювальний сенсор: сенсор рівня 0.1мкм |
Автоматична завантаження\ розвантаження система |
Тип коробки: 6-8 дюймовий Касета, 25 шарів Метод автоматичного завантаження\розвантаження: використовується маніпулятор для забезпечення перевезення тонких пластин без пошкодження Товщина вафлі: 150ум-1000ум |
Функція очищення робочого стола |
Метод очищення: полірування маслом та двофазне спливання DI вода+повітря |
Автоматичне очищення/ Система сушіння |
Очищення: очищення дузнією DIW Метод сушіння: продування +сушка Швидкість: максимум 1000 об/хв безступенево регулювана |
Система знищення статичної електрики |
Іонна палка або оріон вентилятор |
Холодильник шпинделя |
Температура: 18-22°C Швидкість потоку: 4~8Л/хв |
Система управління |
Система керування: система керування PC, екран дотикового типу, триколірна лампа сигналізації Інтерфейс користувача на китайській/англійській мовах |
Максимальний розмір пластини |
Максимальна сумісність з 8 дюймами |
Діапазон швидкості |
0~6000 об/хв |
Переміщення по осі Z |
160мм |
Швидкість подачі по осі Z |
0.1~100мкм/сек |
Швидкість швидкого відтягу осі Z |
50мм/сек |
Розрізнення по осі Z |
0.1мкм |
Діапазон вимірювання товщини онлайн |
0~1800ум |
Роздільна здатність вимірювання товщини онлайн |
0.1мкм |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved