Model |
MDTS-WT2200 |
Кількість осей проріджування |
2 |
Кількість верстаків |
3, Індексний метод |
Шпиндель шліфувального круга |
Кількість повітряних шпинделів: 2 Двигун шпинделя: двигун із змінною частотою 7.5 кВт Швидкість: 0~6000 об / хв, плавно регулюється Специфікація шліфувального круга: Φ203 мм Тип шліфувального круга: алмазний шліфувальний круг |
Система подачі шліфувального круга |
Кількість: 2 набори Спосіб керування системою подачі: направляюча рейка LM та кулькова гвинта поєднання Привідний двигун: серводвигун Мінімальна швидкість подачі: 0.1 мкм/сек Максимальна швидкість подачі: 50 мм/сек |
Верстак |
Кількість: 3, Індексний режим Двигун шпинделя: Серводвигун Швидкість: 0~300 об / хв, плавно регулюється Метод адсорбції: вакуумна адсорбція |
Верстак поворотний |
Режим приводу: серводвигун Діапазон обертання: 0~240° Форма позиціонування: позиціонування за допомогою датчика |
Автоматична товщина система вимірювання |
Метод вимірювання: IPG зв'яжіться з онлайн-вимірюванням у реальному часі Кількість вимірювальних головок: 2 Датчик вимірювання: датчик рівня 0.1 мкм |
Автоматичне завантаження/ система розвантаження |
Тип коробки: касета 6-8 дюймів, 25 шарів Автоматичний спосіб завантаження/розвантаження: маніпулятор для пластин використовується для забезпечення транспортування тонких пластин без пошкоджень Товщина пластини: 150um-1000um |
Функція очищення верстака |
Спосіб очищення: полірування олійним каменем і промивання водою з двома рідинами DI + повітря |
Автоматичне очищення/ сушильна система |
Очищення: очищення форсунок DIW Спосіб сушіння: обдування + сушка Швидкість: максимальна 1000 обертів на хвилину, плавно регулюється |
Система усунення статики |
Іонний бар оріон вентилятор |
Шпиндельний чиллер |
Температура: 18-22 ° C Швидкість потоку: 4~8 л/хв |
система управління |
Система управління: система управління ПК, сенсорний екран 3-х кольорова сигналізація Китайський/англійський інтерфейс людина-машина |
Максимальний розмір вафлі |
Максимальна сумісність з 8 дюймами |
Діапазон швидкості |
0 ~ 6000 RPM |
Переміщення по осі Z |
160mm |
Швидкість подачі осі Z |
0.1~100 мкм/сек |
Швидка швидкість втягування осі Z |
50мм / сек |
Роздільна здатність осі Z |
0.1um |
Онлайн-діапазон вимірювання товщини |
0 ~ 1800um |
Роздільна здатність вимірювання товщини онлайн |
0.1um |
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені