Машина для сухого плазмового видалення фоторезисту / плазмового видалення фоторезисту (PR) для напівпровідникової пластини, Китай Машина для видалення фоторезисту / плазмового фоторезисту (PR) для видалення сухої плазми з напівпровідникової пластини Виробники, постачальники, фабрика

Опис товару:

Машина для видалення фоторезисту ICP PLASMA

ЗОПІЛЕННЯ
Видалення полімеру
Сухе видалення твердого шару маски
Видалення фоторезистентності після іонної імплантації
Видалення фоторезистентності в процесі BAW/SAW
Хімчистка антиблікового шару графічної плівки
Видалення поверхневих залишків
Очищення поверхні після травлення
ДЕСКУМ

Машина для видалення сухого плазмового фоторезисту ICP підходить для DESCUM (попередня обробка, видалення залишків фоторезисту) Видалення полімеру (PI, BCB, PBO) Після іонної імплантації, видалення фоторезисту тощо порожнина підходить для 8-дюймових зразків (4 -6 дюймів сумісний)

Машина для сухого плазмового видалення фоторезисту ICP/машина для видалення плазмового фоторезисту (PR) для деталей напівпровідникової пластини

Машина для видалення фоторезисту сухою плазмою ICP/машина для видалення плазмового фоторезисту (PR) для постачальника напівпровідникових пластин

Машина для видалення фоторезисту сухою плазмою ICP / Машина для видалення плазмового фоторезисту (PR) для виробництва напівпровідникових пластин

Машина для видалення фоторезисту сухою плазмою ICP/машина для видалення плазмового фоторезисту (PR) для заводу з виготовлення напівпровідникових пластин

Специфікація

ПЛАЗМА			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		БІАС	600 Вт (опція)	600 Вт (опція)
Застосовна сфера застосування			4~8 дюймів	4~8 дюймів
Кількість зрізів однієї обробки			1	2
Розміри зовнішнього вигляду			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Система управління			Промислова система управління	Промислова система управління
Рівень автоматизації			автоматичний	автоматичний