Система індуктивного зв’язку плазмового травлення (ICP) Напівпровідникове обладнання, Китай Система індуктивного зв’язку плазмового травлення (ICP) Виробники напівпровідникового обладнання, постачальники, фабрика

Опис товару:

Система індуктивного плазмового травлення (ICP).

Система індуктивного зв'язку плазмового травлення (ICP) Деталі напівпровідникового обладнання

Система плазмового травлення з індуктивним зв’язком (ICP) Постачальник напівпровідникового обладнання

Система індуктивного зв'язку плазмового травлення (ICP) Фабрика напівпровідникового обладнання

Результат процесу

Травлення кварцу/кремнію/ґрат

Використовуючи маску BR для травлення кварцових або кремнієвих матеріалів, малюнок решітки має найтоншу лінію до 300 нм, а крутизна бічної стінки візерунка становить близько > 89°, що можна застосувати до 3D-дисплеїв, мікрооптичних пристроїв, оптоелектронного зв’язку, тощо

Компаунд / напівпровідникове травлення

Точний контроль температури поверхні зразка може добре контролювати морфологію травлення матеріалів на основі GaN, GaAs, InP і металевих матеріалів. Він підходить для синіх світлодіодних пристроїв, лазерів, оптичного зв'язку та інших застосувань.

Система плазмового травлення з індуктивним зв'язком (ICP) Виробництво напівпровідникового обладнання

Травлення матеріалу на основі кремнію

він підходить для травлення матеріалів на основі кремнію, таких як Si, SiO2 і SiNx. Він може реалізувати травлення ліній кремнію вище 50 нм і травлення глибоких отворів кремнію нижче 100 мкм

Специфікація

Конфігурація проекту та схема структури машини

пункт	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Розмір продукту	≤6 дюймів	≤8 дюймів	≤6 дюймів	≤8 дюймів	Спеціальний≥12 дюймів
Джерело живлення SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
Джерело живлення BRF	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Молекулярний насос	Не корозійний: 600/1300 (л/с)/на замовлення			Антикорозійний: 600 /1300 (L./s) / Custom		600/1300 (л/с) / Індивідуальний
Форвалентний насос	Механічний насос / сухий насос			Антикорозійний сухий насос		Механічний насос / сухий насос
Насос попереднього відкачування	Механічний насос / сухий насос			Механічний насос / сухий насос
Тиск процесу	Неконтрольований тиск/контрольований тиск 0-0.1/1/10 торр
Тип газу	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (До 12 каналів, без корозійних і токсичних газів)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Спеціальний (до 12 каналів)
Газовий діапазон	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Так ні			Так
Зразок тем контролю	10°C~кімнатна температура/ -30°C~150°C /спеціальна			-30°C~200°C/на замовлення
Зворотне охолодження гелієм	Так ні			Так
Обшивка технологічної порожнини	Так ні			Так
Контроль температури стінки порожнини	Ні/Кімнатна температура-60/120°C			Кімнатна температура ~60/120°C
Система регулювання	Авто/на замовлення
Гравюрний матеріал	Кремнієва основа: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... Органічні матеріали: PR/Organic фільм......			Кремнієва основа: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Магнітний матеріал / матеріал сплаву Металеві матеріали: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Органічні матеріали: PR/органічна плівка...... Силіконове глибоке травлення

Упаковка та доставка

профіль компанії

Ми маємо 16-річний досвід продажу обладнання. Ми можемо надати вам універсальне професійне рішення для лінійного обладнання для передньої та задньої панелі напівпровідників із Китаю.