структура |
Проілюструйте |
Поверхня експозиції |
Область експозиції: поверхня столу, зона розміщення субстрату |
Оптична система |
Зона формування лазерного випромінювання |
Система керування середовищем |
Керування внутрішньою температурою та додатним тиском пристрою |
Система платформи |
Керує рухом столу експозиції для виконання операції шляху експозиції |
Система управління |
Система керування всією установкою |
Ні, не можна. |
Навколишнє середовище |
потрібую |
1 |
Світловий середовище |
Жовте світло |
2 |
Температура |
22℃±2℃ |
3 |
Вологість |
50%±10% |
4 |
чистоти |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, сухий, чистий повітря |
6 |
Джерело живлення |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Заземлювальна проводка має бути заземлена |
7 |
Охолоджувальна вода |
Температура：10℃~ 20℃ Тиск：0.3MPa ~ 0.5MPa Швидкість потоку：20Л/хв Різниця тиску：0.3MPa і більше Діаметр з'єднання：Rc3/8 |
8 |
Місце проведення |
Рівень：±3мм/3000мм коливання：VC-B Валовий підшипник：750кг/м² |
10 |
Інтернет |
Один мережевий порт |
11 |
Розмір машини |
1300*1100*2100мм |
12 |
Вага пристрою |
1500кг |
Ні, не можна. |
Проект |
Специфікація. |
Зауваження |
1 |
роздільна здатність |
0.6мкм/або інше вимоги |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Товщина субстрату |
0.2мм～4мм |
|
4 |
Точність сітки датчиків |
60нм |
|
5 |
Наложення |
±500нм |
130ммx130мм |
6 |
Точність стыкування |
±200нм |
AZ703 |
7 |
Максимальний розмір експозиції |
190X190мм |
|
8 |
Пропускна здатність |
≥300мм²/хв |
≤50мдж/см²; |
9 |
Джерело світла |
LD 375нм |
|
10 |
світлова потужність |
6Вт |
|
11 |
Енергетична однорідність |
≥95% |
|
12 |
Термін служби світла |
10000год |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
