Вакуумний плазмовий хост(200) |
||
Розмір обладнання |
1050× 1700 × 1050 мм (ширина, висота та глибина) |
|
вага |
800Kg |
|
потужність попиту |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Технічні характеристики плазмового генератора |
||
живлення від мережі |
радіочастота |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Частота живлення |
13.56MHz |
40 кГц |
Вакуумна система |
||
Вакуумний насос |
Однополярний насос Feiyue VSV100 + насос Both Roots BSJ70 |
|
вакуумна лінія |
Усі труби з нержавіючої сталі та високоміцні вакуумні сильфони |
|
матеріал |
Алюмінієвий сплав |
|
товщина |
25mm |
|
герметичність |
Зварна пломба військового класу |
|
Внутрішні розміри порожнини |
600 × 600 × 600 мм (Ш × В × Г) |
|
Ефективний розмір пластини електрода |
472 X 451 мм (Ш×Г) |
|
доступне місце |
35mm |
|
Схема розміщення електродної пластини |
Горизонтальна електродна пластина |
|
робочий лоток |
Один набір стандартний, а матеріал необов'язковий (алюміній, сталева сітка) |
|
Робоча область |
8 підлоги |
|
Технологічний газ |
||
Діапазон потоку |
0~300SCCM |
|
Контур технологічного газу |
Оснащений тристороннім газом O2, Ar, N2 |
|
Система регулювання |
||
контроль системи |
управління ПК |
|
інтерактивний режим |
Інтерфейс Windows |
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені