Вакуумний плазменний вузол (200) |
||||
Розмір обладнання |
1050×1700×1050мм (ширина, висота та глибина) |
|||
вага |
800 кг |
|||
потрібна потужність |
AC380V,50/60Hz,5 проводів, 30A |
|||
Специфікація плазменного генератора |
||||
мережева потужність |
радіочастота |
IF |
||
0~1000Вт |
0-2000W |
|||
Частота потужності |
13,56 МГц |
40 КГц |
||
Вакуумна система |
||||
вакуумний насос |
Помпа Feiyue уніполярна VSV100+Дві помпи кореневого типу BSJ70 |
|||
вакуумна лінія |
Всі нержавільні стальні труби та вакуумні гофри високої прочності |
|||
матеріал |
Алюмінієвий сплав |
|||
товщина |
25мм |
|||
герметичність |
Воєнний стандарт зварюваного запечатання |
|||
Розміри внутрішнього простору |
600×600×600мм (Ш×В×Г) |
|||
Ефективний розмір електродної пластини |
472 X 451мм (Ш×Г) |
|||
доступний простір |
35мм |
|||
Розташування електродної пластини |
Горизонтальна електродна плита |
|||
робочий поднос |
Один комплект є стандартним, а матеріал вибирається за бажанням (алюміній, стальна сітка) |
|||
Робоча зона |
8 поверхів |
|||
Процесний газ |
||||
Діапазон потоку |
0~300SCCM |
|||
Схема процесного газу |
Комплектується O2, Ar, N2 тригасовим газом |
|||
Система управління |
||||
системне керування |
Керування ПК |
|||
інтерактивний режим |
Інтерфейс Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved