Вакуумний плазмовий хост(200) | ||||
Розмір обладнання | 1050 × 1700 × 1050 мм (ширина, висота та глибина) | |||
вага | 800Kg | |||
потужність попиту | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Технічні характеристики плазмового генератора | ||||
живлення від мережі | радіочастота | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Частота живлення | 13.56MHz | 40 кГц | ||
Вакуумна система | ||||
Вакуумний насос | Однополярний насос Feiyue VSV100 + насос Both Roots BSJ70 | |||
вакуумна лінія | Усі труби з нержавіючої сталі та високоміцні вакуумні сильфони | |||
матеріал | Алюмінієвий сплав | |||
товщина | 25mm | |||
герметичність | Зварна пломба військового класу | |||
Внутрішні розміри порожнини | 600 × 600 × 600 мм (Ш × В × Г) | |||
Ефективний розмір пластини електрода | 472 X 451 мм (Ш×Г) | |||
доступне місце | 35mm | |||
Схема розміщення електродної пластини | Горизонтальна електродна пластина | |||
робочий лоток | Один набір стандартний, а матеріал необов'язковий (алюміній, сталева сітка) | |||
Робоча область | 8 підлоги | |||
Технологічний газ | ||||
Діапазон потоку | 0~300SCCM | |||
Контур технологічного газу | Оснащений тристороннім газом O2, Ar, N2 | |||
Система регулювання | ||||
контроль системи | управління ПК | |||
інтерактивний режим | Інтерфейс Windows |
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені