MDHS-AL8 8" Повноцінний автоматичний односторонній машинний комплект , China MDHS-AL8 8" Повноцінний автоматичний односторонній машинний комплект Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис продукту

MDHS-AL8 8" Повноцінний автоматичний односторонній машинний комплект

1. Режим роботи: Завантажувальний робот автоматично завантажує пластинки з A-B (повторно використовуваної) коробки для пластинок до попередньої позиційної...

робочий стіл, а також за допомогою налаштування системи позиціонування камери та автоматичного обертання, досягається предварительне позиціонування пластинки; Навантажувальний робот потім навантажує попередньо позиціоновані пластинки на стіл вирівнювання. За допомогою комп'ютерного розпізнавання зображень та регулювання системи автоматичного вирівнювання можна досягти автоматичного вирівнювання графіків на масці та пластинках. Також можливо виконати одну експозицію без вирівнювання графіків. Після автоматичної експозиції системою перенасичення, розгрузний робот автоматично розміщує пластинки у відповідну C-D (перероблювану) коробку для пластинок.
2. Область експозиції: 160 × 160 мм;
3. Нерівномірність експозиційної інтенсивності: ≤ 3%;
4. Інтенсивність експозиції: 0~≥ 40 мВт/см² регулювана (кут променя 2 °);
5. Кут УФ-променя: ≤ 3 °;
6. Центральна хвильова довжина ультрафіолетового світла: 365 нм;
7. Термін служби джерела УФ-світла: ≥ 20000 годин;
8. Можливість відокремлення: 0~≥ 1000 мкм регулювана;
9. Точність вирівнювання: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Точність експозиції: контактна експозиція ± 1 μ m. Приблизна експозиція відокремлення 20 μ M кут пучка 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Методи експозиції: твердий контакт, м'який контакт та приблизна експозиція;
12. Режим експозиції: можна вибирати між одноразовою експозицією або зсувною експозицією
13. Система розпізнавання зображення та автоматичного обертання перед початком (включає працюючий стіл для початкового позиціонування): кут обертання Q ≥ ± 180 °, точність обертання Q ≤ 0.01 °;
14. Система розпізнавання зображень та автоматичного вирівнювання (включає працюючий стіл для вирівнювання UVW): діапазон вирівнювання X Y ≥ ± 5mm, кут обертання Q ≥ ± 3 °, і двома лінзами микроскопу керуються двома електричними платформами XYZ.
15. Розмір маски: 5 "× 5" та 7" × 7 ";
16. Розмір пластини: 4 "та 6";
17. Верхні та нижні станції коробок фільмів: двосторонні станції;
18. Підлоговий повітряний мішечок
19. Завантажувальна та розгружувальна двозбройна роботизована рука: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Кількість плашок у коробці з плашками: визначається на основі кількості плашок у коробці клієнта;
21. Підйомна таблиця позиціонування: Z ≥ ± 25мм;
22. Час експозиції: регулювання від 0 до 999,9 секунд;
23. Ритм виробництва: >120 штук на годину;
24. Електропостачання: одnofазне AC220V 50Гц, споживання ≤ 3КВт;
25. Тиск чистого повіtru: ≥ 0,4МПа;
26. Вакуум: -0,07МПа~-0,09МПа;
27. Розміри: 1400 * 1000 * 2100мм;
28. Вага: приблизно 400кг

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Ця машина складається з УФ-головки з LED-світлодіодами, системи розпізнавання зображень та автоматичного обертання, предварительної робочої поверхні, систем розпізнавання і автоматичного вирівнювання за допомогою зображень, вирівнювальних робочих столів, роботів для завантаження, роботів для розгрузки, стелажів та електричного керування, що складається з обладнання, запасних частин тощо.

Специфікація

1. Голова експозиції: одна LED ультрафіолетова голова експозиції (365 нм);
2. Стіл розпізнавання зображень та попередньої алігновання:
1) 1 камера (1,3 мільйона пікселів)
2) Фіксаційний пристрій для центрального позиціонування
3) 1 набір обертальної платформи (за допомогою сервомотора)
4) 1 набір системи позиціонування
3. Система розпізнавання зображень та автоматичного вирівнювання:
1) 2 камери (5 мільйонів пікселів висока частота кадрів)
2) 2 лінзи (4x високорозрізнена лінза)
3) Один промисловий комп'ютер
4) Один контролер (керується ПЛК)
5) Один комплект вирівнювальної платформи (використовує 5-фазний кроковий мотор)
6) Комплект спортивної системи
7) У пристрої верхньої плити використовується мотор для підйому та опускання
7) Програмне забезпечення використовує останню версію LabVIEW Professional Edition
4. Механічна рука для завантаження та роззавантаження:
1) X Y. Комплект Z автоматичного переміщувального механізму
2) Двосторонній роботизований маніпулятор (руки для завантаження та роззавантаження)
5. Механізм фіксації дисків Wafer:
1) AB - фіксована позиція для підачі кістки з фільмом
2) CD - це фіксоване розташування коробки з вирізною плівкою
3) G - це фіксоване розташування коробки з плівкою у позиції NG
6. Платформа для фіксації камери:
7. Дві групи механізмів електричної регуляції Y.Z (керуються сервомоторами)
8. Рама та електрична керуюча консоль:
1) 1 промисловий комп'ютер
2) Одна група PLC;
3) Одна група електромагнітних клапанів та системи керування
4) Група цифрових пневматичних приладів
5) Одна група керувальної консолі
8. Додаткові прилади:
1) Трахеальний: 15 метрів
2) 2 електромагнітних клапани
3) Вакуумний насос: 1 одиниця
9. Технічні дані:
1) Одна інструкція користувача
2) Один сертифікат відповідності
10. Додатково
Програмне забезпечення обладнання має бути укомплектоване протоколом спілкування SECS, а покупець надає динамічну бібліотеку з функцією підключення до системи MES покупця, автоматично записуючи номер партії продукції, номер робочого замовлення та стан операції та завантажуючи їх. При цьому вона має функцію ідентифікації QR-коду маски, порівнює його з QR-кодом маски системи MES та запобігає використанню неправильної маски.

Упаковка та доставка