MDICP-5000F Повністю автоматична машина для травлення ICP/напівпровідникове обладнання з індуктивно зв’язаною плазмою, Китай MDICP-5000F Повністю автоматична машина для травлення ICP/напівпровідникове обладнання з індуктивно зв’язаною плазмою Виробники, постачальники, фабрика

Опис товару:

MDICP-5000F Повністю автоматична травильна машина ICP

MDICP-5000F Повністю автоматична машина для травлення ICP / Напівпровідникове обладнання Фабрика з індуктивно пов’язаною плазмою

Резюме

Обладнання являє собою двокамерну вакуумну систему. Одна камера є камерою ін'єкційного відбору проб, а інша - камерою травлення. Між камерою ін'єкційного відбору проб і камерою травлення встановлений вакуумний замок, а ін'єкційний відбір транспортується маніпулятором.
Обладнання в основному складається з вакуумної системи, системи газового контуру, електричної системи, системи керування, системи охолодження, механізму подачі та знімання плівки, системи сигналізації тощо.

Вакуумна система

Система складається з молекулярного насоса зі швидкістю відкачування 600 л/с + імпортного вакуумного сухого насоса зі швидкістю відкачування л/с для перекачування камери травлення до високого вакууму. Між молекулярним насосом і камерою травлення встановлено електричний динамічний клапан регулювання тиску. Імпортований сухий насос є насосом попереднього відкачування камери травлення та насосом переднього ступеня молекулярного насоса. Використовуйте інший механічний насос зі швидкістю накачування л/с, щоб вакуумувати камеру для зразків. Сильфони з нержавіючої сталі використовуються для з'єднання між механічним насосом і вакуумною камерою та молекулярним насосом, а також встановлений електромагнітний пневматичний блок-клапан.

Система контролю постійного тиску

Обладнання оснащене системою регулювання постійного тиску на виході, а на трубопроводі витяжки повітря встановлений електричний регульований клапан. Завдяки вимірюванню товщини плівки (імпортні частини) регульований клапан контролюється, щоб вакуумна камера досягала постійного тиску, щоб покращити стабільність процесу.

Система контролю постійного тиску

Система газового контуру

Два комплекти радіочастотного джерела живлення з автоматичним узгодженням.

Сигналізація

Вимоги безпеки до обладнання.

Специфікація

ІМ'Я	Spc	Марка	№/комплект	Примітка:
Камера травлення, трубопровід для витяжки повітря, оглядове вікно, резервний інтерфейс тощо	стандарт	JSWN	1	Антикорозійний
Каркас, електрошафа, ущільнювачі, стандартні деталі тощо	стандарт	JSWN	1
Система підйому кришки камери травлення	стандарт	JSWN	1	Антикорозійний
Електрод травлення та система охолодження	стандарт	JSWN	1	Антикорозійний
Молекулярний насос (швидкість відкачування 600 л/с)	FF620/150	KYKY	1	Антикорозійний
Вхідний сухий насос (швидкість відкачування 9 л/с)	XDS-35I	ЕДВАРДС	1	Антикорозійний
Насос механічний (швидкість відкачування 9 л/с)	ТРП-36	BWVAC	1
Електрорегулююча засувка	DCQ-150	JSWN	1	Антикорозійний
Пневматичний сильфонний запірний клапан	KF40	JSWN	3	Антикорозійний
Датчик плівки	KF16	ІНФІКОН	1	Антикорозійний
Контролер масової витрати	D07	Сівенстар	4	Антикорозійний
Пневматичний мембранний клапан	1/4″ відеомагнітофон	-	4	Антикорозійний
Труба з нержавіючої сталі, з'єднання труб тощо	1/4″ відеомагнітофон	-	4	Антикорозійний
Радіочастотне джерело живлення / автоматичний відповідник	-	Китай (додатково CROWN1310)	1
Радіочастотне джерело живлення / автоматичний відповідник	-	Китай (додатково CROWN1310)	1
Композитний вакуумметр	ZDF	RB	1
IPC	2U	Китай	1
сенсорний екран LCD	17inch	Китай	1
Система управління ПЛК	S7-200	Сіменс	1
Система керування електроприводом	стандарт	JSWN	1
Виявлення охолоджуючої води та система трубопроводів	стандарт	JSWN	1
Виявлення стисненого повітря та система трубопроводів	стандарт	JSWN	1
Машина охолодження циркуляційної води	HX	Китай	1
Інжекційна камера травлення	стандарт	JSWN	1
Вакуумний замок	SMC	SMC	1
Система керування маніпулятором	SMC	SMC	1

Технічний параметр пошти

1. Граничний вакуум: камера для травлення 9.0×10-5Па (вологість у приміщенні≤55%)
Інжекційна пробовідбірна камера 6.0×10-1Па
2. Матеріал для травлення: Ⅲ、ⅤMaterial、Si 、SiO2 тощо
3. Швидкість травлення: ~ 1 мкм/хв
4. Однорідність травлення: ≤±5% (діапазон φ125 мм)
6. Розмір електрода: φ200 мм

Упаковка та доставка

Для кращого забезпечення безпеки ваших товарів будуть надані професійні, екологічні, зручні та ефективні послуги з упаковки.

профіль компанії

Ми маємо 16-річний досвід продажу обладнання. Ми можемо надати вам універсальне професійне рішення для лінійного обладнання для передньої та задньої панелі напівпровідників із Китаю.