Тип |
MDPS-560 II |
||
Головна камера сплеску |
грушевидна вакуумна камера, розмір:Φ560×350мм |
||
Камера введення зразків |
циліндричного типу, горизонтального розташування, розмір: Φ250мм×420мм |
||
Насосна система |
незалежна складна молекулярна помпа та механічна помпа для головної камери сплеску та камери введення зразків. |
||
Кінцевий вакуум |
Головна камера сплеску |
≤6,67×10-6Па(після пропікання і дегазації) |
|
Камера введення зразків |
≤6,67×10-4Па(після пропікання і дегазації) |
||
Час відновлення вакууму |
Головна камера сплеску |
6.6×10-4Па після 40 хв. (насосування після короткого контакту з повітрям і наповнення сухим азотом) |
|
Камера введення зразків |
6.6×10-3Па після 40 хв. (насосування після короткого контакту з повітрям і наповнення сухим азотом) |
||
Модуль магнетронної цілі |
5 постійних магнітних цілей; розмір Φ60мм (один із цілей може шлифувати феромагнітний матеріал). Усі цілі можуть RF шлифувати та сумісне DC шлифування; відстань між ціллю та вибіркою регулюється в діапазоні від 40мм до 80мм. |
||
Водяне охолодження Підгрівальної Обертальної Столівки |
Структура підложки |
Шість станцій, на одній установлений нагрівальний печ, а інші є станціями водяного охолодження підложки. |
|
Розмір |
Φ30мм, шість одиниць. |
||
Режим руху |
0-360°, рекипроковий. |
||
нагрів |
Макс. температура 600℃±1℃ |
||
Від'ємний нахил субстрата |
-200V |
||
Газова система |
2-вимірний масовий контролер потоку (MFC) |
||
Камера введення зразків |
Камера вибірки |
Шість вибірок одночасно |
|
Анналер |
Макс. температура нагріву 800℃±1℃ |
||
Модуль цілі для повторної сплаштування |
Очищення повторним сплаштуванням |
||
Система Передачі Магнітних Вибірок |
Використовується для транспортування вибірок між камeroю сплаштування і камeroю введення вибірок. |
||
Система Комп'ютерного Керування |
Керування обертанням вибірки, відкриттям та закриттям заслонки, а також позицією цілі |
||
Займає площу |
Головна Установка |
2600×900mm2 |
|
Електричний шкаф |
700×700мм2 (дві комплекта) |
||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
