Вирівнювач масок MDXN-25D, Китай Вирівнювач масок MDXN-25D Виробники, постачальники, фабрика

Опис товару:

Це обладнання є прецизійною літографічною машиною, розробленою нашою компанією спеціально для характеристик використання літографічних машин у різних коледжах та науково-дослідних установах. Воно в основному використовується для розробки та виробництва інтегральних схем малого та середнього розміру, напівпровідникових компонентів, оптоелектронних пристроїв, і пристрої поверхневих акустичних хвиль.
Задля підтримки первинних основних технічних показників обладнання ми оптимізували деякі конструкції та компоненти обладнання, зменшили деякі непотрібні механічні дії та забезпечили мінімізацію точок відмови обладнання, наскільки це можливо, і роботу обладнання також є дуже стабільним і надійним.

Специфікація

Основні технічні параметри

1. Тип експозиції: одностороння.
2. Область експозиції: 110 × 110 мм.
3. Нерівномірне освітлення експозиції: ≤±3%.
4. Інтенсивність експозиції: 0-30 мВт/см2 регулюється.
5. Кут ультрафіолетового променя: ≤3°.
6. Центральна довжина хвилі ультрафіолетового світла: 365 нм.
7. Термін служби джерела ультрафіолетового світла: ≥500 годин.
8. Прийняття електронного затвора.
9. Роздільна здатність експозиції: 1 мкм;
10. Діапазон мікроскопічного сканування: X: ± 15 мм Y: ± 15 мм;
11. Діапазон вирівнювання: регулювання X, Y ± 4 мм; регулювання напрямку Q ± 3 °;
12. Точність гравіювання: 1 мкм. Точність «версії» та «чіпа» користувача має відповідати національним нормам,
і навколишнє середовище, температура, вологість і пил можна суворо контролювати. Використовується імпортний позитивний фоторезист, і товщина однорідного фоторезиста може бe суворо контролюється. Крім того, передні та задні процеси просунуті;
13. Обсяг поділу; регулюється 0 ~ 50 мкм;
14. Метод експозиції: близька експозиція, яка може досягти жорсткого контакту, м'якого контакту та мікросилового контактного впливу; 15. Формула знаходження квадрата: повітря

Упаковка та доставка

профіль компанії

Ми маємо 16-річний досвід продажу обладнання. Ми можемо надати вам універсальне професійне рішення для лінійного обладнання для передньої та задньої частини напівпровідників із Китаю.