Це обладнання є точною машиною для литографії, розробленою нашою компанією спеціально для використання характеристик литографійних машин у різних коледжах та наукових установах. Вона головним чином використовується для розробки та виробництва малих та середніх інтегральних схем, напівпровідникових компонентів, оптоелектронних пристроїв та пристроїв поверхневих акустичних хвиль. На的前提 збереження початкових основних технічних показників обладнання ми оптимізували деякі конструкції та компоненти обладнання, зменшили деякі непотрібні механічні дії, забезпечили мінімізацію можливих пунктів виходу з ладу обладнання, а також дуже стабільну та надійну роботу обладнання.
Специфікація
Основні технічні параметри
1.Тип експозиції: односторонній. 2.Площа експозиції: 110×110 мм. 3.Неоднорідність освітлення експозиції: ≤±3%. 4.Інтенсивність експозиції: 0-30 мВт/см2 регулювана. 5.Кут пучка УФ: ≤3°. 6.Центральна хвильова довжина ультрафіолетового світла: 365 нм. 7.Тривалість життя джерела УФ-світла: ≥500 годин. 8.Застосування електронної шлекерки. 9.Роздільність експозиції: 1 мкм; 10.Діапазон микроскопічного сканування: X: ±15мм Y: ±15мм; 11.Діапазон вирівнювання: корекція X,Y ±4мм; корекція у напрямку Q ±3°; 12.Точність гравюрування: 1 мкм Точність "версії" та "чипу" користувача має відповідати державним нормам, а середовище, температура, вологість та пил можуть бути строго контролювані. Використовується імпортний позитивний фоторезист, а товщина рівномірного фоторезисту може бути строго контролюваною. Крім того, передпроцеси та задпроцеси є сучасними; 13.Кількість відокремлення; 0~50 мкм регулювані; 14.Метод експозиції: близька експозиція, яка може досягти жорсткого контакту, м'якого контакту та контактного експонування з мікронагрузкою; 15.Формула пошуку квадрату: повітря
Упаковка та доставка
Профіль компанії
У нас є 16-річний досвід у продажу обладнання. Ми можемо запропонувати вам комплексне рішення для обладнання лінії упаковки передового та заднього кінця полупроводників з Китаю.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
