MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner, Китай MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner Виробники, постачальники, фабрика

Опис товару:

Це обладнання в основному використовується для розробки та виробництва інтегральних схем малого та середнього розміру, напівпровідникових компонентів і пристроїв з поверхневими акустичними хвилями. Завдяки вдосконаленому механізму вирівнювання та низькій силі вирівнювання ця машина підходить не лише для експонування різних типів підкладок, але й для експонування легко фрагментованих підкладок, таких як арсенід калію та фосфатна сталь, а також для експонування не круглі та малі підкладки.

Виробництво високоточного вирівнювача масок MDXN-25D4

Специфікація

Основні технічні параметри

1. Тип експозиції: одностороння експозиція
2. Площа експозиції: 110X110 мм;
3. Рівномірність експозиції: ≥ 97%;
4. Інтенсивність експозиції: 0-30 мВт/см2 регульована;
5. Кут ультрафіолетового променя: ≤ 3 °
6. Центральна довжина хвилі ультрафіолетового світла: 365 нм;
7. Термін служби джерела ультрафіолетового світла: ≥ 20000 годин; (2 роки гарантії)
8. Прийняття електронного затвора;
9. Роздільна здатність експозиції: 1 мкМ
10. Діапазон огляду Camara: ± 15 мм Y: ± 15 мм
11. Діапазон вирівнювання: x: ± 4 мм Y: ± 4 мм Q: ± 3°.
12. Точність вирівнювання: 1 мкм (за хороших умов навколишнього середовища)
13. Діапазон відстані поділу: 0-50um регульований.
14. Метод експозиції: контактна експозиція (жорсткий/м’який/мікродотик)
15.Балансовий метод: повітряна флотація.
16. Мікроскопічна система: ПЗЗ-система з подвійним полем зору, лінза об’єктива 1.6X~10X, комп’ютерна система обробки зображень, 19-дюймовий РК-монітор; Загальне збільшення 91-570x. Відстань до об’єктива: 50-120 мм.
17. Розмір маски: 127*127мм;102*102мм
18. Розмір підкладки: Φ102 мм；Φ76 мм
19. Товщина підкладки: ≤1 мм
20. Час витримки: 0-999.9 секунд регульований.
21. Потужність: 220 В 50 Гц 1.5 кВт.
22. джерело повітря? 0.4 МПа
23. Ступінь вакууму: -0.07 МПа ~ -0.09 МПа

Упаковка та доставка

Деталі високоточного вирівнювача масок MDXN-25D4

MDXN-25D4 Завод високоточних вирівнювачів масок

профіль компанії

Ми маємо 16-річний досвід продажу обладнання. Ми можемо надати вам універсальне професійне рішення для лінійного обладнання для передньої та задньої частини напівпровідників із Китаю.