Ця обладнання головним чином використовується для розробки та виробництва малих та середніх інтегрованих схем, напівпровідників компонентів, а також пристроїв поверхневої акустичної хвилі. Через передовий механізм рівняння та низьку силу рівняння, ця машина не лише підходить для експозиції різноманітних типів субстратів, але й для експозиції легко розсипаються субстратів, таких як калійний арсенід та фосфатна сталь, а також для експозиції не круглих та малих субстратів.
Специфікація
Основні технічні параметри
1. Тип експозиції: одностороння експозиція 2. Площа експозиції: 110X110мм; 3. Рівномірність експозиції: ≥ 97%; 4. Інтенсивність експозиції: 0-30мВт/см2 регулювана; 5. Кут ультрафіолетового променя: ≤ 3 ° 6. Центральна хвильова довжина ультрафіолетового випромінювання: 365нм; 7. Термін служби джерела ультрафіолетового випромінювання: ≥ 20000 годин;(гарантія 2 роки) 8. Використання електронного затвору; 9. Роздільна здатність експозиції: 1 μМ 10.Діапазон видимості камери: ± 15мм Y: ± 15мм 11. Діапазон вирівнювання: x: ± 4мм Y: ± 4мм Q: ±3°. 12. Точність вирівнювання: 1 мкм (за умов доброго середовища) 13.Діапазон відстані розділення: 0-50 мкм регулювано. 14. Метод експозиції: контактна експозиція. (твердий/м'який/мікроприкосновення) 15. Метод балансування: Пневмоплавун. 16. Мікроскопічна система: система CCD з подвійним полем видимості, об'єктив 1.6X~10X, система обробки зображень на комп'ютері, монітор LCD 19 "; Загальне збільшення 91-570x. Відстань об'єктива: 50-120мм. 17. Розмір маски: 127*127мм; 102*102мм 18. Розмір субстрату: Φ102мм; Φ76мм 19. Товщина субстрату: ≤1мм 20. Час експозиції: 0-999,9 секунд регулювано. 21.Потужність: 220В 50Гц 1.5кВт. 22.Джерело повітря? 0.4Мпа 23.Ступінь вакууму: -0.07МПа~-0.09МПа
Упаковка та доставка
Профіль компанії
У нас є 16-річний досвід у продажу обладнання. Ми можемо запропонувати вам комплексне рішення для обладнання лінії упаковки передового та заднього кінця полупроводників з Китаю.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
