MDXN-31D4 Високоточна двостороння літографічна машина, Китай MDXN-31D4 Високоточна двостороння літографічна машина Виробники, постачальники, фабрика

Опис товару:

Це обладнання в основному використовується для розробки та виробництва інтегральних схем малого та середнього розміру, напівпровідникових компонентів і пристроїв з поверхневими акустичними хвилями. Завдяки вдосконаленому механізму вирівнювання та низькій силі вирівнювання ця машина підходить не лише для експонування різних типів підкладок, але й для експонування легко фрагментованих підкладок, таких як арсенід калію та фосфатна сталь, а також для експонування не круглі та малі підкладки.

Деталі високоточної двосторонньої літографічної машини MDXN-31D4

Специфікація

Основні технічні параметри

1. Тип експозиції: контактний тип, вирівнювання пластини, одностороння двостороння експозиція
2. Площа експозиції: 110X110 мм;
3. Рівномірність експозиції: ≥ 97%;
4. Інтенсивність експозиції: 0-30 мВт/см2 регульована;
5. Кут ультрафіолетового променя: ≤ 3 °
6. Центральна довжина хвилі ультрафіолетового світла: 365 нм;
7. Термін служби джерела ультрафіолетового світла: ≥ 20000 годин;;
8. Температура робочої поверхні: ≤ 30 ℃
9. Прийняття електронного затвора;
10. Роздільна здатність експозиції: 1 мкМ (глибина експозиції приблизно в 10 разів перевищує ширину лінії)
11. Режим експозиції: одностороння двостороння експозиція
12. Діапазон вирівнювання: x: ± 5 мм Y: ± 5 мм
13. Точність вирівнювання пластини: 2 мкм
14. Діапазон обертання: регулювання обертання в напрямку Q ≤ ± 5 °
15. Мікроскопічна система: ПЗЗ-система з подвійним полем зору, об’єктив 1.6X~10X, комп’ютерна система обробки зображень, 19-дюймовий РК-монітор; Загальне збільшення 91-570x
16. Розмір маски: придатна для вакуумного поглинання 5-дюймових квадратних масок, без особливих вимог до товщини маски (від 1 до 3 мм).
17. Розмір підкладки: підходить для 4-дюймових підкладок із товщиною від 0.1 до 2 мм.
18. При замовленні немає особливих вимог, і полиця 5 "X5 є стандартною; ви можете налаштувати полиці нижче 5" X5:

Упаковка та доставка

Виробництво високоточної двосторонньої літографічної машини MDXN-31D4

MDXN-31D4 Завод високоточної двосторонньої літографії

профіль компанії

Ми маємо 16-річний досвід продажу обладнання. Ми можемо надати вам універсальне професійне рішення для лінійного обладнання для передньої та задньої частини напівпровідників із Китаю.