Ця обладнання головним чином використовується для розробки та виробництва малих та середніх інтегрованих схем, напівпровідників компонентів, а також пристроїв поверхневої акустичної хвилі. Через передовий механізм рівняння та низьку силу рівняння, ця машина не лише підходить для експозиції різноманітних типів субстратів, але й для експозиції легко розсипаються субстратів, таких як калійний арсенід та фосфатна сталь, а також для експозиції не круглих та малих субстратів.
Специфікація
Основні технічні параметри
1. Тип експозиції: контактний, вирівнювання пластин, одностороння експозиція з двох боків 2. Площа експозиції: 110X110мм; 3. Рівномірність експозиції: ≥ 97%; 4. Інтенсивність експозиції: 0-30мВт/см2 регулювана; 5. Кут ультрафіолетового променя: ≤ 3 ° 6. Центральна хвильова довжина ультрафіолетового випромінювання: 365нм; 7. Термін служби джерела ультрафіолетового світла: ≥ 20000 годин;; 8. Температура робочої поверхні: ≤ 30 ℃ 9. Використання електронного затвору; 10. Розрізнення експозиції: 1 μM (глибина експозиції становить приблизно 10 разів більше від ширини лінії) 11. Режим експозиції: подвійна одночасна експозиція з обох сторін 12. Діапазон вирівнювання: x: ± 5мм Y: ± 5мм 13. Точність вирівнювання пластинки: 2 μm 14. Діапазон обертання: Обертання у Q-напрямку ≤ ± 5 ° 15. Мікроскопічна система: система CCD із подвійним полем зору, об'єктив 1.6X~10X, комп'ютерна система обробки зображень, монітор LCD 19 "; Загальне збільшення 91-570x 16. Розмір маски: Здатна витягувати за допомогою вакууму квадратні маски розміром 5 ", без спеціальних вимог до товщини маски (в діапазоні від 1 до 3 мм). 17. Розмір субстрату: Підходить для субстратів розміром 4 ", з товщиною субстрату в діапазоні від 0.1 до 2 мм. 18. При замовленні немає спеціальних вимог, а полиця 5" X5 є стандартною; можна замовити полиці нижче 5" X5:
Упаковка та доставка
Профіль компанії
У нас є 16-річний досвід у продажу обладнання. Ми можемо запропонувати вам комплексне рішення для обладнання лінії упаковки передового та заднього кінця полупроводників з Китаю.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
