Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Отримати ціну

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

домашня сторінка
Про нас
MH Equipment
Рішення
Заграничні користувачі
Відео
зв'яжіться з нами
Головна> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • PECVD Плазменне хімічне парове оздоблення за допомогою плазми / Високотемпературний процес PECVD
  • PECVD Плазменне хімічне парове оздоблення за допомогою плазми / Високотемпературний процес PECVD
  • PECVD Плазменне хімічне парове оздоблення за допомогою плазми / Високотемпературний процес PECVD
  • PECVD Плазменне хімічне парове оздоблення за допомогою плазми / Високотемпературний процес PECVD
  • PECVD Плазменне хімічне парове оздоблення за допомогою плазми / Високотемпературний процес PECVD
  • PECVD Плазменне хімічне парове оздоблення за допомогою плазми / Високотемпературний процес PECVD

PECVD Плазменне хімічне парове оздоблення за допомогою плазми / Високотемпературний процес PECVD

Отримайте безкоштовну пропозицію
Опис продукту

PECVD Обладнання для плазменного хімічного осадження парів

◆ Повна автоматична kontrola часу процесу, температури, потоку газу, дії клапанів та тиску у реакційній камери реалізовується за допомогою
промислового комп'ютера.
◆ Використовується імпортна система керування тиском та замкнута петля, що забезпечує високу стійкість.
◆ Використовуються імпортні корозійностікісні нержавіючі сталеві трубки та крани для забезпечення герметичності газового кола.
◆ Має досконалю функцію сигналізації та безпечний пристрій взаємозв'язку.
◆ Має сигналізацію при надто високій температурі та недостатній температурі, сигналізацію MFC, сигналізацію тиску реакційної камери, сигналізацію RF, сигналізацію низького тиску сжатого повітря, низького тиску N2, та низького потоку охолоджувальної води.
◆ Існуюча PECVD має функцію зростання шару SiO2 після модернізації, що вирішує проблему PID батарейного модуля. Може виростати шар SiNxOy (процес зворотньої пасивізації), що значно покращить ефективність перетворення батареї.
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

Тип

◆ Кількість завантаження: 384 штуки/човен (125 * 125); 336 штук/човен (156 * 156)
◆ Чистота очисного столу: 100 рівень (завод 10000 рівень)
◆ Ступінь автоматизації: автоматичне керування температурою та процесом.
◆ Режим відправлення і прийому чипів: тип м'якої посадки, з стабільними та надійними характеристиками, без просування, точна позиціонування, велика несучість та довгий термін служби.
Специфікація
Максимальна загрузка на трубку
384 штук/човен（125*125）
336 штук/човен（156*156）
Індекс процесу
± 3% у таблетці, ± 3% між таблетками, ± 3% між партіями
Робоча температура
200~500℃
Точність та довжина температурної зони (статичний закритий тест у трубці)
1200мм±1℃
Точність потоку газу
±1%FS
ВПС системи повітряного кола
1×10-7Pa.m3/S
Контроль
Повністю імпортована автоматична система регулювання тиску з закритим циклом, точний контроль реакційного вакууму; 40KHz високочастотна потужність
Повноцінний цифровий контроль, ідеальний і безпечний захист управління процесом.
1 трубку, 2 трубки, 3 трубки і 4 трубки є необязаними; автоматичний завантаження маніпулятор є необязаним, і продуктивність обладнання
і процесів можуть бути порівнянні з найвигіднішими у світі аналогічними обладнаннями.
Упаковка та доставка
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process manufacture
Для кращого забезпечення безпеки ваших товарів, будуть надані професійні, екологічно чисті, зручні та ефективні послуги упаковки.
Профіль компанії
У нас є 16-річний досвід у продажу обладнання. Ми можемо запропонувати вам комплексне рішення для обладнання лінії упаковки передового та заднього кінця полупроводників з Китаю.

Більше продуктів

запит

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Політика конфіденційності

запит Email whatsapp WeChat
Top
×

ЗВ'ЯЖІТЬСЯ