Точарний і полірувальний апарат MDAM-CMP100/150, головна одиниця та всі запасні частини виготовлені з матеріалів, що високопричиняють корозію. Вся машина є корозійностійною, стабільною, износостійкою та захищеною від ржавлини, призначена для хіміко-механічного точення та полірування різних напівпровідників. Робоча зона відокремлена від зони дисплея та керування, і керується цифрово за допомогою системи керування з сенсорним екраном. Вона CNC-керована, може зберігати дані та відновлювати їх.
Система пристрою має функцію таймера, яка дозволяє працювати неперервано протягом 10 годин і керувати швидкістю полірувального диска. Панель керування розміщена поза робочою зоной, щоб запобігти потраплянню абразивного розчину на панель керування. Усі параметри пристрою можна налаштувати на екрані з дотиковим керуванням. Процесні параметри пристрою мають функції зберігання та відновлення для забезпечення послідовності та повторюваності процесу. Взірковий диск адсорбовується на нижній поверхні фіксаційного пристрою за допомогою вакуумного насосування, що оснащено безолевим вакуумним насосом, а також має незалежну функцію захисту від зворотного всмоктування.
Система водіння вертикальної обертання приладу для зразків має функцію маятникового руху, з діапазоном ходу 0-100% регулювання. Амплітуда і частота маятникового руху можуть бути точно встановлені через панель керування. Прилад оснащений незалежною системою приводу для обертання, з регулюваною швидкістю у діапазоні 0-120 об./хв. Ця функціональна конструкція забезпечує повний маятниковий полірування зразка під час процесу грати та полірування, що значно покращує міцність та ефективність пристрою.
Прилад оснащений цифровим столом для моніторингу товщини з точністю моніторингу 1 μ m. Тиск приладу на зразок чипа є неперервно регулюванним, з діапазоном тиску 0-3,5 кг і точністю 2 г/см², а також оснащений пристроєм вимірювання тиску.
Процес діяння шлифувального та полірувального диска керується головним приводом, а швидкість обертання диска може регулюватися від 0 до 120 обертів на хвилину. Цей діапазон зміни швидкості ефективно забезпечує шлифування та полірування вибірки різної твердості і розміру матеріалів, що дозволяє досягти вищих показників процесу. Заміна шлифувальних та полірувальних дисків є простим і швидким процесом, а вбудовані диски дозволяють обладнанню швидко перейти від процесу шлифування до полірування, значно зменшуючи час процесу. Шлифувальний диск укомплектований блоком ремонту диска для забезпечення його хорошої рівності.