Товар |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Розмір продукту |
≤6 дюймів |
≤8 дюймів |
≤8 дюймів |
||
RF джерело потужності |
0-300W/500W/1000W Настройка, автоматичне відповідність |
||||
Молекулярний насос |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
Антисептик620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
|||
Помпа Foreline |
Механічна помпа\/суха помпа |
Суха помпа |
|||
Процесний тиск |
Неконтрольований тиск\/0-1Torr контролюваний тиск |
||||
Тип газу |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (До 9 каналів, без корозійних та токсичних газів) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(До 9 каналів) |
|||
Газова плита |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/на замовлення |
||||
Завантаження/Розблокування |
Так\/Ні |
Так |
|||
Контроль температури вибірки |
10°C~Кімн.темп./-30°C~100°C/На замовлення |
-30°C~100°C/На замовлення |
|||
Зворотне охолодження гелієм |
Так\/Ні |
Так |
|||
Облицювання процесної камери |
Так\/Ні |
Так |
|||
Контроль температури стінок камери |
Ні/Кімн.темп.~60/120°C |
Температура кімнати -60/120°C |
|||
Система управління |
Автоматичний/власний |
||||
Матеріал для етчингу |
Силіконовий: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Магнітні матеріали/сплави Металевий матеріал: Ni/Cr/Al/Au. Органічний матеріал: PR/PMMA/HDMS/Органічна плівка. |
Силіконовий: Si/SiO2/SiNx. III-V(прим.3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (примітка 3): CdTe. Магнітні матеріали/сплави Металевий матеріал: Ni/Cr/A1/Au. Органічний матеріал: PR/PMMA/HDMS/органічна фільма. |
Призначений для мікротхомашних пристроїв, силових пристроїв тощо.
Машинка Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) - це сучасна технологія, яка може проводити етчинг та аналіз різних типів матеріалів з дивовижною точністю. Ця машина призначена для використання в різних галузях, де регулярно потрібна мікрозробка або етчинг. Вона виготовлена з високоякісних матеріалів, що робить її міцною, надійною та здатною виробляти чудові результати.
Остаточний ефект від плазмогоенератора RF. Система RIE використовує індуктивне з'єднання для створення плазми з палива. Ця техніка створює високогусту плазму, яка збільшує швидкість етчингу продукту. Процес етчингу у пристрої RIE ефективний, точний та дуже керований, що дозволяє досягти конкретної глибини. Ця особливість робить його чудовим вибором для наукових досліджень або промислових робіт.
Машина має широкий діапазон застосувань, включаючи мікроелектроніку, виготовлення МЕМС і напівпровідників. Ця машина відіграє важливу роль у травленні та мікромеханіці матеріалів напівпровідників, таких як кремній, арсенід галію та германій у промисловості напівпровідників. Установка Minder-High-tech RIE також була впроваджена в промисловості МЕМС для виготовлення м'яких та твердих матеріалів, таких як поліімід, двоокис силикону та нітрид силикону. Крім того, вона доступна для аналізу несправностей у галузях, пов'язаних з електронними продуктами та послугами.
Включає функції, які розмаїття роблять його легким у використанні. Це програмне забезпечення є користувачем дружнім і надає оператору повний контроль над параметрами етчингу, які використовуються у пристрої. Налаштування машини зберігаються у його внутрішній пам'яті, де можна зберегти більше 100 наборів налаштувань. У нього є сенсорний екран, який дозволяє оператору встановлювати параметри, такі як газова подача, потужність щільності та тиск. Машину Minder-High-tech RIE також має функцію керування температурою, яка забезпечує, щоб матеріали оброблялись при правильній температурі і зупиняє їх пошкодження.
Ідеально підходить для компаній, яким потрібна надійна та ефективна машина, яка може забезпечити точні та точні результати. Цей апарат було спроектовано за допомогою найкращих технологій і рівня значної кількості. Її універсальність та користувачем дружні функції роблять її дуже хорошим вибором для наукових досліджень та промислових застосувань у різних секторах.
Також вона має ефективну систему аналізу несправностей, яка дозволяє машині виявляти та виправляти будь-які механічні проблеми якомога швидше. Ця система забезпечує те, що машина RIE зберігає високу якість та надійність протягом всього терміну служби. Для будь-якої галузі, яка потребує точного та ефективного етчингу або мікрозабудовування, машина RIE Minder-High-tech є ідеальним рішенням.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved