пункт | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Розмір продукту | ≤6 дюймів | ≤8 дюймів | ≤8 дюймів | ||
Джерело радіочастотного живлення | 0-300 Вт/500 Вт/1000 Вт Регульована, автоматична відповідність | ||||
Молекулярний насос | -/620(л/с)/1300(л/с)/корист | Антисептик620(Л/с)/1300(Л/с)/Ізм | |||
Форвалентний насос | Механічний насос/сухий насос | Сухий насос | |||
Тиск процесу | Неконтрольований тиск/контрольований тиск 0-1 Торр | ||||
Тип газу | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Користувацький (До 9 каналів, без корозійних і токсичних газів) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Газовий діапазон | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Так ні | Так | |||
Зразок тем контролю | 10°C~Кімнатна температура/-30°C~100°C/Налаштування | -30°C~100°C /Настроюваний | |||
Зворотне охолодження гелієм | Так ні | Так | |||
Обшивка технологічної порожнини | Так ні | Так | |||
Контроль температури стінки порожнини | Ні/кімнатна температура~60/120°C | Кімнатна температура-60/120°C | |||
Система регулювання | Авто/на замовлення | ||||
Гравюрний матеріал | На основі кремнію: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Магнітні матеріали/сплави Металевий матеріал: Ni/Cr/Al/Au. Органічний матеріал: PR/PMMA/HDMS/Organic film. | На основі кремнію: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Магнітні матеріали/сплави Металевий матеріал: Ni/Cr/A1/Au. Органічний матеріал: PR/PMMA/HDMS /органічна плівка. |
Підходить для мікрохвильових печей, силових пристроїв тощо.
Машина Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) — це найсучасніша технологія, яка може травити й аналізувати різні типи матеріалів із неймовірною точністю. Ця машина розроблена для використання в різних галузях промисловості, де потрібне регулярне мікровиготовлення або травлення. Він виготовлений з високоякісних матеріалів, що робить його міцним, надійним і здатним давати чудові результати.
Оснащений ВЧ-генератором плазми є ефективним. У системі RIE використовується індуктивний зв’язок для отримання плазми з бензину, що подається. Ця техніка створює плазму високої щільності, яка збільшує швидкість травлення, пов’язану з продуктом. Процес травлення машини RIE є ефективним, точним і добре керованим, що дозволяє досягти певної глибини. Ця особливість є унікальною, це чудовий вибір для досліджень або промислових робіт.
Машина має широкий діапазон, включаючи мікроелектроніку, виготовлення MEMS та виготовлення напівпровідників. Ця машина відіграє важливу роль у травленні та мікрообробці напівпровідникових матеріалів, таких як кремній, арсенід галію та германій у напівпровідниковій промисловості. Пристрій Minder-High-tech RIE також було створено в галузі MEMS для виготовлення м’яких і твердих матеріалів, таких як поліімід, діоксид кремнію та нітрид кремнію. Крім того, він доступний для аналізу несправностей у галузях, пов’язаних із послугами та продуктами, які є електронними.
Включає різні функції, які полегшують використання. Це зручне програмне забезпечення забезпечує оператору повний контроль над параметрами травлення, які використовуються в пристрої. Налаштування машини зберігаються у внутрішній пам’яті, вона може зберігати понад 100 наборів налаштувань. Сенсорний екран дозволяє оператору встановлювати такі параметри, як рух газу, потужність і тиск. Верстат Minder-High-tech RIE також має функцію контролю температури, яка гарантує, що матеріали протравлюються при правильній температурі, і запобігає їх пошкодженню.
Ідеально підходить для компаній, яким потрібна надійна та ефективна машина, яка може забезпечити точні та точні результати. Цей пристрій розроблено з використанням першокласних технологій, і його рівень дуже високий. Його універсальність і зручні функції роблять його вибором для досліджень і промислових застосувань у різних секторах.
Він також має ефективну систему аналізу несправностей, яка дозволяє машині якнайшвидше виявляти та усувати будь-які механічні проблеми. Ця система гарантує, що машина RIE підтримує високу якість і надійність протягом усього життєвого циклу. Для будь-якої галузі, яка вимагає точного та ефективного травлення або мікрофабрикації, Minder-High-tech RIE машина є ідеальним рішенням.
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені