Розповсюджена Термальна Обробка
Обладнання RTP для складних полупроводників, SlC, LED та MEMS
* Зростання оксиду, нітриду
* Швидке сплавлення омічного контакту
* Відпаливання сплаву сіліциду
* Оксидний рефлюкс
* Процес на основі арсеніду галію
* Інші процеси швидкого термічного оброблення
Повністю автоматизована двокамерна RTP
* Сумісна з ваферами діаметром 6-8 дюймів
* Максимальна температура може досягати 1250°c
* Стабільне відтворення температури
* Повністю автоматизований двокамерний дизайн для збільшення продуктивності
* Рівномірність ультрависокотемпературного поля
* Відповідає вимогам масового виробництва SlC
Полуавтоматична RTP
* Пігрів інфрачервоними халогеновими лампами, охолодження за допомогою повітряного охолодження;
* Керування температурою PlD для потужності ламп, що дозволяє точно керувати підвищенням температури, забезпечуючи хорошу воспроизводимість та рівномірність температури;
* Вхід матеріалу встановлений на поверхні WAFER, щоб уникнути створення холодних точок під час процесу анелея та забезпечити добру рівномірність температури продукту;
* Можна вибирати як атмосферний, так і вакуумний методи обробки, з передбачуванням та очищенням корпусу;
* Два комплекти процесних газів є стандартними і можуть бути розширеними до 6 комплектів процесних газів;
* Максимальний розмір вимірюваного вибіркового кристалу силіцію становить 12 дюймів (300x300 мм);
* Три заходи безпеки: захист від відкриття при безпечній температурі, захист дозволу відкриття терморегулятора та аварійна зупинка обладнання для забезпечення безпеки приладу повністю реалізовані;
Настільний RTP
* Пігрів інфрачервоними халогеновими лампами, охолодження за допомогою повітряного охолодження;
* Керування температурою PlD для потужності ламп, що дозволяє точно керувати підвищенням температури, забезпечуючи хорошу воспроизводимість та рівномірність температури;
* Вхід матеріалу встановлений на поверхні WAFER, щоб уникнути створення холодних точок під час процесу анелея та забезпечити добру рівномірність температури продукту;
* Можна вибирати як атмосферний, так і вакуумний методи обробки, з передбачуванням та очищенням корпусу;
* Два комплекти процесних газів є стандартними і можуть бути розширеними до 6 комплектів процесних газів;
* Максимальний розмір вимірюваного вибіркового кристалу силіцію становить 12 дюймів (300x300 мм);
* Три заходи безпеки: захист від відкриття при безпечній температурі, захист дозволу відкриття терморегулятора та аварійна зупинка обладнання для забезпечення безпеки приладу повністю реалізовані;
У нас є 16 років досвіду в продажу обладнання, і ми можемо запропонувати вам повний розв'язок для лінії IC Package!
Шукаєте надійне обладнання RTP для ваших технологічних процесів виробництва складових напівпровідників, СlC LED та MEMS? Не шукайте далі, ніж Minder-Hightech.
Похваляється винятковими можливостями для швидкої обробки і термального створення, що робить його ідеальним для виготовлення першокласних елементів напівпровідників, SlC MEMS пристроїв та світильників. Разом з технологією Minder-Hightech у вашому розпорядку, ви можете досягнути точного температурного режиму, стабільного нагріву та низької концентрації дефектів у вашій продукції.
Має користувальний інтерфейс, який легко використовувати, що робить його доступним для операторів будь-якого рівня кваліфікації. Його передові автоматизовані можливості дозволяють оптимізувати ваші виробничі процеси, зменшуючи необхідність ручного контролю та економлячи вам гроші та час.
Важливість розуміється через нашу команду надійності обладнання. Саме тому наші пристрої RTP розробляються з урахуванням найвищих якісних характеристик і спрямовуються на той, щоб витримувати широке використання без щоденного втрати ефективності або навіть функціональності. Наша команда також надає регулярну підтримку та сервісне обслуговування для забезпечення тривалості вашої обладнани.
Незалежно від того, чи займаєтеся ви виробництвом складових напівпровідників, виробництвом LED-діодів або навіть розробкою систем MEMS, обладнання RTP Minder-Hightech пропонує неперевершену ефективність та точність. Отже, чого чекати? Оновіть ваш процес виробництва до наступного рівня, придбавши обладнання RTP Minder-Hightech сьогодні.
Якщо вам потрібне обладнання RTP найвищої якості для підвищення ефективності та результативності вашого процесу виробництва складних напівпровідників SlC LED MEMS, сполегайтесь на Minder-Hightech. Наш прогресивний технологічний розвиток, надійна техніка та виняткова підтримка клієнтів роблять нас головним вибором для компаній у всьому світі.
Не тратьте час, почніть підносити ваш процес виробництва на новий рівень.
Купуйте обладнання RTP від Minder-Hightech сьогодні.