Швидка термічна обробка
Обладнання RTP для складних напівпровідників、SlC、LED та MEMS
* Рост оксидів, нітридів
* Омічний контактний швидкодіючий сплав
* Відпал силіцидного сплаву
* Окислювальний рефлюкс
* Процес арсеніду галію
* Інші швидкі процеси термічної обробки
Повністю автоматичний двокамерний RTP
* Сумісність з 6-8-дюймовими WAFER
* Максимальна температура може досягати 1250°C
* Стабільна відтворюваність температури
* Повністю автоматична двокамерна конструкція для збільшення виробничої потужності
* Рівномірність поля надвисокої температури
* Задоволення попиту на процес масового виробництва SlC
Напівавтоматичний RTP
* Нагрівання трубки інфрачервоної галогенної лампи, охолодження за допомогою повітряного охолодження;
* Контроль температури PlD для потужності лампи, який може точно контролювати підвищення температури, забезпечуючи хорошу відтворюваність і однорідність температури;
* Вхідний отвір матеріалу встановлено на поверхні WAFER, щоб уникнути утворення холодної точки під час процесу відпалу та забезпечити хорошу однорідність температури продукту;
* Можливий вибір як атмосферного, так і вакуумного методу лікування з попередньою обробкою та очищенням організму;
* Два набори технологічних газів є стандартними і можуть бути розширені до 6 комплектів технологічних газів;
* Максимальний розмір вимірюваного зразка монокристалічного кремнію становить 12 дюймів (300x300 мм);
* Три заходи безпеки: захист від безпечного відкриття температури, захист дозволу на відкриття терморегулятора та захист від аварійної зупинки обладнання повністю реалізовані для забезпечення безпеки інструменту;
Настільний RTP
* Нагрівання трубки інфрачервоної галогенної лампи, охолодження за допомогою повітряного охолодження;
* Контроль температури PlD для потужності лампи, який може точно контролювати підвищення температури, забезпечуючи хорошу відтворюваність і однорідність температури;
* Вхідний отвір матеріалу встановлено на поверхні WAFER, щоб уникнути утворення холодної точки під час процесу відпалу та забезпечити хорошу однорідність температури продукту;
* Можливий вибір як атмосферного, так і вакуумного методу лікування з попередньою обробкою та очищенням організму;
* Два набори технологічних газів є стандартними і можуть бути розширені до 6 комплектів технологічних газів;
* Максимальний розмір вимірюваного зразка монокристалічного кремнію становить 12 дюймів (300x300 мм);
* Три заходи безпеки: захист від безпечного відкриття температури, захист дозволу на відкриття терморегулятора та захист від аварійної зупинки обладнання повністю реалізовані для забезпечення безпеки інструменту;
Ми маємо 16-річний досвід у продажу обладнання, і можемо надати вам універсальне рішення для лінійного обладнання IC Package Line!
Шукаєте надійне RTP-обладнання для ваших складних напівпровідникових SlC LED MEMS? Не дивіться більше в порівнянні з Minder-Hightech.
Має надзвичайну здатність до швидкої термічної обробки, що робить його ідеальним для створення першокласних напівпровідників, гаджетів SlC MEMS та світлодіодів. Разом із інноваціями Minder-Hightech у вашому розпорядженні ви можете забезпечити точний рівень температури, постійне опалення будинку та зменшити товщину проблем у ваших послугах чи продуктах.
Включає в себе індивідуальний користувальницький інтерфейс, який простий у використанні, що дозволяє водіям будь-якого рівня легко використовувати та орієнтуватися. Власні прогресивні можливості автоматизації дозволяють вам покращити ваші виробничі процедури, зменшуючи потребу в захисті довідників, а також функціонують ваші гроші та можливості.
Наша команда усвідомлює важливість надійності обладнання. Ось чому наші RTP-пристрої розроблені разом із аспектами найвищої якості та розроблені таким чином, щоб витримати інтенсивне використання та щоденну відсутність ефективності чи навіть функцій. Наша команда також надає регулярну допомогу та рішення щодо технічного обслуговування, щоб гарантувати довговічність вашого обладнання.
Незалежно від того, чи пов’язані ви з виробництвом складних напівпровідників, виробництвом світлодіодів або навіть із вдосконаленням системи MEMS, обладнання Minder-Hightech RTP пропонує неперевершену ефективність і точність. Тому навіщо тинятися? Оновіть свою процедуру виробництва до ступеня після придбання обладнання Minder-Hightech RTP сьогодні.
Якщо вам потрібне високоякісне RTP-обладнання для підвищення ефективності та ефективності вашої процедури виробництва складних напівпровідників SlC LED MEMS, покладіться на Minder-Hightech. Наші прогресивні інновації, надійні пристрої та виняткова підтримка клієнтів створюють нашу команду як провідні варіанти для бізнесу в усьому світі.
Не торкайтеся будь-якого типу набагато довше, щоб отримати вашу процедуру виробництва до наступного ступеня.
Придбайте обладнання RTP від Minder-Hightech сьогодні.