Полуавтоматичне RTP Швидке термічне оброблення для кристалів напівпровідників SlC LED MEMS , China Полуавтоматичне RTP Швидке термічне оброблення для кристалів напівпровідників SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис продукту

Розповсюджена Термальна Обробка

Предоставляє надійне обладнання RTP для складних полупроводників, SlC, LED та MEMS

Особливість

* Пігрів інфрачервоними халогеновими лампами, охолодження за допомогою повітряного охолодження;
* Керування температурою PlD для потужності ламп, що дозволяє точно керувати підвищенням температури, забезпечуючи хорошу воспроизводимість та рівномірність температури;
* Вхід матеріалу встановлений на поверхні WAFER, щоб уникнути створення холодних точок під час процесу анелея та забезпечити добру рівномірність температури продукту;
* Можна вибирати як атмосферний, так і вакуумний методи обробки, з передбачуванням та очищенням корпусу;
* Два комплекти процесних газів є стандартними і можуть бути розширеними до 6 комплектів процесних газів;
* Максимальний розмір вимірюваного вибіркового кристалу силіцію становить 12 дюймів (300x300 мм);
* Три заходи безпеки: захист від відкриття при безпечній температурі, захист дозволу відкриття терморегулятора та аварійна зупинка обладнання для забезпечення безпеки приладу повністю реалізовані;

Доповідь про випробування

Співпадіння кривих 20-го ступеня

20 кривих для температурного регулювання при 850 ℃

Співпадіння 20 середніх температурних кривих

Контроль температури 1250 ℃

Процес RTP з температурним контролем 1000 ℃

Процес при 960 ℃, керований інфрачервоним пірометром

Дані процесу LED

Датчик температури RTD Wafer використовує спеціальні технології обробки для вбудовування датчиків температури (RTD) у певних місцях на поверхні пластинки, що дозволяє вимірювати температуру поверхні пластинки у режимі реального часу.

Реальні вимірювання температури у певних місцях на пластинці та загальна температурна розподілена характеристика пластинки можуть бути отримані за допомогою RTD Wafer; Його також можна використовувати для неперервного контролю тимчасових змін температури на пластинках під час процесу термобудь-якості.

Специфікація

Упаковка та доставка

Профіль компанії

У нас є 16 років досвіду в продажу обладнання. Ми можемо запропонувати вам комплексне рішення для обладнання лінії пакування переднього та заднього етапу полупроводників з Китаю!