Засіб для очищення напівпровідникової промисловості MDLB-MC200 Photomask Україна

Ні.

Проекти

Специфікації

Зауваження

1

Огляд обладнання

Назва пристрою: Photomask Cleaner

Модель обладнання: MDLB-MC200

Габаритні розміри (приблизно): 1300 мм (Ш) * 1000 мм (Г) * 1950 мм (В)

Загальна вага машини (приблизно): 300 кг

Висота операційного столу: 900 ± 50 мм

Характеристики розміру підкладки: підходить для квадратних масок розміром 2/4/5/6/8 дюймів

Потік процесу: розміщення пластини вручну → очищення (щітка, розчин для чищення → вода під високим тиском → вода під високим тиском → деіонізована вода → сушіння газоподібним азотом) → видалення пластини вручну

Тип обладнання: напівавтомат, ручне завантаження та розвантаження

2

Конструкція обладнання

Корпус: нержавіюча сталь, гладка, стійка до корозії, легко миється

Камера для очищення: ПП, гладка, стійка до корозії, легко миється

Трубопровід: використовується відповідний трубопровід PU/PFA

Робоче освітлення: антикорозійне жовте освітлення

Стиль відкривання дверей: подвійні двері з функцією сигналізації про відкриття дверей

Сенсорний екран: 10-дюймовий повнокольоровий сенсорний екран * 1

ФФУ: 100 клас

Герметична нижня опора: доступна

3

Високоточний серводвигун

Кількість: 1

Швидкість: -3000~3000 об/хв

Порожній вантаж

Максимальне прискорення обертання шпинделя: 3000 об / хв

Порожній вантаж

Точність швидкості: ± 1 об/хв (50 об/хв ~ 3000 об/хв)

Роздільна здатність швидкості: 1 об/хв

4

Автоматичний поворотний важіль

Кількість: 3

Швидкість поворотного важеля: 1~30 °/с

5

блок очищення

Очисний поворотний важіль: 1 канал деіонізованої води, 1 канал азоту

Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 Water High Pressure Arm

Ручка щітки: 1 щітка, 1 вода, 1 миючий розчин

Спосіб очищення: автоматичне очищення

Функція всмоктування деіонізованої води: доступна

Зворотна промивка (деіонізована вода): 1 шлях

Спосіб подачі: Миючий розчин: Мембранний насос

Деіонізована вода: поставляється безпосередньо з заводу

Напірний бак із датчиком рівня рідини

6

Кисть пензлик

Кількість: 1 (з функцією самоочищення)

Швидкість: до 1000 об/хв, регульована швидкість

Висота регулюється вручну

7

Завантажте лоток

Кількість: 5

Матеріал: PPS + нержавіюча сталь

Розмір: підходить для квадратних пластин маски 2/4/5/6/8 дюймів

Спосіб фіксації підкладки: Метод фіксації кігтиком

8

система управління

Система управління: за допомогою управління PLC

Програма: 100 груп, кожна група складається з 100 кроків, з максимальним часом одного кроку 3000.0 секунд

Роздільна здатність: 0.1S

Програму можна зберігати, викликати, змінювати та видаляти

Встановіть дозволи на шифрування: для операторів пристроїв, техніків, адміністраторів і виробників відповідно

Тип сигнальної вежі: червоний, жовтий, зелений 3 кольори