Обладнання для напівпровідникової промисловості MDLB-MC200 Пристрій очищення фотомаски

Ні, не можна.

Проект

Специфікації

Зауваження

1

Огляд пристрою

Назва пристрою: Чистильник фотомасок

Модель пристрою: MDLB-MC200

Загальні розміри (приблизно): 1300мм (Ш) * 1000мм (Г) * 1950мм (В)

Загальна вага апарату (приблизно): 300КГ

Висота операційного столу: 900 ± 50мм

Специфікація розміру субстрату: підходить для квадратних масочних пластин розміром 2/4/5/6/8 дюймів

Технологічний процес: ручна установка пластини → очищення (щітка, чистильний розчин → високотискова вода → мегасонова вода → деіонізована вода → очитування азотом) → ручне зняття пластини

Тип обладнання: півавтоматичний, ручна завантаження та роззавантаження

2

Конструкція обладнання

Корпус: нержавча сталь, гладка, корозійностійка, легка для очищення

Камера очищення: PP, гладка, корозійностійка, легка для очищення

Трубопровод: використовується трубопровод з матеріалу PU/PFA

Освітлення робочої зони: антикорозійне жовте світло

Стиль відкриття дверей: подвійні двері з функцією сигналу при відкритті дверей

Чуйний екран: 10-дюймовий кольоровий чуйний екран * 1

FFU: клас 100

Протечкове підтримування дна: наявне

3

високоточний сервомотор

Кількість: 1

Швидкість: -3000~3000 об/хв

Порожній навантаження

Максимальне прискорення обертання вісі: 3000 об/хв

Порожній навантаження

Точність швидкості: ± 1 об/хв (50 об/хв~3000 об/хв)

Роздільність швидкості: 1 об/хв

4

Автоматична маятникова рука

Кількість: 3

Швидкість маятникової руки: 1~30 °/с

5

Одиниця очищення

Маятникова рука для очищення: 1 канал деіонізованої води, 1 канал азотного газу

Мегазвукова рука: 1 мегазвук, 1 високотискова вода

Щіткова рука: 1 щіт, 1 вода, 1 чистячий розчин

Метод очищення: автоматичне очищення

Функція засмоктування дезіонізованої води: наявна

Промивка (дезіонізована вода): 1 маршрут

Метод подачі: Чистячий розчин: Діафрагмовий насос

Дезіонізована вода: підводиться напряму від заводу

Тискова цистерна з детектором рівня рідини

6

Щітковий щит

Кількість: 1 (з функцією самочищення)

Швидкість: до 1000 об./хв., регулювана швидкість

Висота регулюється вручну

7

Таламок для навантаження

Кількість: 5

Матеріал: PPS+нержавча заліза

Розмір: Підходить для квадратних маскових пластин розміром 2/4/5/6/8 дюймів

Метод закріплення субстрату: Метод клацання

8

Система управління

Система керування: Використовується керування PLC

Програма: 100 груп, кожна з яких складається з 100 кроків, з максимальною тривалістю одного кроку 3000.0 секунд

Роздільність: 0.1С

Програму можна зберегти, викликати, відредагувати та видалити

Встановлення дозволів шифрування: для операторів пристрою, техніків, адміністраторів та виробників відповідно

Тип сигналізаційної вежі: червоний, жовтий, зелений 3 колірні