Проекти |
зміст |
Тип продукту |
Вафля 6",8",12", упаковка 2.5D/3D |
2D перевірка предмети |
Сторонні предмети, залишки клею, частинки, подряпини, тріщини, забруднення, відхилення CP, надмірні сліди від голки тощо. |
2D Метрологія |
Діаметр шишки, координати позначки голки, RDL і TSV метрологія тощо. |
3D проект перевірки |
Висота виступу, компланальність виступу |
Касетний і спосіб передачі |
8"SMIF, 12" FOUP або комбінація |
Об'єктив і роздільна здатність |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
Точність |
0.55 мкм/піксель |
Додатково та індивідуально |
Двостороннє OCR, 3D модуль, підтримується E84 |
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені