Проекти
|
зміст
|
Тип продукту
|
Вафля 6",8",12", упаковка 2.5D/3D
|
2D перевірка
предмети |
Сторонні предмети, залишки клею, частинки, подряпини, тріщини, забруднення, відхилення CP, надмірні сліди від голки тощо.
|
2D Метрологія
|
Діаметр шишки, координати позначки голки, RDL і TSV метрологія тощо.
|
3D проект перевірки
|
Висота виступу, компланальність виступу
|
Касетний і спосіб передачі
|
8"SMIF, 12" FOUP або комбінація
|
Об'єктив і роздільна здатність
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
Точність
|
0.55 мкм/піксель
|
Додатково та індивідуально
|
Двостороннє OCR, 3D модуль, підтримується E84
|
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені