Проект
|
Вміст
|
Тип продукту
|
6",8",12" кремнієва пластина, 2.5D/3D упаковка
|
2D Перевірка
Елементи |
Чужородні предмети, залишки клею, частинки, шрами, тріщини, забруднення, відхилення CP, надмірні позначки від игли тощо.
|
2D Метрологія
|
Діаметр Bump, координати позначок від игли, метрологія RDL та TSV тощо.
|
3D Проект перевірки
|
Висота бампів, Копланарність бампів
|
Касета та метод передачі
|
8"SMIF , 12" FOUP або комбінація
|
Лінза та роздільність
|
2x(2.75мкм)13.5x(1.57мкм)5x(1.1мкм)17.5x(0.73мкм)110x(0.55мкм)
|
Точність
|
0.55мкм/піксель
|
Опціонально та на замовлення
|
Подвійне OCR, 3D модуль, підтримується E84
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved