Вакуумна микровілна плазменна машина для очищення Поверхневе оброблення плазмою Розпакування напівпровідників Розв'язок для IC TO package , China Вакуумна микровілна плазменна машина для очищення Поверхневе оброблення плазмою Розпакування напівпровідників Розв'язок для IC TO package Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис продукту

Розпакування полупроводників рішення Мікрохвильовий Плазменний Очистник

SPV-100MWR - це система низьковольтної мікроталасної плазменної очистки для напівпровідників. За допомогою мікроталасних хвиль частотою 2,45 ГГц, що застосовуються до вікна на стінці вакуумної камери, генерується велика кількість неперервної плазми, і чип очищується після входження в камеру.

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

Технічні параметри

Вакуумний плазменний агрегат
Розмір обладнання	1230X1800X1100мм (ширина x висота x глибина)
Вага	450KG
Енергозапит	AC380V, 50/60Hz, 5-провод, 30A
Специфікація плазменного генератора
Постачання енергії для мікрохвильових систем	Потужність	0~1250Вт
		Частота	2.45ГГц
Вакуумна система
Матеріал	Алюмінієвий сплав (змога зробити нержавіючий стальовий кам'яшок на замовлення)
Товщина	25мм
Внутрішні розміри камери	480ммX470ммX480мм
Робочі області	6 секцій журналу
ECR	Журнал з прорізнями забезпечує покращений ефект обробки ECR
Здатність до плазмової обробки
Здатність до обробки	35 мкм ПITCH 40 мкм БУМП 15X15 мм Максимальний розмір кристалу