Технічні параметри | Режим вимірювання | PSI/VSI/суперглибина різкості/світле поле |
Поле зору для одного вимірювання (об’єктив 20×) | 500*350 мкм (автоматичне зшивання) | |
Регулювання кута | ±12° ручний | |
Регулювання осі Z | 20мм електричний + 50мм ручний (механізм грубого і точного регулювання) | |
Дальність поздовжнього сканування | 0-10mm | |
Поздовжня роздільна здатність | <0.2 нм | |
Повторюваність вимірювання поздовжньої шорсткості | 0.01 нм (режим PSI) | |
похибка індикації висоти сходинки вимір | <0.75% (режим VSI) | |
Бокова роздільна здатність: @550 нм | 0.69 мкм (20× об’єктив) | |
Вимірна відбивна здатність зразка | 0.1% -100% | |
Час вимірювання | <5 с (режим PSI) | |
Функція аналізу | Функція аналізу | 3D вимірювання висоти, 3D аналіз шорсткості, 2D вимірювання розмірів |
Виведення 3D даних | Дані 3D-хмари точок, дані зображень у відтінках сірого, індивідуальний звіт |
Об'єктивне збільшення | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Числова апертура | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Оптична роздільна здатність @550 нм (мкм) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Глибина фокусування (мкм) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Робоча відстань (мм) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Авторське право © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені