Технічний параметр |
Режим вимірювання |
PSI/VSI/супер глибина розмиття/яскраве поле |
Одне поле вимірювання (об'єктив 20×) |
500*350μm (автоматичне склеювання) |
|
Настройка кута |
±12° рукова |
|
Зміна осі Z |
20мм електрично + 50мм рукова (механізм грубих і точних налагоджень) |
|
Діапазон продовжувального сканування |
0-10мм |
|
Продовжувальна роздільна здатність |
<0.2nm |
|
Повторюваність вимірювання продовжної шorstкості |
0.01nm (режим PSI) |
|
помилка індикації висоти ступеня вимірювання |
<0.75% (режим VSI) |
|
Бічна роздільна здатність: @550nm |
0.69μm (об'єктив 20×) |
|
Вимірювана відбиття вибірки |
0.1%-100% |
|
Час вимірювання |
<5с (режим PSI) |
|
Функція аналізу |
Функція аналізу |
вимірювання висоти у 3D, аналіз шорсткості у 3D, вимірювання розмірів у 2D |
вихідні дані у 3D |
дані точкової облачності у 3D, дані зображення у відтінках сірого, індивідуальний звіт |
Збільшення об'єктиву |
2.5X |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
Цифрова діафрагма |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Оптична роздільність @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Глибина фокусування (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Робоча відстань (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved