Рішення для ультразвукового скануючого мікроскопа для напівпровідникової промисловості

Час: 2025-02-27

Принцип ультразвукового тестування

Ультразвуковий перетворювач генерує ультразвуковий імпульс, який досягає DUT через сполучне середовище (воду).

Через різницю акустичного опору ультразвукова хвиля відбивається на межі розділу різних матеріалів.

Ультразвуковий перетворювач приймає відбиту луну і перетворює її в електричні сигнали.

Комп’ютер обробляє електричний сигнал і відображає форму хвилі або зображення.

Форма сканування

Сканування: форма сигналу в певній точці;

Горизонтальна вісь вказує час, коли з’являється сигнал;

Вертикальна вісь вказує амплітуду хвилі.

Сканування: сканування поперечного перерізу;

Горизонтальна і вертикальна осі показують фізичні розміри;

Колір вказує на амплітуду хвилі.

B скан: поздовжнє поперечне сканування;

На горизонтальній осі відкладено фізичні розміри;

Вертикальна вісь вказує час, коли з’являється сигнал;

Колір вказує на амплітуду та фазу сигналу

Багатошарове сканування: багатошарове С-сканування виконується в напрямку глибини зразка.

Сканування передачі: приймачі додаються внизу зразка для збору переданих звукових хвиль для створення зображень.

Переваги та обмеження виявлення

переваги:

1. Ультразвукове виявлення застосовне до широкого діапазону матеріалів, включаючи метали, неметали та композитні матеріали;

2. Він може проникати в більшість матеріалів;

3. Він дуже чутливий до змін інтерфейсу;

4. Він нешкідливий для організму людини та навколишнього середовища.

Обмеження:

1. Вибір форми сигналу є відносно складним;

2. Форма зразка впливає на ефект виявлення;

3. Положення і форма дефекту мають певний вплив на результат виявлення;

4. Матеріал і розмір зерна зразка мають великий вплив на виявлення.

Контроль якості зварювання під час завантаження пластин

Моніторинг під час запуску машини для завантаження пластин і процесу налагодження для інтуїтивного виявлення відхилень у різних параметрах і станах обладнання.

Висота і кут нахилу всмоктуючої головки;

Окислення і температура припою;

Матеріал свинцевої рами та матеріал мікросхеми

Контроль якості зварювання під час завантаження стружки

Моніторинг під час запуску та налагодження машини для завантаження чіпів може інтуїтивно знаходити аномалії в різних параметрах і станах обладнання

Висота і кут нахилу всмоктуючої головки;

Окислення і температура припою;

Матеріал свинцевої рамки та мікросхеми

Порожнечі в процесі зварювання стружки призведуть до недостатнього розсіювання тепла під час використання пристрою, що вплине на його термін служби та надійність. За допомогою методів ультразвукового контролю можна швидко та ефективно визначити дефекти зварювальних пустот.


Зварювальні порожнечі	Короблення кремнієвих пластин	Хлібні чіпси	Тріщини в кремнієвих пластинах