Việt Nam

Minder-Hightech là một nhà sản xuất chất bán dẫn. Chất bán dẫn là thành phần quan trọng của nhiều thứ tạo nên cuộc sống hiện đại, chẳng hạn như điện thoại di động và máy tính. Hiện nay, có một vài bước để tạo ra chất bán dẫn, nhưng bước đầu tiên là tạo ra một mẫu trên một bề mặt phẳng được gọi là wafer.

Để tạo ra hoa văn này, chúng tôi phủ một vật liệu đặc biệt lên tấm wafer. Chất này được gọi là chất cản quang. Sau khi đặt chất cản quang xuống, chúng tôi phơi nó ra ánh sáng. Dưới ánh sáng, một vùng của chất cản quang được làm cứng và trở nên chắc chắn. Các vùng trong bóng tối vẫn mềm mại và có thể lau sạch.

Sau khi có được mẫu mong muốn trên tấm wafer, chất cản quang phải được tách ra khỏi các khu vực mà chúng ta sẽ thực hiện xử lý tiếp theo. Đây là nơi Máy làm sạch plasma thực sự có hiệu lực.

Phương pháp dựa trên plasma để loại bỏ chất cản quang

Plasma là trạng thái khí có mức năng lượng cao, do có điện tích cao được áp dụng vào. Và khí hoạt hóa này rất hữu ích để loại bỏ lớp phủ quang trên bề mặt wafer. Thông qua plasma, lớp phủ quang có thể trở nên giòn và việc vệ sinh trở nên dễ dàng hơn nhiều.

Chúng tôi có hai kỹ thuật khác nhau sử dụng plasma để loại bỏ lớp cản quang: khắc khô và tro hóa.

Khắc khô: Trong kỹ thuật này, plasma thực sự tương tác với chất cản quang. Plasma phản ứng với chất cản quang tại nơi tiếp xúc. Phản ứng này phân hủy chất cản quang và chuyển thành khí. Chất khí này sau đó có thể được làm sạch khỏi bề mặt wafer, dẫn đến việc phơi bày các khu vực chúng ta cần làm sạch và có thể tiến hành.

Ashing — Đây là một cách khác để thực hiện, trong phương pháp này, plasma không phản ứng được sử dụng cho chất cản quang. Thay vào đó, plasma phá vỡ chất cản quang thành những mảnh nhỏ li ti. Sau đó, những mảnh nhỏ này có thể được rửa sạch khỏi tấm wafer. Cách tiếp cận này phù hợp và bảo vệ tấm wafer trong khi loại bỏ chất cản quang không cần thiết.

Sử dụng plasma phản ứng để tách lớp quang điện

Xử lý bề mặt Plasma là một công cụ rất mạnh giúp chúng ta tách lớp photoresist cứng nhất ra khỏi wafer. Plasma tự nó đã rất tuyệt vời, nhưng phần tuyệt nhất là chúng ta có thể biến nó thành một tác nhân siêu chọn lọc. Điều đó có nghĩa là nó có thể được điều chỉnh để chỉ phản ứng cụ thể với lớp photoresist, không phải với các vật liệu khác bên dưới nó.

Ví dụ: Nếu chúng ta có một mẫu trên wafer nơi kim loại được đặt dưới lớp phủ quang, chúng ta có thể sử dụng một loại plasma chỉ phản ứng với lớp phủ quang. Do đó, chúng ta có thể khắc lớp phủ quang mà không làm hỏng kim loại bên dưới. Bây giờ, điều này rất quan trọng vì chúng ta cần tất cả các bộ phận của wafer để duy trì tính toàn vẹn của nó trong suốt quá trình.

Kỹ thuật Plasma để loại bỏ lớp phủ quang học

Minder-Hightech sử dụng công nghệ plasma thế hệ mới để tách lớp photoresist khỏi các tấm wafer của chúng tôi. Điều này cho phép chúng tôi chế tạo chất bán dẫn không có lỗi, có chất lượng cao.

Nhanh chóng, có thể điều chỉnh theo nhu cầu của bạn Hệ thống của chúng tôi được thiết kế để tích hợp liền mạch vào quy trình làm việc của bạn. Điều này cho thấy chúng tôi có thể tách lớp photoresist trong thời gian ngắn. Và vì chúng tôi nhanh chóng, chúng tôi đáp ứng đầy đủ nhu cầu của khách hàng, cung cấp các sản phẩm tuyệt vời khi họ cần.

Nhưng hệ thống plasma của chúng tôi cũng rất chính xác, trên hết là hiệu quả của chúng. Độ chính xác này cung cấp cho chúng tôi khả năng loại bỏ chỉ bản thân chất cản quang. Công nghệ của chúng tôi ngăn ngừa mọi bộ phận khác của tấm wafer bị hư hỏng do quy trình của chúng tôi và chúng tôi không thể để điều đó xảy ra. Thực hành có phương pháp này trở nên thiết yếu hơn nữa đối với chất lượng của các chất bán dẫn mà chúng tôi sản xuất.

Loại bỏ chất cản quang do plasma gây ra trên chất bán dẫn

Tóm lại, plasma là một siêu năng lực cho phép chúng tôi loại bỏ một số chất cản quang khỏi bề mặt wafer theo cách cực kỳ hiệu quả. Chúng tôi, tại Minder-Hightech, áp dụng công nghệ plasma mới nhất và tốt nhất để sản xuất chất bán dẫn chất lượng không có lỗi. Khi nói đến hệ thống plasma, các giải pháp của chúng tôi được sản xuất để cân bằng tốc độ với độ chính xác, trong khi vẫn rất hiệu quả. Điều đó có nghĩa là có thể đáp ứng nhu cầu của khách hàng cũng như cung cấp các sản phẩm chất lượng mà không gặp sự cố. Điều đó hy vọng sẽ cải thiện quy trình bán dẫn khi chúng tôi sử dụng loại bỏ huyết tương công nghệ giúp chất bán dẫn của chúng tôi trở nên tốt nhất có thể để mọi loại thiết bị điện tử trở thành những tiện ích đáng tin cậy.