Minder-Hightech là một nhà sản xuất bán dẫn. Bán dẫn là những thành phần quan trọng của nhiều thiết bị tạo nên cuộc sống hiện đại, như điện thoại di động và máy tính. Hiện tại, có vài bước trong việc tạo ra bán dẫn, nhưng bước đầu tiên là tạo một mẫu trên bề mặt phẳng được gọi là wafer (phiến thạch).

Để tạo ra mẫu này, chúng tôi phủ lên wafer một vật liệu đặc biệt. Chất này được gọi là photoresist (chất kháng quang). Sau khi đã phủ chất kháng quang, chúng tôi chiếu sáng nó. Dưới ánh sáng, một khu vực của chất kháng quang sẽ cứng lại và trở nên chắc chắn. Các khu vực ở bóng vẫn mềm và có thể bị lau đi.

Sau khi đạt được mẫu mong muốn trên wafer, chất kháng quang phải được loại bỏ khỏi các khu vực mà chúng tôi sẽ thực hiện xử lý thêm. Đây là lúc Plasma Cleaner được sử dụng, đúng nghĩa đen.

Các phương pháp dựa trên plasma để loại bỏ chất kháng quang

Plasma là một trạng thái của khí có mức năng lượng cao, do được áp dụng một điện tích điện lớn. Và khí hoạt hóa này rất hữu ích trong việc loại bỏ photoresist trên bề mặt wafer. Thông qua plasma, photoresist có thể trở nên giòn và việc làm sạch nó sẽ dễ dàng hơn nhiều.

Chúng tôi có hai kỹ thuật khác nhau sử dụng plasma để loại bỏ photoresist: dry etching (xử lý khô) và ashing (đốt cháy).

Dry etching (Xử lý khô): Trong kỹ thuật này, chính plasma tương tác với photoresist. Plasma phản ứng với photoresist tại nơi chúng tiếp xúc. Phản ứng này phân hủy photoresist và chuyển nó thành dạng khí. Chất dạng khí này sau đó có thể được làm sạch khỏi bề mặt wafer, dẫn đến việc phơi bày các khu vực mà chúng ta cần sạch và sẵn sàng cho quá trình tiếp theo.

Ashing — Đây là một cách khác để thực hiện, trong phương pháp này plasma không phản ứng được sử dụng cho photoresist. Plasma phá vỡ photoresist thành những mảnh nhỏ, rất nhỏ thay vì làm tan chảy nó. Sau đó, những mảnh nhỏ này có thể được rửa sạch khỏi wafer. Cách tiếp cận này phù hợp và bảo vệ wafer trong khi loại bỏ photoresist không cần thiết.

Sử dụng plasma phản ứng để tách photoresist

Xử lý bề mặt bằng plasma là một công cụ mạnh mẽ giúp chúng ta loại bỏ photoresist cứng đầu nhất khỏi wafer. Plasma thật sự đáng kinh ngạc theo cách riêng của nó, nhưng phần tuyệt nhất là chúng ta có thể biến nó thành một tác nhân siêu chọn lọc. Điều đó có nghĩa là nó có thể được điều chỉnh để chỉ phản ứng cụ thể với photoresist, chứ không phải với các vật liệu khác bên dưới nó.

Ví dụ: Nếu chúng tôi có một mẫu trên wafer mà kim loại được đặt dưới photoresist, chúng tôi có thể sử dụng một loại plasma phản ứng chỉ với photoresist. Do đó, chúng tôi có thể khắc photoresist mà không làm hại đến kim loại bên dưới. Điều này rất quan trọng vì chúng tôi cần tất cả các phần của wafer giữ nguyên tính toàn vẹn trong suốt quá trình.

Kỹ Thuật Plasma để Loại Bỏ Photoresist

Minder-Hightech áp dụng công nghệ plasma hiện đại trong việc loại bỏ photoresist từ các wafer của chúng tôi. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các linh kiện bán dẫn không lỗi, có chất lượng cao.

Nhanh chóng, có thể điều chỉnh theo nhu cầu của bạn. Các hệ thống của chúng tôi được thiết kế để tích hợp liền mạch vào quy trình làm việc của bạn. Điều này có nghĩa là chúng tôi có thể loại bỏ photoresist trong thời gian ngắn. Và vì chúng tôi nhanh chóng, chúng tôi đáp ứng đầy đủ nhu cầu của khách hàng, cung cấp các sản phẩm tuyệt vời khi họ cần.

Nhưng các hệ thống plasma của chúng tôi cũng rất chính xác, ngoài hiệu quả của chúng. Điều mà sự chính xác này mang lại cho chúng tôi là khả năng loại bỏ chỉ riêng chất photoresist. Công nghệ của chúng tôi ngăn chặn mọi phần khác của tấm wafer bị hư hại bởi quy trình của chúng tôi, và chúng tôi không thể để điều đó xảy ra. Thực hành có phương pháp này trở nên càng quan trọng hơn đối với chất lượng của các linh kiện bán dẫn mà chúng tôi sản xuất ra ngoài kia.

Việc Loại bỏ Photoresist Bằng Plasma trên Linh Kiện Bán Dẫn

Vậy, tóm lại, plasma là một siêu năng lực giúp chúng tôi loại bỏ một số photoresist khỏi bề mặt wafer một cách hiệu quả cao. Tại Minder-Hightech, chúng tôi áp dụng công nghệ plasma mới nhất và tốt nhất để sản xuất các linh kiện bán dẫn chất lượng không có lỗi. Khi nói đến hệ thống plasma, các giải pháp của chúng tôi được sản xuất nhằm cân bằng tốc độ với độ chính xác, đồng thời vẫn rất hiệu quả. Điều này có nghĩa là đáp ứng được yêu cầu của khách hàng cũng như cung cấp sản phẩm chất lượng mà không hề thất bại. Điều đó giúp cải thiện quy trình sản xuất bán dẫn mà chúng tôi sử dụng. công nghệ làm sạch plasma để đảm bảo rằng các linh kiện bán dẫn của chúng tôi đạt chất lượng tốt nhất cho mọi thiết bị điện tử, trở thành những thiết bị đáng tin cậy.