Quy trình Chemical Mechanical Planarization CMP độ chính xác cao , China Quy trình Chemical Mechanical Planarization CMP độ chính xác cao Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

Độ chính xác cao Thiết bị Phẳng hóa Cơ học Hóa học (CMP)

Thiết bị CMP độ chính xác cao đạt được việc loại bỏ hiệu quả các vật liệu dư thừa trên bề mặt wafer và phẳng hóa toàn cầu ở cấp độ nano thông qua tác động hiệp đồng của ăn mòn hóa học và mài mòn cơ học.

Máy đánh bóng hóa học đa năng, được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng đánh bóng CMP và phủ yêu cầu độ chính xác hình học nghiêm ngặt và chất lượng bề mặt, có thể đạt được mức độ Ra dưới nanomet.

Thiết bị này có thể thực hiện đánh bóng chính xác ở mức nanomet trên từng khuôn, cũng như đánh bóng các tấm mỏng có đường kính lên đến 8 inch. Ngoài ra, nó còn có thể được sử dụng trong các ứng dụng đánh bóng không truyền thống như đánh bóng bề mặt cứng, chuẩn bị bề mặt Epi và cải thiện tái chế chip.

Để thích ứng với các loại vật liệu và yêu cầu quy trình khác nhau cho máy series CDP, kỹ thuật viên tùy chỉnh và thiết kế các mẫu đánh bóng tương ứng theo yêu cầu kỹ thuật của người dùng để đáp ứng chính xác yêu cầu quy trình CMP. Hình ảnh bên trái hiển thị phạm vi của một wafer đơn có đường kính 8 inch.

Để đảm bảo đo lường và kiểm soát chính xác các wafer hoặc thiết bị được đánh bóng trên máy CDP, chúng tôi đã phát triển hệ thống EPD, chương trình đồ họa quét CDP được thiết kế tùy chỉnh có thể chạy trên laptop. Chương trình này giám sát và mô tả bằng hình ảnh quá trình đánh bóng, và tự động dừng lại khi đạt điểm cuối.

Ngăn chặn đánh bóng quá mức. Quét CDP cũng có thể hoạt động như một tính năng bảo mật. Nếu phát hiện bất kỳ thay đổi nào trong các thông số quy trình được giám sát, Quét CDP sẽ kích hoạt báo động âm thanh để giúp ngăn chặn việc đánh bóng quá mức. Các ví dụ liên quan bao gồm thay đổi tốc độ của vật mang từ giá trị đã cài đặt trước. Hệ thống EPD sẽ nhận ra tình huống này vì mức ma sát giữa đệm và vật liệu đã đánh bóng sẽ thay đổi do bất kỳ sự thay đổi nào trong tốc độ của vật mang, điều này có thể làm ảnh hưởng đến việc phẳng hóa thành công của tấm wafer/C. Tại thời điểm này, hệ thống EPD sẽ kích hoạt báo động âm thanh trước khi loại bỏ bộ kẹp khỏi bề mặt đệm, hoặc nó có thể được thiết lập để tắt tự động.

Hệ thống ACP có thể được sử dụng tốt hơn trong phạm vi ứng dụng rộng rãi, và biểu đồ cho thấy kết quả thử nghiệm quy trình CMP cho oxit silic, đồng, nitride silic, hợp kim nhôm-copper, germanium-silicon, và tungsten.
Biểu đồ cho thấy rằng sau quy trình CMP, WTWNU có thể đạt 2.82%.

Ứng dụng

Phẳng hóa tấm wafer silic
Phẳng hóa hợp chất II-V
Phẳng hóa oxit
Làm phẳng bề mặt vật liệu hồng ngoại
Phẳng hóa substrat sapphire, nitrua galli và carbua silic, phẳng hóa substrat EPI
Làm mỏng wafer SOS và SOI xuống dưới 20 micron
Kỹ thuật tái tạo ngược phân cấp hoặc ứng dụng FA

Thông số kỹ thuật

Nguồn điện	220v 10A
Kích thước wafer	4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm
Đường kính đĩa làm việc	520mm、780mm
Tốc độ đĩa làm việc	0-120vòng/phút
Tốc độ kẹp	0-120vòng/phút
Tần số dao động của kẹp	0-30spm
Áp lực phía sau wafer	0-150psi
Áp lực tại điểm trung tâm của wafer	0-50psi
Thời gian đã định	0-10 giờ
Kênh cấp liệu	≥ 2
Tốc độ cấp liệu	0-150ml/phút

Đóng gói & Giao hàng

Hồ sơ công ty

Minder-Hightech là đại diện bán hàng và dịch vụ trong lĩnh vực thiết bị công nghiệp sản phẩm bán dẫn và điện tử. Từ năm 2014, công ty cam kết cung cấp cho khách hàng những giải pháp tối ưu, đáng tin cậy và trọn gói về thiết bị máy móc.

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:
Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

2. Về Mẫu:
Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

3. Về Thanh toán:
Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi
thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

4. Về Giao hàng:
Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:
Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

6. Về bảo hành:
Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.