Hệ thống mài và đánh bóng sản xuất hàng loạt , China Hệ thống mài và đánh bóng sản xuất hàng loạt Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

MDAM-CMPA200
Hệ thống mài và đánh bóng sản xuất hàng loạt

Các thông số chức năng của thiết bị được kiểm soát bởi một hệ thống điều khiển từ xa độc lập. Hệ thống điều khiển từ xa có thể chọn chế độ không dây hoặc có dây để điều khiển máy chủ theo các yêu cầu cụ thể của quy trình người dùng. Hệ thống điều khiển có thể chọn khoảng cách độc lập với máy chủ thiết bị theo yêu cầu quy trình của người dùng. Cấu hình này không chỉ nâng cao mức độ bảo vệ sức khỏe và an toàn của người vận hành trong quá trình đánh bóng hóa học, mà còn tránh được sự ăn mòn của hệ thống điều khiển hoạt động bởi chất thải dung dịch đánh bóng được tạo ra trong quá trình đánh bóng.
Thiết bị mài và đánh bóng MDAM-CMPA200 có chức năng hẹn giờ, có thể hoạt động liên tục trong 10 giờ. Đồng thời, thiết bị có chức năng đặt trước thời gian làm việc. Khi đạt đến thời gian đã đặt, thiết bị sẽ tự động dừng lại, điều này cải thiện đáng kể chức năng tự động hóa của thiết bị và quy trình vận hành chuẩn hóa.

Vật liệu áp dụng

1. Vật liệu gốc silic (Si, a-Si2, poly Si)
2. Vật liệu nhóm III-V (GaAs, InP, GaSb, InSb, v.v.)
3. Vật liệu bán dẫn thế hệ thứ ba (SiC, GaN, v.v.)
4. Vật liệu bán dẫn thế hệ thứ tư (Kim cương, Ga2O3, v.v.)
5. Vật liệu hồng ngoại (CZT, MCT, v.v.)
6. Vật liệu quang điện (LiNbO3, LiTaO3, SiO2, v.v.)
7. Vật liệu kim loại (Au, Cu, Al, Mo, TC4, v.v.)
8.MEMS
9.Thiết bị bán dẫn
10.Chất nền bán dẫn
11.Bao bọc

Chức năng Thiết bị

1.MDAM-CMPA200 là hệ thống mài và đánh bóng lý tưởng cho việc mài và đánh bóng khối lượng lớn của các loại wafer vật liệu (SiC, Sapphire, GaN, AlN...) như các thành phần vật liệu lọc, vật liệu hình nón, bảng LCD, v.v.
2.Bốn động cơ và bốn đầu đánh bóng cỡ lớn bổ sung cho phép đánh bóng đồng thời tối đa 48 wafer kích thước 2". Do đó, máy loạt MP rất phù hợp để sử dụng trong môi trường sản xuất tải đầy đủ.
3.Bảng điều khiển tự động của máy sử dụng màn hình cảm ứng di động để nhập và thay đổi các thông số quy trình một cách tự do.
4.Hệ thống kiểm soát tự động và tải/unload thông minh có thể nhanh chóng đánh bóng wafer đến bề mặt chuẩn bị epitaxial. Hệ thống này đặc biệt hữu ích cho việc xử lý vật liệu chất nền cứng và cũng có thể hoạt động với wafer lên đến 8" ø.
Máy mài và đánh bóng chính xác MDAM-CMPA200 bao gồm thân máy, hệ thống điều khiển từ xa, kẹp giữ, hệ thống chân không, hệ thống điền đầy, đĩa mài và đánh bóng, v.v.
Máy mài và đánh bóng chính xác MDAM-CMPA200, thân máy và tất cả các phụ tùng đều được làm từ vật liệu chống ăn mòn cao, toàn bộ máy có khả năng chống ăn mòn và phù hợp để mài và đánh bóng cơ học hóa học cho các loại vật liệu bán dẫn khác nhau.
Qua một hệ thống điều khiển từ xa độc lập, có thể đạt được việc kiểm soát liên hợp nhiều máy. Qua một đầu cuối điều khiển, nhiều máy mài và đánh bóng có thể được kiểm soát, thuận tiện cho việc thay đổi thông số quy trình trong quá trình thực hiện. Nó cũng có thể đạt được kiểm soát số học chính xác cho nhiều quy trình cùng lúc, nâng cao đáng kể hiệu suất làm việc và độ chính xác của quy trình.
8.Hệ thống điền tự động có thể điều chỉnh tốc độ nhỏ giọt theo các yêu cầu quy trình khác nhau, và tự động ngừng hoạt động khi vật liệu mài hết để tránh hư hại mẫu khi không có vật liệu mài.
9.Hệ thống điều khiển thiết bị có chức năng hẹn giờ. Sau khi đạt thời gian đặt trước, hệ thống sẽ tự động tắt.

Đặc điểm thiết bị

1.Hệ thống điều khiển từ xa độc lập, điều khiển từ xa.
2.Có thể thực hiện kiểm soát liên hợp nhiều máy từ một đầu cuối điều khiển.
3.Kiểm soát nhiệt độ và chức năng làm mát đĩa mài, đánh bóng trực tuyến thời gian thực.
4.Hệ thống cấp liệu đa kênh.
5.Chức năng mài, đánh bóng và rửa đĩa.
6.Hệ thống được trang bị bánh xe đa hướng có chức năng khóa, thuận tiện cho việc di chuyển và cố định.

Ưu điểm của thiết bị

1.Giảm thời gian đánh bóng, mỗi đầu đánh bóng có tải trọng 0-50Kg, và thời gian đánh bóng có thể giảm đến 70%.
2.Nhiều chức năng và đa dạng, có thể đánh bóng nhiều loại vật liệu, đủ để cung cấp hiệu suất cao hơn và
khả năng sản xuất cho đánh bóng chính xác cao, và các mẫu đánh bóng khác nhau có thể được tạo ra theo yêu cầu chính xác của người dùng để đạt được kết quả tốt nhất.
3. Hiệu suất cao có thể đánh bóng tối đa 48 wafer kích thước 2-inch một lần.
4. Bảng điều khiển tự động tiện lợi và đơn giản cho việc vận hành và bảo trì. Tất cả cài đặt tham số đều được thực hiện trên bảng điều khiển, đơn giản và rõ ràng. Ngoài ra còn được trang bị hệ thống nạp/xả thông minh để dễ dàng vận hành.
5. Dễ di chuyển, toàn bộ hệ thống được đặt trên bánh xe đa hướng có chức năng khóa, thuận tiện cho việc cố định và di chuyển.
6. Thiết bị có chức năng giám sát trực tuyến thời gian thực về hình dạng bề mặt của đĩa mài và đánh bóng trong quá trình hoạt động, và có thể chỉnh sửa hình dạng bề mặt của đĩa mài và đánh bóng trực tuyến thời gian thực. Độ chính xác kiểm soát hình dạng bề mặt đĩa là 1um.

Chỉ số Công nghiệp Có thể Đạt được

1. Độ lệch tổng độ dày (TTV) của wafer φ50mm nằm trong ±1μm;
2. Độ lệch tổng độ dày (TTV) của wafer φ75mm nằm trong khoảng ±2μm;
3. Độ lệch tổng độ dày (TTV) của wafer φ100mm nằm trong khoảng ±3μm;
4. Độ lệch tổng độ dày (TTV) của wafer φ150mm nằm trong khoảng ±4μm;
5. Độ lệch tổng độ dày (TTV) của wafer φ200mm nằm trong khoảng ±5μm.

Thông số kỹ thuật

Số lượng fixtures	4 trạm
Nguồn điện	220v50hz
Tổng công suất	3.5 Kw
Đường kính của tấm lớn	760 mm
Tỷ lệ tấm	Tối đa 120rpm
Góc xoay kẹp	Tối đa 10 độ
Khoảng cách nâng lên hạ xuống	100mm
Tốc độ kẹp	Tối đa 80rpm
Kích thước kẹp	Tối đa 208mm
Phương pháp cố định wafer	Hút chân không
Nhánh hút chân không của kẹp	Tối đa 4 kênh
Áp lực ép xuống của kẹp	0-50 Kg
Trống	4
bơm peristaltic	4
Màn hình hiển thị	12.1 inch
Áp lực khí theo yêu cầu	Lớn hơn 7 bar
chân không	nhu cầu
nước tinh khiết	nhu cầu
Súng phun nước làm sạch	Có
Súng phun khí làm sạch	Có
Phương pháp mở cửa	Cửa trước và cửa sau
Bảng điều khiển cửa trên bàn	Hoàn toàn trong suốt

Đóng gói & Giao hàng

Hồ sơ công ty

Minder-Hightech là đại diện bán hàng và dịch vụ trong lĩnh vực thiết bị công nghiệp sản phẩm bán dẫn và điện tử. Từ năm 2014, công ty cam kết cung cấp cho khách hàng những giải pháp tối ưu, đáng tin cậy và trọn gói về thiết bị máy móc.

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:
Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

2. Về Mẫu:
Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

3. Về Thanh toán:
Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi
thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

4. Về Giao hàng:
Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:
Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

6. Về bảo hành:
Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.

trang chủ

Giới thiệu

MH Equipment

Giải Pháp

Người dùng nước ngoài

video

Liên hệ với chúng tôi

Hệ thống mài và đánh bóng sản xuất hàng loạt