Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Trang chủ
Giới thiệu
MH Equipment
Giải Pháp
Người dùng nước ngoài
Video
Liên hệ với chúng tôi
Trang chủ> Máy căn chỉnh mặt nạ
  • MDLB-MC200 Máy làm sạch Photomask
  • MDLB-MC200 Máy làm sạch Photomask
  • MDLB-MC200 Máy làm sạch Photomask
  • MDLB-MC200 Máy làm sạch Photomask

MDLB-MC200 Máy làm sạch Photomask

MDLB-MC200

Máy làm sạch mặt nạ quang học

MASK.jpg

11.jpg

Phần làm sạch:

Buồng làm sạch được xử lý bằng các vật liệu chống ăn mòn, có bề mặt nhẵn và dễ dàng vệ sinh. Có một cổng xả chất thải ở đáy buồng trong, sử dụng lực hấp dẫn để cho phép chất lỏng thải chảy vào đường ống xả chất thải của nhà máy. Có một cổng hút bên trong buồng, có thể kịp thời hút không khí từ trong buồng ra ngoài. Được trang bị 3 tay quay tự động, có thể thực hiện việc làm sạch tự động.

Bảng thông số cấu hình:

Không, không.

Dự án

Thông số kỹ thuật

Ghi chú

1

Tổng quan Thiết bị

Tên thiết bị: Máy làm sạch Photomask

Mã thiết bị: MDLB-MC200

Kích thước tổng thể (khoảng): 1300mm (R) * 1000mm (S) * 1950mm (C)

Trọng lượng toàn bộ máy (khoảng): 300KG

Chiều cao bàn điều khiển: 900 ± 50mm

Quy cách kích thước substrat: phù hợp với mask vuông cỡ 2/4/5/6/8 inch

Quy trình xử lý: đặt wafer bằng tay → làm sạch (chổi, dung dịch làm sạch → nước áp suất cao → nước megasonic → nước ion hóa → sấy khô bằng khí nitơ) → lấy wafer ra bằng tay

Loại thiết bị: bán tự động, nạp và dỡ hàng thủ công

2

Cấu trúc thiết bị

Vỏ: thép không gỉ, mịn, chống ăn mòn, dễ dàng vệ sinh

Buồng làm sạch: PP, mịn, chống ăn mòn, dễ dàng vệ sinh

Ống dẫn: sử dụng ống dẫn PU/PFA

Ánh sáng làm việc: đèn chiếu sáng màu vàng chống ăn mòn

Kiểu mở cửa: Cửa đôi với chức năng cảnh báo khi mở cửa

Màn hình cảm ứng: màn hình cảm ứng màu toàn phần 10 inch * 1

FFU: Cấp độ 100

Chân đỡ chống rò rỉ: có sẵn

3

Động cơ servo chính xác cao

Số lượng: 1

Tốc độ: -3000~3000 vòng/phút

Không tải

Gia tốc tối đa của trục quay: 3000 vòng/phút/giây

Không tải

Độ chính xác tốc độ: ± 1 vòng/phút (50 vòng/phút~3000 vòng/phút)

Độ phân giải tốc độ: 1 vòng/phút

4

Tay quay tự động

Số lượng: 3

Tốc độ tay quay: 1~30 °/giây

5

Đơn vị làm sạch

Tay quay làm sạch: 1 kênh nước ion hóa, 1 kênh khí ni-tơ

Tay Megasonic: 1 Megasonic, 1 nước áp lực cao

Tay chổi: 1 chổi, 1 nước, 1 dung dịch làm sạch

Phương pháp làm sạch: làm sạch tự động

Chức năng hút nước khử ion: có sẵn

Rửa ngược (nước khử ion): 1 đường

Phương pháp cung cấp: Dung dịch làm sạch: Bơm màng

Nước khử ion: được cung cấp trực tiếp bởi nhà máy

Bình áp với cảm biến mức chất lỏng

6

Chải chổi

Số lượng: 1 (có chức năng tự làm sạch)

Tốc độ: lên đến 1000v/p, có thể điều chỉnh tốc độ

Chiều cao điều chỉnh bằng tay

7

Khay tải

Số lượng: 5

Vật liệu: PPS + thép không gỉ

Kích thước: Phù hợp với mặt nạ hình vuông cỡ 2/4/5/6/8 inch

Phương pháp cố định vật liệu: Phương pháp cố định bằng càng kẹp

8

Hệ thống điều khiển

Hệ thống kiểm soát: Sử dụng điều khiển PLC

Chương trình: 100 nhóm, mỗi nhóm gồm 100 bước, với thời gian tối đa của một bước là 3000.0 giây

Độ phân giải: 0.1S

Chương trình có thể được lưu, gọi, sửa đổi và xóa

Đặt quyền mã hóa: cho người vận hành thiết bị, kỹ thuật viên, quản trị viên và nhà sản xuất tương ứng

Kiểu tháp tín hiệu: 3 màu đỏ, vàng, xanh lá

Truy vấn

Truy vấn Email Whatsapp WeChat
Top
×

Liên hệ