|
Kích thước wafer
|
Wafer 4”~ 8”
|
|
Độ dày wafer
|
100~750 microns
|
|
Loại wafer
|
Si, SiC, GaN, hoặc các vật liệu khác
|
|
Loại phim
|
Phim xanh, phim UV
Chiều rộng: 230 ~ 300 mm Chiều dài: 100 m Độ dày: 0.05 ~ 0.2 mm |
|
Vòng giữ wafer
|
6”, 8” DISCO
|
|
Phương pháp nạp và dỡ hàng
|
Đặt và tháo wafer/vòng giữ thủ công
|
|
Độ chính xác định vị phim
|
±0,5mm
Bàn wafer tiêu chuẩn cỡ 6" và 8" cho wafer 6" và 8" |
|
Bơm chân không
|
Minder-Hightech
|
|
Kiểm soát tĩnh điện
|
Quạt khử ion
|
|
Đơn vị Điều khiển
|
Dựa trên điều khiển PLC, với màn hình cảm ứng 10"
|
|
Bảo vệ an toàn
|
Được trang bị bảo vệ bằng rèm ánh sáng và nút dừng khẩn cấp
|
|
Điện áp Nguồn Cung cấp
|
Điện một pha AC 220V, 16A
|
|
Không khí nén
|
0.45~0.6MPa, lưu lượng 70L/phút
|
|
Thân máy
|
Thân kim loại phun nhựa màu trắng
|
|
Âm lượng
|
850mm (chiều rộng)*1750mm (chiều sâu)*1970mm (chiều cao)
|
|
Trọng lượng thực
|
480kg
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
