Nguồn PLASMA
|
RF+BIAS
|
||
Power
|
1000W
|
1000W
|
|
600W
|
600W
|
||
Phạm vi áp dụng
|
4-8 inch
|
||
Số lát xử lý đơn
|
một
|
||
Kích thước ngoại hình
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
Điều khiển hệ thống
|
Hệ thống điều khiển công nghiệp
|
||
Mức độ tự động hóa
|
Hướng dẫn sử dụng
|
Bản quyền © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bảo lưu mọi quyền