Thiết bị CVD cho vật liệu Graphene và Ống nano Carbon cho thiết bị bán dẫn , China Thiết bị CVD cho vật liệu Graphene và Ống nano Carbon cho thiết bị bán dẫn Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

Thiết bị CVD cho vật liệu graphene và ống nano carbon

Thiết bị này chủ yếu được sử dụng để phủ lớp graphene và vật liệu nano; Phân tán, oxy hóa và nhiệt luyện của silic đa tinh thể và cacbua silic.

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment details

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment factory

Thông số kỹ thuật

Kiểu cấu trúc	Ngang, hệ thống một ống hoặc nhiều ống điều khiển tự động
Phù hợp với kích thước wafer	2-8″
Phương pháp đưa và lấy wafer	Thuyền thạch anh cantilever tự động kiểu đẩy kéo, kết hợp với việc lấy và thả chip bằng tay.
Nhiệt độ tối đa	1050℃
Nhiệt độ làm việc	400 ℃~850 ℃ điều chỉnh liên tục
Độ ổn định nhiệt độ tại một điểm	400℃~850℃≤±0.5℃/24h
Hệ thống giới hạn chân không	Tốt hơn 1Pa
Tốc độ bơm	Thời gian bơm đạt đến chân không giới hạn < 15Phút
khoảng áp suất làm việc	Từ 5Pa đến 1 × 105Pa điều chỉnh liên tục
Nguồn điện	3 pha 5 dây 380V±10%, 50Hz
Nước làm mát	2~4Kgf/cm², 8L/phút;

Đóng gói & Giao hàng

Hồ sơ công ty

Chúng tôi có 16 năm kinh nghiệm trong việc bán thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp cho bạn giải pháp chuyên nghiệp một-stop cho dây chuyền đóng gói前端 và hậu cần của ngành bán dẫn từ Trung Quốc.