Mô hình |
MDTS-WT2200 |
Số lượng trục làm mỏng |
2 |
Số lượng bàn làm việc |
3, Phương pháp chỉ số |
Trục bánh mài |
Số lượng trục không khí: 2 Motor trục chính: motor tần số biến đổi 7.5kW Tốc độ: 0~6000v/p, điều chỉnh vô cấp Thông số đá mài: Φ203mm Loại đá mài: đá mài kim cương |
Hệ thống cấp liệu đá mài |
Số lượng: 2 bộ Phương pháp điều khiển hệ thống cấp liệu: ray dẫn hướng LM và ốc bi kết hợp Motor lái: motor servo Tốc độ cấp liệu tối thiểu: 0.1um/sec Tốc độ cấp liệu tối đa: 50mm/sec |
Bàn làm việc |
Số lượng: 3, chế độ chỉ số Motor trục chính: Motor servo Tốc độ: 0~300v/p, điều chỉnh vô cấp Phương pháp hấp thụ: Hút chân không |
Bàn làm việc dạng đĩa quay |
Chế độ lái: motor servo Phạm vi quay: 0~240° Hình dạng định vị: định vị được hỗ trợ bởi cảm biến |
Độ dày tự động hệ thống đo lường |
Phương pháp đo lường: đo lường trực tuyến tiếp xúc IPG thời gian thực Số đầu đo: 2 Cảm biến đo: cảm biến cấp độ 0.1um |
Tải tự động\/ hệ thống dỡ tải |
Kiểu hộp: Cassette 6-8inch, 25 lớp Phương pháp tải tự động\/bỏ tải: sử dụng thao tác wafer để đảm bảo các wafer mỏng được vận chuyển mà không bị hư hại Độ dày wafer: 150um-1000um |
Chức năng làm sạch bàn làm việc |
Phương pháp làm sạch: Mài bằng dầu và rửa hai chất lỏng DI water + air |
Làm sạch tự động/ hệ thống sấy khô |
Làm sạch: Vòi phun nước DIW Phương pháp sấy khô: Thổi + sấy khô Tốc độ: tối đa 1000rpm điều chỉnh vô cấp |
Hệ thống loại bỏ tĩnh |
Thanh ion hoặc quạt orion |
Máy làm lạnh trục chính |
Nhiệt độ: 18-22°C Lưu lượng: 4~8L/phút |
Hệ thống điều khiển |
Hệ thống điều khiển: Hệ thống điều khiển PC, màn hình cảm ứng đèn báo động 3 màu Giao diện người-máy tiếng Trung/Anh |
Kích thước wafer tối đa |
Tương thích tối đa với 8 inch |
Phạm vi tốc độ |
0~6000 RPM |
Hành trình trục Z |
160mm |
Tốc độ cấp độ trục Z |
0.1~100um/giây |
Tốc độ thu hồi nhanh trục Z |
50mm/giây |
Độ phân giải trục Z |
0.1um |
Phạm vi đo độ dày trực tuyến |
0~1800um |
Độ phân giải đo độ dày trực tuyến |
0.1um |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
