Mô hình |
MDTS-WT2200 |
Số lượng trục mỏng |
2 |
Số lượng bàn làm việc |
3, Phương pháp chỉ số |
Trục chính bánh mài |
Số lượng trục gió: 2 Động cơ trục chính: Động cơ tần số thay đổi 7.5kW Tốc độ: 0~6000 vòng/phút, có thể điều chỉnh vô cấp Thông số kỹ thuật của đá mài: Φ203mm Loại đá mài: đá mài kim cương |
Hệ thống cấp liệu đá mài |
Số lượng: 2 bộ Phương pháp điều khiển hệ thống cấp liệu: Thanh dẫn hướng LM và vít me bi kết hợp Động cơ truyền động: động cơ servo Tốc độ nạp tối thiểu: 0.1um/giây Tốc độ nạp tối đa: 50mm/giây |
Workbench |
Số lượng: 3, Chế độ chỉ mục Động cơ trục chính: Động cơ servo Tốc độ: 0~300 vòng/phút, có thể điều chỉnh vô cấp Phương pháp hấp phụ: Hấp phụ chân không |
Bàn xoay làm việc |
Chế độ lái: động cơ servo Phạm vi quay: 0~240° Hình dạng định vị: định vị hỗ trợ cảm biến |
Độ dày tự động hệ thống đo lường |
Phương pháp đo: Đo trực tuyến thời gian thực IPG Số lượng đầu đo: 2 Cảm biến đo lường: Cảm biến mức 0.1um |
Tự động tải/ hệ thống dỡ hàng |
Loại hộp: Cassette 6-8 inch, 25 lớp Phương pháp nạp/dỡ tự động: bộ điều khiển wafer được sử dụng để đảm bảo các wafer mỏng được vận chuyển mà không bị hư hỏng Độ dày wafer: 150um-1000um |
Chức năng vệ sinh bàn làm việc |
Phương pháp vệ sinh: Đánh bóng đá dầu & xả hai chất lỏng bằng nước + khí DI |
Tự động vệ sinh/ hệ thống sấy khô |
Vệ sinh: Vệ sinh vòi phun DIW Phương pháp sấy: Thổi + sấy Tốc độ: tối đa 1000 vòng/phút có thể điều chỉnh vô cấp |
Hệ thống loại bỏ tĩnh điện |
Quạt thanh ion orion |
Máy làm lạnh trục chính |
Nhiệt độ: 18-22 ° C Lưu lượng: 4~8L/phút |
Hệ thống điều khiển |
Hệ thống điều khiển: Hệ thống điều khiển PC, màn hình cảm ứng, đèn báo 3 màu Giao diện người-máy tiếng Trung/Anh |
Kích thước wafer tối đa |
Tương thích tối đa với 8 inch |
Phạm vi tốc độ |
0 ~ RPUMX RPM |
Du lịch trục Z |
160mm |
Tốc độ nạp trục Z |
0.1~100um/giây |
Tốc độ thu hồi nhanh của trục Z |
50mm / giây |
Độ phân giải trục Z |
0.1um |
Phạm vi đo độ dày trực tuyến |
0 ~ 1800um |
Độ phân giải đo độ dày trực tuyến |
0.1um |
Bản quyền © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bảo lưu mọi quyền